氦質(zhì)譜檢漏法氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)出現(xiàn)在第二次世界大戰(zhàn)中,經(jīng)過不斷的改進發(fā)展,氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)已經(jīng)成為迄今靈敏、方便的檢漏手段。我國質(zhì)譜檢漏儀的檢測精度已經(jīng)達到了10-14Pa·m3/s,國外質(zhì)譜檢漏儀檢測精度達到了10-16Pa·m3/s。質(zhì)譜檢漏法的原理是利用不同質(zhì)荷比(m/e)的離子在磁場中受洛倫茲力不同而做圓周運動半徑不同的原理,將不同質(zhì)荷比的離子分開,在相應(yīng)半徑上收集到示蹤氣體,如果被檢件出現(xiàn)泄漏,則會檢測到示蹤氣體離子,再通過相應(yīng)計算得出漏率大小。氦氣在空氣中的含量低,又是惰性氣體,使其成為了常用的示蹤氣體。利用氦質(zhì)譜檢漏儀進行檢漏的方法很多,較早的是噴吹法,以后逐漸出現(xiàn)了氦罩法、真空室法、檢漏盒法、真空室累積法、背壓法及前級泵出口采樣法等多種氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)方法。標準漏孔維護需嚴格按照說明書操作執(zhí)行。廣州滲氦漏孔外形
標準漏孔是專門用于測量校驗檢漏儀或檢漏系統(tǒng)中的靈敏度或者精度,標準漏孔可以和檢漏儀或檢漏系統(tǒng)平行連接,檢漏儀檢漏系統(tǒng)能夠識別到標準漏孔上的標稱泄漏量,即可簡單、快速的來判定檢漏系統(tǒng)的狀態(tài)。標準漏孔一般為抗震抗摔、不易堵塞、漏率穩(wěn)定、可重復(fù)利用充氣等優(yōu)點,標準漏孔種類繁多,針對每個產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域都要滿足具體的技術(shù)要求和應(yīng)用場景。不同應(yīng)用行業(yè),不同的檢漏儀器類型漏孔種類也比較多樣性,分類方式也多種多樣。廣州滲氦漏孔外形檢測漏孔時可借助適用儀器,能更精確地找到滲漏位置。
差壓檢漏法差壓檢漏法的原理啟蒙于醫(yī)用天平,它是精確測量微量物品質(zhì)量的測量工具。使用者通過仔細調(diào)整天平一端的砝碼使兩端達到嚴格平衡,這樣被測物的質(zhì)量就可通過砝碼反映出來。差壓氣密檢漏儀的原理同天平一樣,首先我們將相同壓力的氣體同時充入到被測物和基準物內(nèi),使差壓傳感器隔離板兩邊的壓力完全相等,然后觀察其平衡情況。若被測物不漏,那么差壓傳感器隔離板兩邊的壓力將保持平衡。如果被測物存在泄漏,那么它內(nèi)部的壓力會逐漸降低,平衡就被破壞。這樣傳感器就可以檢測出隔離板兩側(cè)因泄漏產(chǎn)生的差壓。而且,如果發(fā)生泄漏,泄漏率(ml/sec)的大小將直接反映在兩側(cè)壓力的失衡速度上。
蘭州510所建立了國內(nèi)測量范圍較寬,不確定度較小的正壓漏率校準裝置。計量院在2010年前后也搭建了一套試驗用正壓漏孔校準裝置。并與今年正式立項建立正壓漏孔校準裝置,涵蓋了專題中第二,三種正壓漏孔的校準。上海市計量測試技術(shù)研究院在2004年建立國內(nèi)一套正常開展量值溯源的正壓漏率校準校準裝置,并通過CNAC實驗室認證。近幾年來該裝置每年完成超過500件標準漏孔的校準服務(wù),在長期的校準過程中驗證了裝置和校準規(guī)范在量值的不確定度、長期穩(wěn)定性方面的成熟。為國內(nèi)起草該范圍的正壓漏孔的校準規(guī)范做好了技術(shù)準備。標準漏孔可檢測檢漏儀的靈敏度指標。
標準漏孔用于來校準腔體檢漏設(shè)備,以確保芯片生產(chǎn)環(huán)境的高真空度,避免微小的泄漏影響產(chǎn)品的質(zhì)量,是電子產(chǎn)業(yè)質(zhì)量控制的重要工具。標準漏孔的使用壽命與使用頻率、于工作環(huán)境密切相關(guān),頻繁的在高溫、腐蝕性氣體中使用起來會縮短其壽命,只要定期維護和校準可延長其有效的使用時間。正確使用標準漏孔是保證檢漏工作質(zhì)量的前提,操作人員需經(jīng)過技術(shù)培訓,熟悉其性能、特點、流程和操作規(guī)范,避免因誤操作導(dǎo)致的計量誤差或設(shè)備損壞。標準漏孔可用于教學實驗中的演示環(huán)節(jié)。重慶全系列漏孔壓力
漏孔檢測前需明確檢測范圍及標準。廣州滲氦漏孔外形
系列漏孔為通道型定值標準漏孔,漏孔元件為微通道毛細管,其漏率或校準精度0.1g/a,支持客戶漏率或年泄漏量定制,如1g/a,2.5g/a,5g/a,…,也可以定制其他漏率單位,如Pa·m3/s(≥5x10-6Pa ·m3/s),大漏率10~100g/a亦可定制。本產(chǎn)品結(jié)合了國內(nèi)外定值漏孔的特點專門研制的一套知識產(chǎn)權(quán)的標準儀器,該產(chǎn)品很好地適應(yīng)國內(nèi)外制冷等行業(yè)對產(chǎn)品檢漏過程嚴格把控的需求。冷媒標準漏孔(定值)特點是漏率穩(wěn)定、可重復(fù)充灌、使用成本較低等廣州滲氦漏孔外形
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