半導(dǎo)體潔凈烘箱突破三大性能瓶頸是什么？

杭州宏譽(yù)智能科技有限公司2025-08-01

半導(dǎo)體潔凈烘箱是芯片制造中晶圓清洗、光刻膠固化等環(huán)節(jié)的設(shè)備，需在高溫環(huán)境下維持百級(jí)以上潔凈度。此次發(fā)布的設(shè)備通過(guò)三項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)突破實(shí)現(xiàn)行業(yè)帶領(lǐng)： 納米級(jí)溫控系統(tǒng)：采用多區(qū)單獨(dú)PID算法與冗余傳感器陣列，使箱內(nèi)溫度均勻性誤差控制在±0.3℃以內(nèi)，優(yōu)于行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)40%以上。 雙循環(huán)潔凈保障：集成HEPA-ULPA多級(jí)過(guò)濾系統(tǒng)與氣流動(dòng)力學(xué)模型，顆粒物濃度≤0.1μm/m3，滿足3納米制程工藝需求。 綠色節(jié)能設(shè)計(jì)：通過(guò)余熱回收裝置與智能功率模塊，能耗較傳統(tǒng)設(shè)備降低35%，單臺(tái)年減碳量可達(dá)12噸。

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