內(nèi)蒙古厚膜光刻膠

來源： 發(fā)布時間：2025-07-09

作為東莞松山湖的企業(yè)，吉田半導體深耕光刻膠領(lǐng)域 23 年，成功研發(fā)出 YK-300 半導體正性光刻膠與 JT-2000 納米壓印光刻膠。YK-300 適用于 45nm 及以上制程，線寬粗糙度（LWR）≤3nm，良率達 98% 以上，已通過中芯國際等晶圓廠驗證；JT-2000 突破耐高溫極限，在 250℃復(fù)雜環(huán)境下仍保持圖形穩(wěn)定性，適用于 EUV 光刻前道工藝。依托進口原材料與全自動化生產(chǎn)工藝，產(chǎn)品通過 ISO9001 認證及歐盟 RoHS 標準，遠銷全球并與跨國企業(yè)建立長期合作，加速國產(chǎn)替代進程。感光膠的工藝和應(yīng)用。內(nèi)蒙古厚膜光刻膠

內(nèi)蒙古厚膜光刻膠,光刻膠

作為深耕半導體材料領(lǐng)域二十余年的綜合性企業(yè)，廣東吉田半導體材料有限公司始終將環(huán)保理念融入產(chǎn)品研發(fā)與生產(chǎn)全流程。公司位于東莞松山湖產(chǎn)業(yè)集群，依托區(qū)域產(chǎn)業(yè)鏈優(yōu)勢，持續(xù)推出符合國際環(huán)保標準的半導體材料解決方案。

公司在錫膏、焊片等產(chǎn)品中采用無鹵無鉛配方，嚴格遵循 RoHS 指令要求，避免使用有害物質(zhì)。以錫膏為例，其零鹵素配方通過第三方機構(gòu)認證，不僅減少了電子產(chǎn)品廢棄后的環(huán)境負擔，還提升了焊接可靠性，適用于新能源汽車、精密電子設(shè)備等領(lǐng)域。同時，納米壓印光刻膠與 LCD 光刻膠的生產(chǎn)過程中，公司通過優(yōu)化原料配比，減少揮發(fā)性有機物（VOCs）排放，確保產(chǎn)品符合歐盟 REACH 法規(guī)。

山東阻焊光刻膠光刻膠的儲存條件嚴苛，需在低溫、避光環(huán)境下保存以維持穩(wěn)定性。

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作為中國半導體材料領(lǐng)域的企業(yè)，吉田半導體材料有限公司始終以自研自產(chǎn)為戰(zhàn)略，通過 23 年技術(shù)沉淀與持續(xù)創(chuàng)新，成功突破多項 “卡脖子” 技術(shù)，構(gòu)建起從原材料到成品的全鏈條國產(chǎn)化能力。其自主研發(fā)的光刻膠產(chǎn)品已覆蓋芯片制造、顯示面板、精密電子等領(lǐng)域，為國內(nèi)半導體產(chǎn)業(yè)鏈自主化提供關(guān)鍵支撐。
吉田半導體依托自主研發(fā)中心與產(chǎn)學研合作，在光刻膠領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)多項技術(shù)突破：
  • YK-300 正性光刻膠：分辨率達 0.35μm，線寬粗糙度（LWR）≤3nm，適用于 45nm 及以上制程，良率達 98% 以上，成本較進口產(chǎn)品降低 40%，已通過中芯國際量產(chǎn)驗證。
  • SU-3 負性光刻膠：支持 3μm 厚膜加工，抗深蝕刻速率 > 500nm/min，成功應(yīng)用于高通 5G 基帶芯片封裝，良率提升至 98.5%。
  • JT-2000 納米壓印光刻膠：突破 250℃耐高溫極限，圖形保真度 > 95%，性能對標德國 MicroResist 系列，已應(yīng)用于國產(chǎn) EUV 光刻機前道工藝。

? 化學反應(yīng)：

? 正性膠：曝光后光敏劑（如重氮醌DQN）分解，生成羧酸，在堿性顯影液中溶解；

? 負性膠：曝光后光敏劑引發(fā)交聯(lián)劑與樹脂形成不溶性網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)。

5. 顯影（Development）

? 顯影液：

? 正性膠：堿性水溶液（如0.26N四甲基氫氧化銨TMAH），溶解曝光區(qū)域；

? 負性膠：有機溶劑（如二甲苯、醋酸丁酯），溶解未曝光區(qū)域。

? 方法：噴淋顯影（PCB）或沉浸式顯影（半導體），時間30秒-2分鐘，需控制顯影液濃度和溫度。

6. 后烘（Post-Bake）

? 目的：固化膠膜，提升耐蝕刻性和熱穩(wěn)定性。

? 條件：

? 溫度：100-150℃（半導體用正性膠可能更高，如180℃）；

? 時間：15-60分鐘（厚膠或高耐蝕需求時延長）。

7. 蝕刻/離子注入（后續(xù)工藝）

? 蝕刻：以膠膜為掩膜，通過濕法（酸堿溶液）或干法（等離子體）刻蝕基板材料（如硅、金屬、玻璃）；

? 離子注入：膠膜保護未曝光區(qū)域，使雜質(zhì)離子只能注入曝光區(qū)域（半導體摻雜工藝）。

8. 去膠（Strip）

? 方法：

? 濕法去膠：強氧化劑（如硫酸+雙氧水）或有機溶劑（如N-甲基吡咯烷酮NMP）；

? 干法去膠：氧等離子體灰化（半導體領(lǐng)域，無殘留）。

在集成電路制造中，正性光刻膠曝光后顯影時被溶解，而負性光刻膠則保留曝光區(qū)域。

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廣東吉田半導體材料有限公司的產(chǎn)品體系豐富且功能強大。

在光刻膠領(lǐng)域，芯片光刻膠為芯片制造中的精細光刻環(huán)節(jié)提供關(guān)鍵支持，確保芯片線路的精細刻畫；

納米壓印光刻膠適用于微納加工，助力制造超精細的微納結(jié)構(gòu)；

LCD 光刻膠則滿足液晶顯示面板生產(chǎn)過程中的光刻需求，保障面板成像質(zhì)量。

在電子焊接方面，半導體錫膏與焊片性能，能實現(xiàn)可靠的電氣連接，廣泛應(yīng)用于各類電子設(shè)備組裝。

靶材產(chǎn)品在材料濺射沉積工藝中發(fā)揮關(guān)鍵作用，通過精細控制材料沉積，為半導體器件制造提供高質(zhì)量的薄膜材料。憑借出色品質(zhì)，遠銷全球，深受眾多世界 500 強企業(yè)和電子加工企業(yè)青睞 。 高分辨率光刻膠需滿足亞微米甚至納米級線寬的圖形化需求。杭州油墨光刻膠國產(chǎn)廠家

化學放大光刻膠（CAR）采用光酸催化劑，可顯著提高深紫外（DUV）曝光效率。內(nèi)蒙古厚膜光刻膠

 綠色制造與循環(huán)經(jīng)濟
公司采用水性光刻膠技術(shù)，溶劑揮發(fā)量較傳統(tǒng)產(chǎn)品降低60%，符合歐盟REACH法規(guī)和國內(nèi)環(huán)保標準。同時，其光刻膠廢液回收項目已投產(chǎn)，通過膜分離+精餾技術(shù)實現(xiàn)90%溶劑循環(huán)利用，年減排VOCs（揮發(fā)性有機物）超100噸。

 低碳供應(yīng)鏈管理
吉田半導體與上游供應(yīng)商合作開發(fā)生物基樹脂，部分產(chǎn)品采用可再生原料（如植物基丙烯酸酯），碳排放強度較傳統(tǒng)工藝降低30%。這一舉措使其在光伏電池和新能源汽車領(lǐng)域獲得客戶青睞，相關(guān)訂單占比從2022年的15%提升至2023年的25%。
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標簽： 光刻膠 錫片 錫膏