表%九氟丁基甲基醚和50重量%甲基四氫呋喃的液體混合物的分餾顯示出92重量%九氟丁基甲基醚和8重量%甲基四氫呋喃的共沸組合物,其在°C的沸點。實施例2如實施例1所述進行沸點測定方法。表II給出九氟丁基乙基醚和甲基四氫呋喃的各種混合物在。表II九氟丁基乙基醚的重量%甲基四氫呋喃的重量%(°C)%九氟丁基乙基醚和50重量%甲基四氫呋喃的液體混合物的分餾顯示出%九氟丁基乙基醚和%甲基四氫呋喃的共沸組合物,其在°C的沸點。清洗試驗的總體過程首先,用FORANE141b對2X5cm的不銹鋼片材進行脫脂。這些片材各自在測試之前稱重,其構(gòu)成皮重。然后,在這些片材的單側(cè)上涂布油REDUCTELFSP460。對該涂布有油的片材進行稱重,并由與皮重的差值推算出涂布的油的量。接下來,將該涂布有油的片材浸5入到含有100ml待評價組合物的燒杯中5分鐘,不進行攪拌且無超聲。該片材一移出,就在通風的情況下進行15分鐘的滴干(dripdry),并且,在該15分鐘結(jié)束時,通過稱重測定油的殘留量。與油的初始量相比,計算移除的油的百分數(shù)。實施例3在使用九氟丁基甲基醚的組合物的情況下,得到0%的油移除率。實施例4在使用包含8重量%的2-MeTHF和92重量%的九氟丁基甲基醚的組合物的情況下。蘇州博洋化學(xué)股份有限公司擁有專業(yè)的BOE蝕刻液以及各種蝕刻液。湖南應(yīng)用BOE蝕刻液推薦貨源
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添加劑為二乙二醇單甲醚、三乙二醇乙醚、脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p,添加量分別為%、%、%。實施例6本發(fā)明的實施例按蝕刻液總質(zhì)量為400g進行配制,先稱取濃度為85%的磷酸,然后稱取添加劑加入磷酸中,該實施例中所含成分及各成分稱取的質(zhì)量顯示于表1。添加劑為丙二醇丁醚、脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p、月桂酰氨乙基硫酸鈉,添加量分別為總質(zhì)量的%、%、%。對照例對照例中所含成分顯示于表1,并采用與實施例相同的方法進行處理。對照例1為純磷酸,總質(zhì)量為400g。對照例2為磷酸、丙二醇丁醚,其中丙二醇丁醚的添加量為總質(zhì)量的%。對照例3為磷酸、脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p,其中脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p的添加量為總質(zhì)量的%。結(jié)果如表2所示,與對照例蝕刻液相比,實施例蝕刻液有更低的表面張力和接觸角,并且氮化硅層蝕刻后顯示出良好的均勻性。表1表2顯然,上述實施例和對照例是為了清楚地說明所作的實例,而并非對實施方式的限制。對于所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員來說,在上述說明的基礎(chǔ)上還可以做出其它不同形式的變化或變動,這里無需也無法對所有的實施方式予以窮舉。而因此所引申的顯而易見的變化或變動仍處于本發(fā)明創(chuàng)造的保護范圍之內(nèi)。
enlasoperacionesquedebanserrealizadas,eintensificadasenlospuntosdeactuacióáánelmododeproteccióndeacuerdoconlaICMIEBT026ydeberánincluirensumarcadolatensiónyfrecuencianominales,lapotenciamáximayeltipodeláóndealumbradoserealizaráconcircuitosseparadosparacadaservicio,alumbradodemarquesina,báculosdealumbrado,alumbradodeedificiodeservicios,tomasdealumbrado,etc.,loscircuitosseránmonofásicos,protegidosconinterruptoresautomáticosunipolares,de15AmáóndelsistemadepuestaatierradeberácumplirconlasICMIEBT008,MIEBT021,MIEBT039delReglamentoElectrotéáunsistemacompletodepuestaatierraentodalainstalación,afindeasegurarunaadecuadaprotecciónpara:1.oSeguridaddelpersonalcontradescargasdelosequiposelé.oProteccióndelosequiposeléctricoscontraaverí.oProteccióncontralainflamacióndemezclascombustiblesporelectricidadestáálicasdelosequiposyaparatoseléctricosseconectaránatierraatravésdelconductordeproteccióás,entodosloscircuitosdefuerza。蘇州BOE蝕刻液的生產(chǎn)廠商。
本發(fā)明涉及一種提高氮化硅蝕刻均勻性的酸性蝕刻液,通過在磷酸中添加醇醚類和表面活性劑,來改善磷酸的浸潤性和表面張力,使之均勻蝕刻氮化硅。背景技術(shù):氮化硅是一種具有很高的化學(xué)穩(wěn)定性的絕緣材料,氫氟酸和熱磷酸能對氮化硅進行緩慢地腐蝕。在半導(dǎo)體制造工藝中,一般是采用熱磷酸對氮化硅進行蝕刻,一直到了90nm的制程也是采用熱磷酸來蝕刻氮化硅。但隨著半導(dǎo)體制程的飛速發(fā)展,器件的特征尺寸越來越小,集成度越來越高,對制造工藝中的各工藝節(jié)點要求也越來越高,如蝕刻工藝中對蝕刻后晶圓表面的均勻性、蝕刻殘留、下層薄膜的選擇性等都有要求。在使用熱磷酸對氮化硅進行蝕刻時,晶圓表面會出現(xiàn)不均勻的現(xiàn)象,體現(xiàn)于在蝕刻前后進行相同位置取點的厚度測量時,檢測點之間蝕刻前后的厚度差值存在明顯差異。為了解決氮化硅蝕刻不均勻的問題,通過在磷酸中添加醇醚類和表面活性劑可以實現(xiàn)氮化硅層的均勻蝕刻。技術(shù)實現(xiàn)要素:本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供一種能均勻蝕刻氮化硅層的蝕刻液。本發(fā)明涉及一種提高氮化硅蝕刻均勻性的酸性蝕刻液,所述蝕刻液的組成包括:占蝕刻液總重量≥88%的磷酸、%的醇醚類、%的表面活性劑。進一步地,本發(fā)明涉及上述蝕刻液。蘇州BOE蝕刻液的價格。福建BOE蝕刻液私人定做
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