有用于輸送半導(dǎo)體晶圓的機(jī)械手。具體地，該機(jī)械手將半導(dǎo)體晶圓插入到處理室（process chamber），或者將半導(dǎo)體晶圓從處理室中取出。傳送室（transfer chamber）連結(jié)于處理室。機(jī)械手配置在該傳送室內(nèi)。利用機(jī)械手使半導(dǎo)體晶圓在傳送室與處理室之間移動(dòng)。傳送室相當(dāng)于小的無(wú)塵室。傳送室防止灰塵等雜質(zhì)附著于半導(dǎo)體晶圓。在傳送室內(nèi)保持空氣（或者氣體）清潔。另外，傳送室內(nèi)有時(shí)被保持為真空。要求使在傳送室內(nèi)工作的機(jī)械手不產(chǎn)生雜質(zhì)的方法。所述鋁合金平板下表面通過(guò)金屬箔片密封其真空腔體。肇慶新款晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂廠家報(bào)價(jià)半導(dǎo)體晶圓有時(shí)在處理室內(nèi)暴露在高溫中。因此，機(jī)械手有時(shí)輸送高溫的半導(dǎo)體晶圓。若...

9)模糊與神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)控制。是一種語(yǔ)言控制器,可反映人在進(jìn)行控制活動(dòng)時(shí)的思維特點(diǎn)。其主要特點(diǎn)之一是控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)并不需要通常意義上的被控對(duì)象的數(shù)學(xué)模型,而是需要操作者或**的經(jīng)驗(yàn)知識(shí),操作數(shù)據(jù)等。[3]研究意義與剛性機(jī)械臂相比較,柔性機(jī)械臂具有結(jié)構(gòu)輕、載重/自重比高等特性,因而具有較低的能耗、較大的操作空間和很高的效率,其響應(yīng)快速而準(zhǔn)確,有著很多潛在的優(yōu)點(diǎn),在工業(yè)、**等應(yīng)用領(lǐng)域中占有十分重要的地位.隨著宇航業(yè)及機(jī)器人業(yè)的飛速發(fā)展,越來(lái)越多地采用由若干個(gè)柔性構(gòu)件組成的多柔體系統(tǒng).。傳統(tǒng)的多剛體動(dòng)力學(xué)的分析方法及控制方法己不能滿(mǎn)足多柔體系統(tǒng)的動(dòng)力分析及控制的要求.柔性機(jī)械臂作為**簡(jiǎn)單的非平...

主體部分通常采用強(qiáng)度高、輕質(zhì)的材料，如鋁合金或碳纖維復(fù)合材料，以確保在保證結(jié)構(gòu)強(qiáng)度的同時(shí)減輕自身重量，減少運(yùn)動(dòng)慣性，提高操作的靈活性和響應(yīng)速度。吸臂的形狀和尺寸經(jīng)過(guò)精心設(shè)計(jì)，以適應(yīng)不同尺寸晶圓的搬運(yùn)需求。一般具有多個(gè)關(guān)節(jié)和自由度，能夠?qū)崿F(xiàn)多角度的靈活運(yùn)動(dòng)，類(lèi)似于人類(lèi)手臂的關(guān)節(jié)活動(dòng)。例如，常見(jiàn)的多關(guān)節(jié)機(jī)械吸臂可以在三維空間內(nèi)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)、伸展、彎曲等動(dòng)作，確保晶圓能夠準(zhǔn)確地從一個(gè)位置移動(dòng)到另一個(gè)位置，無(wú)論是在光刻機(jī)、刻蝕機(jī)等設(shè)備之間的轉(zhuǎn)移，還是在晶圓存儲(chǔ)盒與加工設(shè)備之間的傳送，都能精確無(wú)誤。一般機(jī)構(gòu)可由電力、液壓、氣動(dòng)、人力驅(qū)動(dòng)。江蘇進(jìn)口晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂上門(mén)服務(wù) 場(chǎng)景是新技術(shù)應(yīng)用中的重要一環(huán)，場(chǎng)景...

年來(lái)全球硅晶圓供給不足，導(dǎo)致8英寸、12英寸硅晶圓訂單能見(jiàn)度分別已達(dá)2019上半年和年底。目前國(guó)內(nèi)多個(gè)硅晶圓項(xiàng)目已經(jīng)開(kāi)始籌備，期望有朝一日能夠打破進(jìn)口依賴(lài)，并有足夠的能力滿(mǎn)足市場(chǎng)需求。硅在自然界中以硅酸鹽或二氧化硅的形式***存在于巖石、砂礫中，硅晶圓的制造可以歸納為三個(gè)基本步驟：硅提煉及提純、單晶硅生長(zhǎng)、晶圓成型。一，晶柱制造步驟硅提純:將沙石原料放入一個(gè)溫度約為2000℃，并且有碳源存在的電弧熔爐中，在高溫下，碳和沙石中的二氧化硅進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)（碳氧結(jié)合，得硅），提純得純度約為98%的純硅，又稱(chēng)冶金級(jí)硅，這對(duì)微電子器件來(lái)說(shuō)依然不夠純，因?yàn)榘雽?dǎo)體材料的電學(xué)特性對(duì)雜質(zhì)的濃度相當(dāng)?shù)拿舾?，因而?duì)冶金...

沖床行業(yè)機(jī)械臂又名沖床行業(yè)機(jī)械手、沖床沖壓機(jī)械手，它是用于沖床行業(yè)專(zhuān)門(mén)用的機(jī)械臂，沖床沖壓機(jī)械手能按照預(yù)選程序自動(dòng)完成幾個(gè)規(guī)定的動(dòng)作，實(shí)現(xiàn)物體的自動(dòng)夾取和運(yùn)送。在沖壓生產(chǎn)中，它不僅用于一臺(tái)壓力機(jī)上完成上下料工作，實(shí)現(xiàn)單機(jī)自動(dòng)化，也可以用在由若干臺(tái)壓力機(jī)組成的流水生產(chǎn)線上，實(shí)現(xiàn)各壓力機(jī)之間工件的自動(dòng)傳遞，形成自動(dòng)沖壓生產(chǎn)線。由于機(jī)械手能方便地改變工作程序，因而在經(jīng)常變換產(chǎn)品品種的中小件沖壓生產(chǎn)中，對(duì)于實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)自動(dòng)化更具有重要意義。沖床沖壓機(jī)械手由執(zhí)行機(jī)構(gòu)、驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)和電氣控制系統(tǒng)等組成。 實(shí)現(xiàn)旋轉(zhuǎn)、升降運(yùn)動(dòng)是由橫臂和產(chǎn)柱去完成。揭陽(yáng)新款晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂廠商晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂的應(yīng)用非常廣，主要包括...

年來(lái)全球硅晶圓供給不足，導(dǎo)致8英寸、12英寸硅晶圓訂單能見(jiàn)度分別已達(dá)2019上半年和年底。目前國(guó)內(nèi)多個(gè)硅晶圓項(xiàng)目已經(jīng)開(kāi)始籌備，期望有朝一日能夠打破進(jìn)口依賴(lài)，并有足夠的能力滿(mǎn)足市場(chǎng)需求。硅在自然界中以硅酸鹽或二氧化硅的形式***存在于巖石、砂礫中，硅晶圓的制造可以歸納為三個(gè)基本步驟：硅提煉及提純、單晶硅生長(zhǎng)、晶圓成型。一，晶柱制造步驟硅提純:將沙石原料放入一個(gè)溫度約為2000℃，并且有碳源存在的電弧熔爐中，在高溫下，碳和沙石中的二氧化硅進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)（碳氧結(jié)合，得硅），提純得純度約為98%的純硅，又稱(chēng)冶金級(jí)硅，這對(duì)微電子器件來(lái)說(shuō)依然不夠純，因?yàn)榘雽?dǎo)體材料的電學(xué)特性對(duì)雜質(zhì)的濃度相當(dāng)?shù)拿舾?，因而?duì)冶金...

機(jī)械臂的工作原理： 一般機(jī)構(gòu)可由電力、液壓、氣動(dòng)、人力驅(qū)動(dòng)。機(jī)構(gòu)有螺紋頂緊機(jī)構(gòu)（如臺(tái)虎鉗）、斜鍥壓緊、 導(dǎo)桿滑塊機(jī)構(gòu)（破碎機(jī)常用）、利用重力的自鎖機(jī)構(gòu)（如抓磚頭的）等等。還有簡(jiǎn)單的：如可用氣（液壓）缸直接夾緊的。如果是小物品，可直接購(gòu)買(mǎi)FESTO等公司的氣動(dòng)手指。 底座是用來(lái)安裝和固定機(jī)器的。 油箱是裝潤(rùn)滑油或液壓油循環(huán)的。 升降位置檢測(cè)器，要么是確定物體或機(jī)器部件是否位于某幾個(gè)預(yù)定高度位置，要么是實(shí)時(shí)檢測(cè)其高度的。 手臂回轉(zhuǎn)升降機(jī)構(gòu)就是機(jī)械臂在升降的同時(shí)也可以旋轉(zhuǎn)的。 手臂伸縮機(jī)構(gòu)是機(jī)械臂伸出和縮回的伸縮位置檢測(cè)器作用基本等同于升降位置檢測(cè)器，只...

機(jī)械臂的工作原理： 一般機(jī)構(gòu)可由電力、液壓、氣動(dòng)、人力驅(qū)動(dòng)。機(jī)構(gòu)有螺紋頂緊機(jī)構(gòu)（如臺(tái)虎鉗）、斜鍥壓緊、 導(dǎo)桿滑塊機(jī)構(gòu)（破碎機(jī)常用）、利用重力的自鎖機(jī)構(gòu)（如抓磚頭的）等等。還有簡(jiǎn)單的：如可用氣（液壓）缸直接夾緊的。如果是小物品，可直接購(gòu)買(mǎi)FESTO等公司的氣動(dòng)手指。 底座是用來(lái)安裝和固定機(jī)器的。 油箱是裝潤(rùn)滑油或液壓油循環(huán)的。 升降位置檢測(cè)器，要么是確定物體或機(jī)器部件是否位于某幾個(gè)預(yù)定高度位置，要么是實(shí)時(shí)檢測(cè)其高度的。 手臂回轉(zhuǎn)升降機(jī)構(gòu)就是機(jī)械臂在升降的同時(shí)也可以旋轉(zhuǎn)的。 手臂伸縮機(jī)構(gòu)是機(jī)械臂伸出和縮回的伸縮位置檢測(cè)器作用基本等同于升降位置檢測(cè)器，只...

年來(lái)全球硅晶圓供給不足，導(dǎo)致8英寸、12英寸硅晶圓訂單能見(jiàn)度分別已達(dá)2019上半年和年底。目前國(guó)內(nèi)多個(gè)硅晶圓項(xiàng)目已經(jīng)開(kāi)始籌備，期望有朝一日能夠打破進(jìn)口依賴(lài)，并有足夠的能力滿(mǎn)足市場(chǎng)需求。硅在自然界中以硅酸鹽或二氧化硅的形式***存在于巖石、砂礫中，硅晶圓的制造可以歸納為三個(gè)基本步驟：硅提煉及提純、單晶硅生長(zhǎng)、晶圓成型。一，晶柱制造步驟硅提純:將沙石原料放入一個(gè)溫度約為2000℃，并且有碳源存在的電弧熔爐中，在高溫下，碳和沙石中的二氧化硅進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)（碳氧結(jié)合，得硅），提純得純度約為98%的純硅，又稱(chēng)冶金級(jí)硅，這對(duì)微電子器件來(lái)說(shuō)依然不夠純，因?yàn)榘雽?dǎo)體材料的電學(xué)特性對(duì)雜質(zhì)的濃度相當(dāng)?shù)拿舾?，因而?duì)冶金...

使用匯編語(yǔ)言編寫(xiě)計(jì)算機(jī)程序，程序員仍然需要十分熟悉計(jì)算機(jī)系統(tǒng)的硬件結(jié)構(gòu)，所以從程序設(shè)計(jì)本身上來(lái)看仍然是低效率的、煩瑣的。但正是由于匯編語(yǔ)言與計(jì)算機(jī)硬件系統(tǒng)關(guān)系密切，在某些特定的場(chǎng)合，如對(duì)時(shí)空效率要求很高的系統(tǒng)**程序以及實(shí)時(shí)控制程序等，迄今為止匯編語(yǔ)言仍然是十分有效的程序設(shè)計(jì)工具。工業(yè)機(jī)械臂目前還沒(méi)有統(tǒng)一的分類(lèi)標(biāo)準(zhǔn)。根據(jù)不同的要求可進(jìn)行不同的分類(lèi)。一、按驅(qū)動(dòng)方式分1．液壓式 液壓驅(qū)動(dòng)機(jī)械臂通常由液動(dòng)機(jī)（各種油缸、油馬達(dá)）、伺服閥、油泵、油箱等組成驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)，由驅(qū)動(dòng)機(jī)械臂的執(zhí)行機(jī)構(gòu)進(jìn)行工作。通常它具有很大的抓舉能力（高達(dá)幾百公斤以上），其特點(diǎn)是結(jié)構(gòu)緊湊，動(dòng) 作平穩(wěn)，耐沖擊，耐振動(dòng)，防爆性好，但液壓...

進(jìn)行光刻： 將設(shè)計(jì)好的電路掩模，置于光刻機(jī)的紫外射線下，然后再在它的下面放置Wafer，這一刻，Wafer上被光刻部分的光刻膠被融化掉，刻上了電路圖。然后將光刻膠去除，光刻膠上的圖案要與掩模上的圖案一致，然后進(jìn)行再次光刻。一般來(lái)說(shuō)一個(gè)晶圓的電路要經(jīng)過(guò)多次光刻。而隨著技術(shù)革新，極紫光刻出現(xiàn)了，現(xiàn)階段光刻的效率變得比以前更高，甚至于可以達(dá)到光刻一次完成。 注射： 在真空下，將導(dǎo)電材料注入晶圓的電路內(nèi)部。其真空的標(biāo)準(zhǔn)比無(wú)菌室或ICU還要高出千萬(wàn)倍。 直角坐標(biāo)系機(jī)械手臂，球坐標(biāo)系機(jī)械手臂，極坐標(biāo)機(jī)械手臂.清遠(yuǎn)正規(guī)晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂什么價(jià)格 晶圓是半導(dǎo)體行業(yè)的關(guān)鍵元件，隨著半導(dǎo)體行業(yè)...

研究背景近年來(lái)，隨著機(jī)器人技術(shù)的發(fā)展，應(yīng)用高速度、高精度、 高負(fù)載自重比的機(jī)器人結(jié)構(gòu)受到工業(yè)和航空航天領(lǐng)域的關(guān)注。由于運(yùn)動(dòng)過(guò)程中關(guān)節(jié)和連桿的柔性效應(yīng)的增加，使結(jié)構(gòu)發(fā)生變形從而使任務(wù)執(zhí)行的精度降低。所以，機(jī)器人機(jī)械臂結(jié)構(gòu)柔性特征必須予以考慮，實(shí)現(xiàn)柔性機(jī)械臂高精度有效控制也必須考慮系統(tǒng)動(dòng)力學(xué)特性。柔性機(jī)械臂是一個(gè)非常復(fù)雜的動(dòng)力學(xué)系統(tǒng)，其動(dòng)力學(xué)方程具有非線性, 強(qiáng)耦合, 實(shí)變等特點(diǎn)。而進(jìn)行柔性臂動(dòng)力學(xué)問(wèn)題的研究，其模型的建立是極其重要的。柔性機(jī)械臂不僅是一個(gè)剛?cè)狁詈系姆蔷€性系統(tǒng)，而且也是系統(tǒng)動(dòng)力學(xué)特性與控制特性相互耦合即機(jī)電耦合的非線性系統(tǒng)。動(dòng)力學(xué)建模的目的是為控制系統(tǒng)描述及控制器設(shè)計(jì)提供依據(jù)。一般...

使用匯編語(yǔ)言編寫(xiě)計(jì)算機(jī)程序，程序員仍然需要十分熟悉計(jì)算機(jī)系統(tǒng)的硬件結(jié)構(gòu)，所以從程序設(shè)計(jì)本身上來(lái)看仍然是低效率的、煩瑣的。但正是由于匯編語(yǔ)言與計(jì)算機(jī)硬件系統(tǒng)關(guān)系密切，在某些特定的場(chǎng)合，如對(duì)時(shí)空效率要求很高的系統(tǒng)**程序以及實(shí)時(shí)控制程序等，迄今為止匯編語(yǔ)言仍然是十分有效的程序設(shè)計(jì)工具。工業(yè)機(jī)械臂目前還沒(méi)有統(tǒng)一的分類(lèi)標(biāo)準(zhǔn)。根據(jù)不同的要求可進(jìn)行不同的分類(lèi)。一、按驅(qū)動(dòng)方式分1．液壓式 液壓驅(qū)動(dòng)機(jī)械臂通常由液動(dòng)機(jī)（各種油缸、油馬達(dá)）、伺服閥、油泵、油箱等組成驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)，由驅(qū)動(dòng)機(jī)械臂的執(zhí)行機(jī)構(gòu)進(jìn)行工作。通常它具有很大的抓舉能力（高達(dá)幾百公斤以上），其特點(diǎn)是結(jié)構(gòu)緊湊，動(dòng) 作平穩(wěn)，耐沖擊，耐振動(dòng)，防爆性好，但液壓...

車(chē)床行業(yè)機(jī)械臂又名車(chē)床自動(dòng)上下料機(jī)械手、上下料機(jī)械手，車(chē)床自動(dòng)上下料機(jī)械手主要實(shí)現(xiàn)機(jī)床制造過(guò)程的完全自動(dòng)化，并采用了集成加工技術(shù)，適用于生產(chǎn)線的上下料、工件翻轉(zhuǎn)、工件轉(zhuǎn)序等。在國(guó)內(nèi)的機(jī)械加工， 很多都是使用專(zhuān)機(jī)或人工進(jìn)行機(jī)床上下料的方式， 這在產(chǎn)品比較單一、產(chǎn)能不高的情況下是非常適合的， 但是隨著社會(huì)的進(jìn)步和發(fā)展， 科技的日益進(jìn)步， 產(chǎn)品更新?lián)Q代加快， 使用專(zhuān)機(jī)或人工進(jìn)行機(jī)床上下料就暴露出了很多的不足和弱點(diǎn)， 一方面專(zhuān)機(jī)占地面積大結(jié)構(gòu)復(fù)雜、維修不便， 不利于自動(dòng)化流水線的生產(chǎn)；另一方面， 它的柔性不夠， 難以適應(yīng)日益加快的變化，不利于產(chǎn)品結(jié)構(gòu)的調(diào)整；其次， 使用人工會(huì)造成勞動(dòng)強(qiáng)度的增加， ...

可用于300mm半導(dǎo)體晶圓搬送的5軸水平多關(guān)節(jié)潔凈機(jī)械手臂GTCR5000系列。 單臂雙手指結(jié)構(gòu)能夠?qū)崿F(xiàn)和雙臂結(jié)構(gòu)同樣的功能。 適用于300mm半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部，檢測(cè)設(shè)備等的晶圓搬運(yùn)。 機(jī)械手臂標(biāo)準(zhǔn)臂長(zhǎng): 210mm, 280mm機(jī)械手臂可以單獨(dú)對(duì)應(yīng)2個(gè)FOUP（210mm臂長(zhǎng)） 或者3個(gè)FOUP（280mm臂長(zhǎng)）雙手指結(jié)構(gòu)能夠縮短更換晶圓時(shí)的手臂動(dòng)作時(shí)間適應(yīng)設(shè)備需求可以選擇底座固定方式，或者法蘭固定方式配備動(dòng)作監(jiān)視器控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式全軸采用絕對(duì)值編碼器規(guī)格的AC伺服電機(jī)通過(guò)S曲線加減速控制方式以及對(duì)運(yùn)動(dòng)軌跡的優(yōu)化 能夠高速，高精度...

晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂具有高度的安全性。它采用了多重安全保護(hù)措施，如防止晶圓滑落的吸盤(pán)設(shè)計(jì)、防止碰撞的傳感器等，有效地保護(hù)了晶圓的安全。此外，晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂還具有防靜電功能，避免了靜電對(duì)晶圓的損害，保證了產(chǎn)品的質(zhì)量和可靠性。晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂具有高度的靈活性和適應(yīng)性。它可以根據(jù)不同的晶圓尺寸和形狀進(jìn)行調(diào)整和適配，適用于各種不同的生產(chǎn)需求。同時(shí)，晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂還可以與其他設(shè)備和系統(tǒng)進(jìn)行無(wú)縫連接，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化生產(chǎn)線的整合和優(yōu)化。晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂具有較低的維護(hù)成本和能耗。它采用了節(jié)能設(shè)計(jì)和智能控制技術(shù)，能夠有效地降低能源消耗和運(yùn)行成本。同時(shí)，晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂的維護(hù)和保養(yǎng)也相對(duì)簡(jiǎn)單，減少了維修和停機(jī)時(shí)間，提...

多功能一體化機(jī)械臂，包括機(jī)械臂主體，所述機(jī)械臂主體由設(shè)置在該機(jī)械臂主體底部的底座、設(shè)置在底座頂部的后臂及設(shè)置在后臂頂部的前臂構(gòu)成的，該種多功能一體化機(jī)械臂，改進(jìn)了原有產(chǎn)品的缺點(diǎn)，本實(shí)用新型多功能一體化機(jī)械臂具有成本費(fèi)用較低、占地面積較小和驅(qū)動(dòng)充足的特點(diǎn)，本機(jī)械臂*由底座、前臂和后臂構(gòu)成的，實(shí)現(xiàn)了占地面積小的特點(diǎn)，且在生產(chǎn)過(guò)程中由于體積較小，廠家生產(chǎn)成本費(fèi)較低，同時(shí)工人在使用時(shí)，移動(dòng)較為方便，設(shè)有的安全離合器、液壓器和液壓室，實(shí)現(xiàn)了本新型機(jī)械臂驅(qū)動(dòng)充足的特點(diǎn)，在使用過(guò)程中完全依靠程序芯片控制，液壓器液壓精細(xì)不會(huì)普遍認(rèn)為機(jī)械臂是實(shí)現(xiàn)智能制造的很好的載體，可以實(shí)現(xiàn)五軸數(shù)控?zé)o法實(shí)現(xiàn)的大操作空間與靈活性...

隨著半導(dǎo)體制造工藝向更小尺寸、更高集成度的方向發(fā)展，對(duì)機(jī)械吸臂的精度和穩(wěn)定性要求越來(lái)越高。在納米級(jí)的制造工藝中，吸臂的微小振動(dòng)、位置偏差或吸附力不均勻都可能對(duì)晶圓造成嚴(yán)重影響。因此，如何進(jìn)一步提高吸臂的運(yùn)動(dòng)精度和穩(wěn)定性，減少各種誤差因素的影響，是當(dāng)前面臨的一個(gè)重要挑戰(zhàn)。半導(dǎo)體制造車(chē)間的環(huán)境要求極為嚴(yán)格，需要在超凈、恒溫、恒濕的條件下進(jìn)行生產(chǎn)。機(jī)械吸臂在這樣的環(huán)境中運(yùn)行，需要具備良好的防塵、防靜電、耐腐蝕等性能。同時(shí)，為了滿(mǎn)足不同工藝設(shè)備的接口要求和工作空間限制，吸臂的設(shè)計(jì)還需要具備更高的靈活性和兼容性。如何在滿(mǎn)足這些復(fù)雜環(huán)境和工藝要求的前提下，保證吸臂的可靠性和使用壽命，也是需要解決的關(guān)鍵問(wèn)題...

晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂是半導(dǎo)體制造過(guò)程中不可或缺的重要設(shè)備之一。它主要用于將晶圓從一個(gè)工序轉(zhuǎn)移到另一個(gè)工序，確保晶圓在整個(gè)制造過(guò)程中的安全和穩(wěn)定運(yùn)輸。 晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂具有高度的自動(dòng)化和精確性。它采用先進(jìn)的自動(dòng)控制系統(tǒng)，能夠準(zhǔn)確地定位和抓取晶圓，避免了人為操作的誤差和不穩(wěn)定性。通過(guò)精確的控制，晶圓可以在不同工序之間快速而安全地轉(zhuǎn)移，提高了生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量。其次，晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂具有高度的可靠性和穩(wěn)定性。它采用了質(zhì)量高的材料和先進(jìn)的制造工藝，具有良好的耐磨性和抗腐蝕性。同時(shí)，晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂經(jīng)過(guò)嚴(yán)格的測(cè)試和檢驗(yàn)，確保其在長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行中不會(huì)出現(xiàn)故障或損壞，保證了生產(chǎn)線的連續(xù)性和穩(wěn)定性。 一般也...

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素： 本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問(wèn)題是：現(xiàn)有機(jī)械手臂易出現(xiàn)碰撞損傷，且傳送晶圓效率較低。 為了解決上述問(wèn)題，本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例提供了一種機(jī)械手臂，其包括：托板；固定在所述托板上的絨毛墊，所述絨毛墊至少部分裸露于所述托板的用于承載晶圓的表面，并適于在與所述表面之上的晶圓接觸時(shí)利用范德華力吸附晶圓。 可選地，所述絨毛墊包括托墊和絨毛，所述托墊固定在所述托板上，所述絨毛固定在所述托墊上。 可選地，所述托板設(shè)有貫穿所述表面的螺紋通孔，所述托墊嵌設(shè)在所述螺紋通孔內(nèi)，并通過(guò)與所述螺紋通孔螺紋配合的螺釘固定在所述托板上。 可選地，所述絨毛為硅樹(shù)脂橡膠絨毛或...

本發(fā)明針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供了一種晶圓搬運(yùn)機(jī)械手，本發(fā)明的機(jī)械手在傳送過(guò)程中晶片中心始終保證直線運(yùn)動(dòng)，且角度不會(huì)發(fā)生改變。從而提高機(jī)械手整體剛度和承重能力，同時(shí)提高了重復(fù)定位精度。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理性能穩(wěn)定，維護(hù)方便，多功能集一身，可滿(mǎn)足多種工藝設(shè)備要求，適用于各種半導(dǎo)體設(shè)備。 為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明通過(guò)下述技術(shù)方案得以解決：一種晶圓搬運(yùn)機(jī)械手，包括升降軸、旋轉(zhuǎn)軸和伸展軸，其特征為，所述的伸展軸包括伸展電機(jī)、一級(jí)伸展臂、二級(jí)伸展臂和手指固定座，所述的一級(jí)伸展臂與所述伸展電機(jī)之間設(shè)置有一級(jí)關(guān)節(jié)，所述的一級(jí)伸展臂與所述的二級(jí)伸展臂之間設(shè)置有二級(jí)關(guān)節(jié)，所述的二級(jí)伸展臂...

機(jī)械臂是指高精度，多輸入多輸出、高度非線性、強(qiáng)耦合的復(fù)雜系統(tǒng)。因其獨(dú)特的操作靈活性, 已在工業(yè)裝配, 安全防爆等領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。機(jī)械臂是一個(gè)復(fù)雜系統(tǒng), 存在著參數(shù)攝動(dòng)、外界干擾及未建模動(dòng)態(tài)等不確定性。因而機(jī)械臂的建模模型也存在著不確定性，對(duì)于不同的任務(wù), 需要規(guī)劃?rùn)C(jī)械臂關(guān)節(jié)空間的運(yùn)動(dòng)軌跡，從而級(jí)聯(lián)構(gòu)成末端位姿 [1] 。機(jī)器人系統(tǒng)是由視覺(jué)傳感器、機(jī)械臂系統(tǒng)及主控計(jì)算機(jī)組成，其中機(jī)械臂系統(tǒng)又包括模塊化機(jī)械臂和靈巧手兩部分。整個(gè)系統(tǒng)的構(gòu)建模型如圖1 所示．工業(yè)機(jī)械臂距離高精度的智能制造還有很長(zhǎng)一段路要走。安徽正規(guī)晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂批發(fā) 晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂主要由以下幾個(gè)部分組成： 吸盤(pán)：用于...

工業(yè)機(jī)械臂定義為“其操作機(jī)是自動(dòng)控制的，可重復(fù)編程、多用途，并可以對(duì)3個(gè)以上軸進(jìn)行編程。它可以是固定式或者移動(dòng)式。在工業(yè)自動(dòng)化應(yīng)用中使用”。操作機(jī)又定義為“是一種機(jī)器，其機(jī)構(gòu)通常由一系列相互鉸接或相對(duì)滑動(dòng)的構(gòu)件所組成。它通常有幾個(gè)自由度，用以抓取或移動(dòng)物體（工具或工件）?！彼詫?duì)工業(yè)機(jī)械臂可能理解為：擬人手臂、手腕和手功能 的機(jī)械電子裝置；它可把任一物件或工具按空間位姿（位置和姿態(tài)）的時(shí)變要求進(jìn)行移動(dòng)，從而完成某一工業(yè)生產(chǎn)的作業(yè)要求。 隨著宇航業(yè)及機(jī)器人業(yè)的飛速發(fā)展，越來(lái)越多地采用由若干個(gè)柔性構(gòu)件組成的多柔體系統(tǒng)。南京新款晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂新報(bào)價(jià) 機(jī)械臂的工作原理： 一般機(jī)構(gòu)可由電力...

半導(dǎo)體晶圓有時(shí)在處理室內(nèi)暴露在高溫中。因此，機(jī)械手有時(shí)輸送高溫的半導(dǎo)體晶圓。若高溫的半導(dǎo)體晶圓與手部接觸，則手部的溫度上升，并且配置在前臂連桿與手部之間的關(guān)節(jié)的溫度也上升。由此，安裝于關(guān)節(jié)的軸承的溫度上升。軸承的溫度上升促進(jìn)該軸承內(nèi)的潤(rùn)滑劑的劣化。因此，與配置在上臂連桿與前臂連桿之間的關(guān)節(jié)的軸承相比，配置在前臂連桿和手部之間的關(guān)節(jié)的軸承的維護(hù)頻率較高。 晶圓是指硅半導(dǎo)體集成電路制作所用的硅晶片，由于其形狀為圓形，故稱(chēng)為晶圓；在硅晶片上可加工制作成各種電路元件結(jié)構(gòu)，而成為有特定電性功能的集成電路產(chǎn)品。 晶圓的原始材料是硅，而地殼表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅礦石經(jīng)由電弧爐提煉，鹽酸...

電動(dòng)式 電力驅(qū)動(dòng)是目前機(jī)械臂使用得**多的一種驅(qū)動(dòng)方式。其特點(diǎn)是電源方便，響應(yīng)快，驅(qū)動(dòng)力較大（關(guān)節(jié)型的持重已達(dá)400公斤），信號(hào)檢測(cè)、傳遞、處理方便，并可以采用多種靈活的控制方案。驅(qū)動(dòng)電機(jī)一般采用步進(jìn)電機(jī)，直流伺服電機(jī)以及交流伺服電機(jī)（其中交流伺服電機(jī)為目前主要的驅(qū)動(dòng)形式）。由于電機(jī)速度高，通常采用減速機(jī)構(gòu)（如諧波傳動(dòng)、RV擺線針輪傳動(dòng)、齒輪傳動(dòng)、螺旋行動(dòng)和多桿式機(jī)構(gòu)等）。目前，有些機(jī)械臂已開(kāi)始采用無(wú)減速機(jī)構(gòu)的大轉(zhuǎn)矩、低轉(zhuǎn)速的電機(jī)進(jìn)行直接驅(qū)動(dòng)（DD），這既可以使機(jī)構(gòu)簡(jiǎn)化，又可提高控制精度。二、按用途分⒈搬運(yùn)機(jī)械臂 這種機(jī)械臂用途很廣，一般只需點(diǎn)位控制。即被搬運(yùn)零件無(wú)嚴(yán)格的運(yùn)動(dòng)軌跡要求，只要求始點(diǎn)...

傳感系統(tǒng)是晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂實(shí)現(xiàn)精確操作的關(guān)鍵。它猶如吸臂的“眼睛”和“神經(jīng)”，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)吸臂的位置、姿態(tài)以及晶圓的狀態(tài)，為控制系統(tǒng)提供準(zhǔn)確的數(shù)據(jù)反饋。在位置和姿態(tài)檢測(cè)方面，通常采用高精度的編碼器、陀螺儀和激光傳感器等。編碼器可以精確測(cè)量吸臂關(guān)節(jié)的旋轉(zhuǎn)角度和直線位移，從而確定吸臂在空間中的位置坐標(biāo)。陀螺儀則用于監(jiān)測(cè)吸臂的旋轉(zhuǎn)速度和方向變化，幫助控制系統(tǒng)實(shí)時(shí)調(diào)整運(yùn)動(dòng)姿態(tài)，確保吸臂的運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)和準(zhǔn)確。激光傳感器可以對(duì)周?chē)h(huán)境進(jìn)行掃描和測(cè)距，輔助吸臂在復(fù)雜的工作場(chǎng)景中避開(kāi)障礙物，實(shí)現(xiàn)安全的晶圓搬運(yùn)。對(duì)于粉塵作業(yè)的機(jī)械手還要添裝防塵設(shè)施。南通晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂價(jià)格多少 晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂是半導(dǎo)體制造過(guò)程中不可...

場(chǎng)景是新技術(shù)應(yīng)用中的重要一環(huán)，場(chǎng)景越多意味著應(yīng)用的廣大性和未來(lái)的期望空間越大，而如果一款技術(shù)誕生沒(méi)有實(shí)際的應(yīng)用場(chǎng)景，即無(wú)法融入人們的日常生活和生產(chǎn)制造中，這對(duì)它的后續(xù)發(fā)展影響是致命的。 機(jī)械手臂的應(yīng)用場(chǎng)景有哪些呢？它的應(yīng)用特點(diǎn)十分明顯，主要代替人工從事場(chǎng)景危險(xiǎn)的工作或者是代替密集型、重復(fù)性高的動(dòng)作。如果工作場(chǎng)景符合上述兩個(gè)特點(diǎn)，機(jī)械手臂都可以得到應(yīng)用。 機(jī)械手臂應(yīng)用場(chǎng)景多在制造業(yè)，有重工業(yè)屬性，如金屬加工、拋光打磨、裝配、機(jī)床上下料、碼垛/搬運(yùn)、橡膠/塑料、分揀等。 手臂伸縮機(jī)構(gòu)是機(jī)械臂伸出和縮回的伸縮位置檢測(cè)器作用基本等同于升降位置檢測(cè)器。肇慶新款晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂批發(fā) 可用...

可用于300mm半導(dǎo)體晶圓搬送的5軸水平多關(guān)節(jié)潔凈機(jī)械手臂GTCR5000系列。 單臂雙手指結(jié)構(gòu)能夠?qū)崿F(xiàn)和雙臂結(jié)構(gòu)同樣的功能。 適用于300mm半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部，檢測(cè)設(shè)備等的晶圓搬運(yùn)。 機(jī)械手臂標(biāo)準(zhǔn)臂長(zhǎng): 210mm, 280mm機(jī)械手臂可以單獨(dú)對(duì)應(yīng)2個(gè)FOUP（210mm臂長(zhǎng)） 或者3個(gè)FOUP（280mm臂長(zhǎng)）雙手指結(jié)構(gòu)能夠縮短更換晶圓時(shí)的手臂動(dòng)作時(shí)間適應(yīng)設(shè)備需求可以選擇底座固定方式，或者法蘭固定方式配備動(dòng)作監(jiān)視器控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式全軸采用絕對(duì)值編碼器規(guī)格的AC伺服電機(jī)通過(guò)S曲線加減速控制方式以及對(duì)運(yùn)動(dòng)軌跡的優(yōu)化 能夠高速，高精度...

基因決定”——生長(zhǎng)方法導(dǎo)致若要回答這個(gè)問(wèn)題，首先要說(shuō)一個(gè)大約有100余年歷史的原因。。。1918年，前蘇聯(lián)科學(xué)家切克勞斯基（Czochralski）建立起來(lái)一種晶體生長(zhǎng)方法——直拉式晶體生長(zhǎng)方法，簡(jiǎn)稱(chēng)CZ法。硅晶圓的制造可以歸納為三個(gè)基本步驟：硅提煉及提純、單晶硅生長(zhǎng)、晶圓成型。首先是硅砂的提純及熔煉。這個(gè)階段主要是通過(guò)溶解、提純、蒸餾等一系列措施得到多晶硅。接下來(lái)是單晶硅生長(zhǎng)工藝。就是從硅熔體中生長(zhǎng)出單晶硅。高純度的多晶硅放在石英坩堝中，在保護(hù)性氣氛中高溫加熱使其熔化。使用一顆小的籽晶緩慢地從旋轉(zhuǎn)著的熔體中緩慢上升，即可垂直拉制出大直徑的單晶硅錠。***一步是晶圓成型。單晶硅錠一...

半導(dǎo)體晶圓有時(shí)在處理室內(nèi)暴露在高溫中。因此，機(jī)械手有時(shí)輸送高溫的半導(dǎo)體晶圓。若高溫的半導(dǎo)體晶圓與手部接觸，則手部的溫度上升，并且配置在前臂連桿與手部之間的關(guān)節(jié)的溫度也上升。由此，安裝于關(guān)節(jié)的軸承的溫度上升。軸承的溫度上升促進(jìn)該軸承內(nèi)的潤(rùn)滑劑的劣化。因此，與配置在上臂連桿與前臂連桿之間的關(guān)節(jié)的軸承相比，配置在前臂連桿和手部之間的關(guān)節(jié)的軸承的維護(hù)頻率較高。 晶圓是指硅半導(dǎo)體集成電路制作所用的硅晶片，由于其形狀為圓形，故稱(chēng)為晶圓；在硅晶片上可加工制作成各種電路元件結(jié)構(gòu)，而成為有特定電性功能的集成電路產(chǎn)品。 晶圓的原始材料是硅，而地殼表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅礦石經(jīng)由電弧爐提煉，鹽酸...