青島冷媒漏孔外形

蘭州510所建立了國內(nèi)測量范圍較寬，不確定度較小的正壓漏率校準(zhǔn)裝置。計量院在2010年前后也搭建了一套試驗(yàn)用正壓漏孔校準(zhǔn)裝置。并與今年正式立項(xiàng)建立正壓漏孔校準(zhǔn)裝置，涵蓋了專題中第二，三種正壓漏孔的校準(zhǔn)。上海市計量測試技術(shù)研究院在2004年建立國內(nèi)一套正常開展量值溯源的正壓漏率校準(zhǔn)校準(zhǔn)裝置，并通過CNAC實(shí)驗(yàn)室認(rèn)證。近幾年來該裝置每年完成超過500件標(biāo)準(zhǔn)漏孔的校準(zhǔn)服務(wù)，在長期的校準(zhǔn)過程中驗(yàn)證了裝置和校準(zhǔn)規(guī)范在量值的不確定度、長期穩(wěn)定性方面的成熟。為國內(nèi)起草該范圍的正壓漏孔的校準(zhǔn)規(guī)范做好了技術(shù)準(zhǔn)備。標(biāo)準(zhǔn)漏孔能輔助判斷檢漏儀的工作狀態(tài)。青島冷媒漏孔外形

氦質(zhì)譜檢漏儀的工作原理是對離子源電離的氦氣分子數(shù)量進(jìn)行量化，而到達(dá)質(zhì)譜室離子源的氦氣分子數(shù)量只是泄漏的分子總量的一部分，這就是分流比。在環(huán)境參數(shù)變化時，這個分流比會有變化，檢漏儀根據(jù)內(nèi)置漏孔1個點(diǎn)做出的擬合曲線很難做到符合全量程：例如一臺檢漏儀的內(nèi)置漏孔是E-7mbarL/s，說明這臺檢漏儀在接近E-7mbarL/s的漏率區(qū)間如[E-6,E-8]是可能準(zhǔn)確的，可能到E-9就很不準(zhǔn)確。建議用2個標(biāo)準(zhǔn)漏孔對氦質(zhì)譜檢漏儀進(jìn)行標(biāo)定。事實(shí)上，包括很多主流檢漏儀廠家Z初都是不提供內(nèi)置漏孔自檢的，而是用戶購置接近自己工件要求漏率的標(biāo)準(zhǔn)漏孔進(jìn)行標(biāo)定。如待測工件合格漏率要求為2.50x10-8mbar.L/s,Z好是購置一個接近該漏率的標(biāo)準(zhǔn)漏孔如3.00x10-8mbar.L/s，經(jīng)過校準(zhǔn)的檢漏儀不需要自檢通過也能準(zhǔn)確的判斷產(chǎn)品是否合格。建議用戶在選購?fù)庵脴?biāo)準(zhǔn)漏孔，盡量接近產(chǎn)品合格要求漏率，東貝真空可以提供從E-2到E-12mbarL/s的標(biāo)準(zhǔn)漏孔。用戶可選用帶氣室的標(biāo)準(zhǔn)漏孔或開放式漏孔。湖北鹵素標(biāo)準(zhǔn)漏孔范圍標(biāo)準(zhǔn)漏孔在半導(dǎo)體制造檢漏中經(jīng)常使用。

標(biāo)準(zhǔn)漏孔的常見問題，外部標(biāo)準(zhǔn)漏孔校準(zhǔn)，檢漏儀的外部校準(zhǔn)是非常重要的?？紤]到各個廠家對自己利益的保護(hù)，目前對標(biāo)準(zhǔn)漏孔存在比較大的兩個誤區(qū)：誤區(qū)1：多個檢漏儀廠家特別是國外廠家說只能用自己的漏孔，包括外置與內(nèi)置，這是一個典型性的謬誤說法。因?yàn)楹べ|(zhì)譜檢漏儀準(zhǔn)不準(zhǔn)，應(yīng)符合標(biāo)準(zhǔn)漏孔。而標(biāo)準(zhǔn)漏孔準(zhǔn)不準(zhǔn)，是國家標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定的檢測機(jī)構(gòu)而不是廠家。誤區(qū)2就是檢漏儀內(nèi)置漏孔檢測通過，檢漏儀就沒有問題。這也是一個認(rèn)識的誤區(qū)，實(shí)際上每一臺檢漏儀要做到寬量程都精確是非常困難的。

開放式氣體標(biāo)準(zhǔn)漏孔，可同時指定壓力、漏率等，開放式標(biāo)準(zhǔn)漏孔不帶氣室或氣體存儲裝置，需外接氣源，適用于任何檢漏儀及檢漏系統(tǒng)。采用先進(jìn)的微通道技術(shù)，具有響應(yīng)快、溫飄小(玻璃滲透為3%/℃，通道型為0.2%/℃)，以及支持小漏率、不易堵塞之優(yōu)點(diǎn)，且漏率測試范圍廣，有無儲存氣罐都可以使用，結(jié)構(gòu)堅固，不易損，穩(wěn)定性好。作為標(biāo)準(zhǔn)漏孔，真實(shí)模擬工況;各種氣體檢測儀校準(zhǔn)，包括氦質(zhì)譜檢漏儀，氫氣檢漏儀，冷媒檢漏儀、SF6檢漏儀，氣密性檢漏儀等標(biāo)準(zhǔn)漏孔可用于教學(xué)實(shí)驗(yàn)中的演示環(huán)節(jié)。

正壓漏孔指在一定氣源壓力下出氣口壓力為大氣壓力的條件下校準(zhǔn)和使用的漏孔，代表性的漏孔有鹵素檢漏用鹵素標(biāo)準(zhǔn)漏孔（鹵素氣體漏率標(biāo)準(zhǔn)器），還有氫氣校準(zhǔn)漏孔。該類漏孔目前應(yīng)用場合和校準(zhǔn)需求要高于一類真空漏孔。主要因?yàn)檎龎簷z漏往往更符合工件和產(chǎn)品的實(shí)際工作狀態(tài)，越來越被重視。被檢容器內(nèi)壓力在1.013×105Pa,容器內(nèi)氣體分子多,壓力受溫度影響大。壓力的變化不正壓檢漏技術(shù)與真空檢漏技術(shù)相比，具有被檢件不用抽真空、工作狀態(tài)和檢漏狀態(tài)可保持一致等特點(diǎn)，同時也帶來了新的問題。標(biāo)準(zhǔn)漏孔可準(zhǔn)確模擬實(shí)際工況中的泄漏狀態(tài) 。紹興滲氦標(biāo)準(zhǔn)漏孔偏差

標(biāo)準(zhǔn)漏孔老化會導(dǎo)致漏率發(fā)生明顯變化 。青島冷媒漏孔外形

檢漏儀內(nèi)置標(biāo)準(zhǔn)漏孔是檢漏儀部件中非常重要的一個組成部分，與檢漏儀的精確度息息相關(guān)， 檢漏儀器在檢測的過程中是用來校準(zhǔn)其精度的一種標(biāo)準(zhǔn)漏率。 通過來比較檢漏儀對這些標(biāo)準(zhǔn)漏孔進(jìn)行檢測時的響應(yīng)值與實(shí)際尺寸上的差異， 可以評估檢漏儀的檢測準(zhǔn)確度和它的穩(wěn)定性，在檢漏儀的檢測過程中， 由于受到了環(huán)境、物質(zhì)等各種因素的影響，檢漏儀的檢測結(jié)果可能會出現(xiàn)誤差。此時若采用標(biāo)準(zhǔn)漏孔進(jìn)行校準(zhǔn)， 便可以提高檢測儀器的準(zhǔn)確性和可靠性。青島冷媒漏孔外形

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