真空測量就是真空度的測量,而真空度(詳細注釋見前文:知識分享②|真空如何獲得?)是指低于大氣壓力注釋的氣體稀薄程度的物理量。通常,將用以探測低壓空間稀薄氣體壓力所用的儀器稱為真空計。注釋:大氣壓力:通常指一個標準大氣壓,壓強的單位之一。當溫度為0℃(273.15K)時,在重力加速度為980.655cm/s2處(即在地球緯度為45°的海平面上),使用**的密度為13.5951g/cm3,則760mm高的**柱所產生的壓強為1標準大氣壓。1毫米汞柱(mmHg)和1托(Torr)相近,兩者相差約千萬分之一。1mmHg=1Torr=133.3Pa一個標準大氣壓1atm=101325Pa=760mmHg=1.01325bar=760Torr真空計使用時應該注意什么?蘇州金屬真空計公司
皮拉尼真空計利用氣體分子的熱導率隨壓力變化而變化的特性來測量真空度。它包含一個封閉在室內的加熱絲(通常為鉑絲),該加熱絲形成了惠斯通電橋的一個臂(電阻)。在測量過程中,加熱絲由恒定電流加熱,溫度升高。當加熱絲置于真空或低壓氣體環(huán)境中時,由于氣體分子數(shù)量減少,加熱絲的熱導率降低,導致加熱絲溫度進一步升高。這一溫度變化會引起導線電阻的變化,通過惠斯通電橋測量電阻變化,即可間接獲得真空度的讀數(shù)。皮拉尼真空計主要由感應頭和控制頭兩部分組成。感應頭多為金屬或玻璃外殼,內有感測真空壓力的燈絲或其他感溫元件??刂祁^則為感應頭提供必要的電路,并負責信號放大和信號數(shù)字化的工作。溫州大氣壓真空計生產企業(yè)哪些品牌的真空計質量更好?
概述陶瓷薄膜真空計是一種用于測量真空環(huán)境中壓力的傳感器,應用于半導體制造、真空鍍膜、科研實驗等領域。其部件是陶瓷薄膜,通過測量薄膜在壓力作用下的形變來推算真空度。工作原理薄膜形變:陶瓷薄膜在壓力差作用下發(fā)生形變。信號轉換:形變通過壓阻或電容效應轉換為電信號。信號處理:電信號經放大和處理后,輸出與壓力對應的讀數(shù)。主要特點高精度:測量精度高,適用于低真空至高真空范圍。耐腐蝕:陶瓷材料耐腐蝕,適合惡劣環(huán)境。穩(wěn)定性好:長期穩(wěn)定性優(yōu)異,漂移小。寬量程:覆蓋從低真空到高真空的范圍。
真空測量是指用特定的儀器和裝置,對某一特定空間內真空高低的測定,這種儀器或裝置稱為真空計(儀器、規(guī)管)。真空計的種類很多,通常按測量原理可分為***真空計和相對真空計兩大類:***真空計:通過測定物理參數(shù)直接獲得氣體壓強的真空計。例如U型壓力計、壓縮式真空計等,這類真空計所測量的物理參數(shù)與氣體成分無關,測量比較準確。但是在氣體壓強很低的情況下,直接進行測量是極其困難的。相對真空計:通過測量與壓強有關的物理量,并與***真空計比較后得到壓強值的真空計。如放電真空計、熱傳導真空計、電離真空計等,它的特點是測量的準確度略差,而且和氣體的種類有關。在實際生產中,除真空校準外,大都使用相對真空計。如何校準電容真空計?
2. 熱傳導真空計熱傳導真空計通過氣體熱傳導的變化來測量壓力,適用于低真空和中真空范圍。(1)皮拉尼真空計原理:利用加熱絲的熱量損失與氣體壓力之間的關系測量壓力。測量范圍:10?3 Torr 到 10 Torr。優(yōu)點:響應快、成本低。缺點:受氣體種類影響較大。應用:普通真空系統(tǒng)監(jiān)測。(2)熱電偶真空計原理:通過熱電偶測量加熱絲溫度變化來間接測量壓力。測量范圍:10?3 Torr 到 10 Torr。優(yōu)點:結構簡單、穩(wěn)定性好。缺點:精度較低。應用:低真空和中真空測量。真空計選型需要注意什么?四川mems皮拉尼真空計多少錢
真空計的讀數(shù)可能會受到外部環(huán)境因素的影響。蘇州金屬真空計公司
皮拉尼真空計是一種基于熱傳導原理的真空測量儀器,用于低真空到中真空范圍的測量。其工作原理是通過測量氣體分子對熱絲的熱傳導變化來確定壓力。工作原理皮拉尼真空計的部件是一根加熱的金屬絲(通常是鎢或鉑),其工作原理如下:加熱與熱傳導:金屬絲通電加熱,熱量通過氣體分子傳導。壓力變化:氣體壓力越高,分子越多,熱傳導越強,金屬絲溫度下降。電阻變化:金屬絲溫度變化導致電阻變化,通過測量電阻變化間接測量壓力。主要特點寬量程:適用于低真空到中真空范圍(通常為10^-1 Pa到10^5 Pa)??焖夙憫簩毫ψ兓磻杆?。結構簡單:易于制造和維護。成本較低:相比其他真空計,價格較為經濟。蘇州金屬真空計公司