壓電陶瓷位移傳感控制技術(shù)

來源: 發(fā)布時間:2024-03-05

壓電納米位移平臺是非中孔式位移臺,有一定的承重負(fù)載能力,是一款面向半導(dǎo)體制造、光纖制造、激光直寫等應(yīng)用方向的產(chǎn)品,采用閉環(huán)負(fù)反饋控制,具有結(jié)構(gòu)緊湊、體積小、運動范圍大、成本低等特點。主要用于帶動負(fù)載進(jìn)行納米級精度的位移,以實現(xiàn)超精密定位加工的用途。壓電納米位移平臺由疊堆型壓電陶瓷執(zhí)行器提供驅(qū)動力,經(jīng)過位移放大機(jī)構(gòu),柔性機(jī)構(gòu)推動移動端面進(jìn)行1X1、2X2或3X3高精度位移,由于疊堆型壓電陶瓷執(zhí)行器響應(yīng)速度快,體積小,出力大剛度高,可以根據(jù)控制信號實現(xiàn)毫秒級快速定位響應(yīng)。 什么是六自由度壓電納米定位臺?壓電陶瓷位移傳感控制技術(shù)

近年來,由于光通信技術(shù)飛速發(fā)展,光纖連接器作為光通信基本的光源器件,所以對其質(zhì)量及可靠性有了更嚴(yán)格的要求。為了提高光纖連接及光信號傳輸?shù)男?,因此光纖端面的檢測至關(guān)重要。為得到光纖端面的三維參數(shù),通常根據(jù)光學(xué)干涉來進(jìn)行測量。其中由壓電陶瓷控制器控制的壓電納米定位臺用于移動3D干涉儀系統(tǒng)中米羅的干涉物鏡或光纖連接器以產(chǎn)生位相移動,分5步位相移動,每移動一步后由CCD攝像頭讀取干涉條紋。壓電納米定位臺內(nèi)部采用無摩擦柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu),一體化的結(jié)構(gòu)設(shè)計。機(jī)構(gòu)放大式驅(qū)動原理,內(nèi)置高性能壓電陶瓷,可實現(xiàn)100μm位移。閉環(huán)版本定位精度可達(dá)納米級。采用有限元仿真分析優(yōu)化柔性鉸鏈結(jié)構(gòu),柔性導(dǎo)向系統(tǒng)具有超高的導(dǎo)向精度,具有高剛性、高負(fù)載、無摩擦等特點。 顯微鏡配件創(chuàng)新性能提升技術(shù)探究“納米定位”則是它的功能,它的移動端面可以產(chǎn)生納米級精度的步進(jìn)運動。

十年來,我國自主研發(fā)的北斗芯片工藝從90nm到28nm,尺寸不斷縮小,性能不斷提升,并具備在全球范圍展開競爭的實力和底氣。在剛剛舉辦的第十屆中國衛(wèi)星導(dǎo)航年會宣布,我國正在研發(fā)北斗22納米高精度、低功耗定位芯片。結(jié)合北斗三號全球系統(tǒng)的建成,該22納米工藝北斗定位芯片,將使得我國北斗能夠切入到無人機(jī)、自動駕駛、機(jī)器人、物聯(lián)網(wǎng)等熱門應(yīng)用領(lǐng)域;并助力北斗在全球范圍內(nèi)提供更好的服務(wù)。

據(jù)悉,該芯片由國內(nèi)創(chuàng)新衛(wèi)星導(dǎo)航企業(yè)、北斗上市企業(yè)北斗星通旗下的芯片公司和芯星通研發(fā)。

納米定位平臺的設(shè)計從上面的簡要介紹中可以清楚地看出,為什么考慮每個軸的共振頻率無法提供納米定位系統(tǒng)性能的準(zhǔn)確圖片。也正因如此,多數(shù)情況下,只有定制系統(tǒng)才能滿足各個應(yīng)用程序的特定要求。例如,必須選擇與應(yīng)用相匹配的共振頻率特性的結(jié)構(gòu)材料和平臺設(shè)計。此計算中的一個關(guān)鍵因素是施加的載荷。這就是為什么我們經(jīng)常在許多數(shù)據(jù)表中關(guān)注負(fù)載性能,因為這個標(biāo)準(zhǔn)能更好地反映平臺的實際用途。一般來說,作用在平臺上的負(fù)載越大,平臺的共振頻率就越低。我們的高剛度平臺意味著共振頻率受負(fù)載變化的影響較小,因此任何動態(tài)調(diào)諧對負(fù)載的變化都不太敏感。 納米定位平臺直驅(qū)的好處?

納米定位臺是一款精確的定位設(shè)備,它具有許多技術(shù)上的優(yōu)勢,包括創(chuàng)新性、穩(wěn)定性、安全性、擴(kuò)展性等方面。首先,納米定位臺采用了前沿的納米技術(shù),具有極高的精度和穩(wěn)定性。它能夠精確地定位目標(biāo)物體的位置,達(dá)到納米級別的精度,這在許多領(lǐng)域都具有非常重要的應(yīng)用價值。同時,納米定位臺還具有非常高的穩(wěn)定性,能夠在各種復(fù)雜環(huán)境下保持精度和穩(wěn)定性,為用戶提供可靠的定位服務(wù)。其次,納米定位臺具有非常高的安全性。它采用了先進(jìn)的加密技術(shù),能夠保護(hù)用戶的隱私和數(shù)據(jù)安全。同時,納米定位臺還具有非常高的抗干擾能力,能夠在各種復(fù)雜的電磁環(huán)境下正常工作,為用戶提供安全可靠的定位服務(wù)。納米定位臺還具有非常高的擴(kuò)展性。它可以與各種不同的設(shè)備和系統(tǒng)進(jìn)行集成,為用戶提供更加系統(tǒng)的定位服務(wù)。同時,納米定位臺還具有非常高的可定制性,能夠根據(jù)用戶的需求進(jìn)行定制,為用戶提供更加個性化的定位服務(wù)??傊?,納米定位臺是一款非常合適的定位設(shè)備,具有許多技術(shù)上的優(yōu)勢。它能夠為用戶提供精確、穩(wěn)定、安全、可靠、可擴(kuò)展的定位服務(wù),為各種領(lǐng)域的用戶提供了非常重要的支持和幫助。 壓電納米定位臺的命名由它的驅(qū)動源及其功能相結(jié)合而來的。壓電納米偏擺鏡報價

中空式壓電納米定位臺在其臺面的中心區(qū)域具有通孔。壓電陶瓷位移傳感控制技術(shù)

壓電納米位移臺的命名是由三部分組成:“壓電”指執(zhí)行器種類,是以PZT壓電陶瓷疊堆作為驅(qū)動源;“納米”指精度等級,移動端面在PZT壓電陶瓷的驅(qū)動下,可以實現(xiàn)納米級精度的步進(jìn)或連續(xù)運動;“位移系統(tǒng)”指運動方式,其實現(xiàn)的是X、Y、Z向一維或多維的平移運動。壓電納米位移系統(tǒng)是將PZT壓電陶瓷與柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)、金屬殼體結(jié)構(gòu)相結(jié)合,并配備有機(jī)械固定安裝接口與負(fù)載安裝接口。壓電納米位移系統(tǒng)可直接帶動負(fù)載進(jìn)行微位移調(diào)節(jié),其運動面有螺紋孔用于安裝固定負(fù)載。此外,壓電納米位移系統(tǒng)可集成于各類高精密裝備,為其提供納米級運動控制、光路控制等。 壓電陶瓷位移傳感控制技術(shù)