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杭州宏譽(yù)智能科技有限公司2025-07-26

石墨舟氮?dú)夤駥楸Ｗo(hù)石墨舟及敏感材料設(shè)計(jì)，主要應(yīng)用于光伏電池片鍍膜、半導(dǎo)體晶圓加工等場景。其功能包括： 惰性氣體保護(hù)：通過持續(xù)注入高純度氮?dú)?，將柜?nèi)氧氣濃度控制在0.1%以下，有效防止石墨舟與硅片在高溫工藝中發(fā)生氧化反應(yīng)，延長設(shè)備使用壽命。 溫濕度調(diào)控：搭載智能恒溫系統(tǒng)，可將溫度穩(wěn)定在±1℃范圍內(nèi)，濕度控制在5%RH以下，確保材料存儲(chǔ)環(huán)境的一致性。 自動(dòng)化存取管理：支持機(jī)械臂或軌道式傳輸系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)石墨舟的無人化存取，減少人工干預(yù)帶來的污染風(fēng)險(xiǎn)。

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