其擴(kuò)散管深入到所述再生液調(diào)配缸中;液體泵,其一端通過管道連接所述再生液調(diào)配缸的循環(huán)出液口,另一端通過管道連接所述射流器的進(jìn)液口,用于將所述再生液調(diào)配缸中的電解后液通過所述管道抽取至所述射流器的進(jìn)液口。進(jìn)一步地,所述酸性蝕刻液電解后液處理系統(tǒng)還包括:曝氣裝置,用于向所述再生液調(diào)配缸中的電解后液輸送氣體以進(jìn)行攪拌。進(jìn)一步地,所述酸性蝕刻液電解后液處理系統(tǒng)還包括:后續(xù)處理系統(tǒng),用于向經(jīng)過所述再生液調(diào)配缸處理過的電解后液中加入氯化鈉、鹽酸并攪拌均勻。更進(jìn)一步地,所述電解槽的陽極為石墨電極,陰極為鈦或鈦合金板狀電極。更進(jìn)一步地,所述電解槽中陰極與陽極之間的距離為55mm。更進(jìn)一步地,所述電解槽的電流密度為300a/m2。本實用新型所提供的酸性蝕刻液電解后液處理系統(tǒng)通過簡單的結(jié)構(gòu)實現(xiàn)了電解后廢液的再生利用,可節(jié)約能耗和藥品,提高經(jīng)濟(jì)效益。附圖說明圖1是本實用新型實施例提供的酸性蝕刻液電解后液處理系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)圖;圖2是本實用新型第二實施例提供的酸性蝕刻液電解后液處理系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)圖。具體實施方式為了使本實用新型的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點更加清楚明白,以下結(jié)合附圖及實施例,對本實用新型進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解。BOE蝕刻液專業(yè)生產(chǎn)廠家。湖北BOE蝕刻液銷售廠
gradodelafuentedeescapeeinfluenciadelaventilación)laextensióndecadazonapeligrosaobedeceráalossiguientescriteriosyconsideraciones:)Isletasdereposamientoodistribucióóndeservicioquepuedenconsiderarsecomodeficientementeventiladosdebidoalaenvolventemetáácomozona1porqueenélunaatmósferadegasexplosivaseprevépuedaestarpresentedeunaformaperiódicauocasionalmenteduranteelfuncionamientonormalyademásnotieneunabuenaventilacióósferaexplosivanoestápresenteenfuncionamientonormalysiloestáserádeformapocofrecuenteydecortaduración,oaundándoselascondicionesanteriores,elgradodeventilaciónesóóndecadazonaanteriormenteindicadapuedelimitarsemediantelautilizaciónde?barrerasdevapor?queimpidanelpasodegases,vaporesolíóndelossurtidoresydeladisposicióndeloscabezaleselectrónicoslasbarrerasseclasificanendostipos:1.oBarrerasdevaportipo1.。上海一種BOE蝕刻液產(chǎn)品介紹蘇州博洋化學(xué)股份有限公司擁有專業(yè)的BOE蝕刻液以及各種蝕刻液。
enlasoperacionesquedebanserrealizadas,eintensificadasenlospuntosdeactuacióáánelmododeproteccióndeacuerdoconlaICMIEBT026ydeberánincluirensumarcadolatensiónyfrecuencianominales,lapotenciamáximayeltipodeláóndealumbradoserealizaráconcircuitosseparadosparacadaservicio,alumbradodemarquesina,báculosdealumbrado,alumbradodeedificiodeservicios,tomasdealumbrado,etc.,loscircuitosseránmonofásicos,protegidosconinterruptoresautomáticosunipolares,de15AmáóndelsistemadepuestaatierradeberácumplirconlasICMIEBT008,MIEBT021,MIEBT039delReglamentoElectrotéáunsistemacompletodepuestaatierraentodalainstalación,afindeasegurarunaadecuadaprotecciónpara:1.oSeguridaddelpersonalcontradescargasdelosequiposelé.oProteccióndelosequiposeléctricoscontraaverí.oProteccióncontralainflamacióndemezclascombustiblesporelectricidadestáálicasdelosequiposyaparatoseléctricosseconectaránatierraatravésdelconductordeproteccióás,entodosloscircuitosdefuerza。
添加劑為二乙二醇單甲醚、三乙二醇乙醚、脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p,添加量分別為%、%、%。實施例6本發(fā)明的實施例按蝕刻液總質(zhì)量為400g進(jìn)行配制,先稱取濃度為85%的磷酸,然后稱取添加劑加入磷酸中,該實施例中所含成分及各成分稱取的質(zhì)量顯示于表1。添加劑為丙二醇丁醚、脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p、月桂酰氨乙基硫酸鈉,添加量分別為總質(zhì)量的%、%、%。對照例對照例中所含成分顯示于表1,并采用與實施例相同的方法進(jìn)行處理。對照例1為純磷酸,總質(zhì)量為400g。對照例2為磷酸、丙二醇丁醚,其中丙二醇丁醚的添加量為總質(zhì)量的%。對照例3為磷酸、脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p,其中脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p的添加量為總質(zhì)量的%。結(jié)果如表2所示,與對照例蝕刻液相比,實施例蝕刻液有更低的表面張力和接觸角,并且氮化硅層蝕刻后顯示出良好的均勻性。表1表2顯然,上述實施例和對照例是為了清楚地說明所作的實例,而并非對實施方式的限制。對于所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員來說,在上述說明的基礎(chǔ)上還可以做出其它不同形式的變化或變動,這里無需也無法對所有的實施方式予以窮舉。而因此所引申的顯而易見的變化或變動仍處于本發(fā)明創(chuàng)造的保護(hù)范圍之內(nèi)。蘇州博洋化學(xué)股份有限公司,BOE蝕刻液。
deacuerdoconlasindicacionesdelfabricantedelatuberíóásticorefozadonorequerirándeunrecubrimientoadicionaldebarreraanticorrosiva,pueslaestructurapropiadetalmaterialdeberácontener,talcomodefinelanormaUNE53-361,barrerainternayexternaanticorrosiva,íasserán:controldimensionalyvisual,óndelosensayosseajustarááuncertificadodefabricacióóónyalmacenamientodeberánseguirselasinstruccionesdemontajedelfabricantedelastuberííadeberátenerunapendientecontinuade,almenos,1por100demaneraquenopuedaformarseningunaretencióndelíásercuidadoso,recomendáácomprobarselacorrectaalineacióáónesadecuadadeberáhacerseunapruebadepresiónde4bardurantedoshorascomomíáantesdelrellenadodezanjas,parapermitirunacorrectacomprobacióíáíasyaccesoriosdepláíáempleartuberíasdeplásticoflexibleenterradas,alojadasentuberíasdecontenimientomecánicodemayordiáíasdeplásticoflexibleseconectaránpormedioderacoresestancos。BOE蝕刻液,有效控制,呈現(xiàn)好的蝕刻效果。安徽專業(yè)BOE蝕刻液批量定制
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本發(fā)明涉及一種提高氮化硅蝕刻均勻性的酸性蝕刻液,通過在磷酸中添加醇醚類和表面活性劑,來改善磷酸的浸潤性和表面張力,使之均勻蝕刻氮化硅。背景技術(shù):氮化硅是一種具有很高的化學(xué)穩(wěn)定性的絕緣材料,氫氟酸和熱磷酸能對氮化硅進(jìn)行緩慢地腐蝕。在半導(dǎo)體制造工藝中,一般是采用熱磷酸對氮化硅進(jìn)行蝕刻,一直到了90nm的制程也是采用熱磷酸來蝕刻氮化硅。但隨著半導(dǎo)體制程的飛速發(fā)展,器件的特征尺寸越來越小,集成度越來越高,對制造工藝中的各工藝節(jié)點要求也越來越高,如蝕刻工藝中對蝕刻后晶圓表面的均勻性、蝕刻殘留、下層薄膜的選擇性等都有要求。在使用熱磷酸對氮化硅進(jìn)行蝕刻時,晶圓表面會出現(xiàn)不均勻的現(xiàn)象,體現(xiàn)于在蝕刻前后進(jìn)行相同位置取點的厚度測量時,檢測點之間蝕刻前后的厚度差值存在明顯差異。為了解決氮化硅蝕刻不均勻的問題,通過在磷酸中添加醇醚類和表面活性劑可以實現(xiàn)氮化硅層的均勻蝕刻。技術(shù)實現(xiàn)要素:本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供一種能均勻蝕刻氮化硅層的蝕刻液。本發(fā)明涉及一種提高氮化硅蝕刻均勻性的酸性蝕刻液,所述蝕刻液的組成包括:占蝕刻液總重量≥88%的磷酸、%的醇醚類、%的表面活性劑。進(jìn)一步地,本發(fā)明涉及上述蝕刻液。湖北BOE蝕刻液銷售廠