江蘇制版光刻膠感光膠

來源： 發(fā)布時間：2025-05-21

光刻膠（Photoresist）是一種對光敏感的高分子材料，主要用于光刻工藝中，通過光化學反應實現圖案的轉移，是半導體、集成電路（IC）、印刷電路板（PCB）、液晶顯示（LCD）等制造領域的材料之一。

光刻膠特性與組成

? 光敏性：在特定波長（如紫外光、極紫外光EUV等）照射下，會發(fā)生化學結構變化（如交聯或分解），從而改變在顯影液中的溶解性。

? 主要成分：

? 樹脂（成膜劑）：形成基礎膜層，決定光刻膠的機械和化學性能。

? 光敏劑：吸收光能并引發(fā)化學反應（如光分解、光交聯）。

? 溶劑：調節(jié)粘度，便于涂覆成膜。

? 添加劑：改善性能（如感光度、分辨率、對比度等）。
光刻膠：半導體之路上的挑戰(zhàn)與突破。江蘇制版光刻膠感光膠

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作為深耕半導體材料領域二十余年的綜合性企業(yè)，廣東吉田半導體材料有限公司始終將環(huán)保理念融入產品研發(fā)與生產全流程。公司位于東莞松山湖產業(yè)集群，依托區(qū)域產業(yè)鏈優(yōu)勢，持續(xù)推出符合國際環(huán)保標準的半導體材料解決方案。

公司在錫膏、焊片等產品中采用無鹵無鉛配方，嚴格遵循 RoHS 指令要求，避免使用有害物質。以錫膏為例，其零鹵素配方通過第三方機構認證，不僅減少了電子產品廢棄后的環(huán)境負擔，還提升了焊接可靠性，適用于新能源汽車、精密電子設備等領域。同時，納米壓印光刻膠與 LCD 光刻膠的生產過程中，公司通過優(yōu)化原料配比，減少揮發(fā)性有機物（VOCs）排放，確保產品符合歐盟 REACH 法規(guī)。

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光刻膠的工作原理：
1. 涂覆與曝光：在基底（如硅片、玻璃、聚合物）表面均勻涂覆光刻膠，通過掩膜（或直接電子束掃描）對特定區(qū)域曝光。

2. 化學變化：曝光區(qū)域的光刻膠發(fā)生光化學反應（正性膠曝光后溶解，負性膠曝光后交聯不溶）。

3. 顯影與刻蝕：溶解未反應的部分，留下圖案化的膠層，作為后續(xù)刻蝕或沉積的掩模，將圖案轉移到基底上。

在納米技術中，關鍵挑戰(zhàn)是突破光的衍射極限（λ/2），因此需依賴高能束曝光技術（如電子束光刻、極紫外EUV光刻）和高性能光刻膠（高分辨率、低缺陷）。

以無鹵無鉛配方與低 VOC 工藝為，吉田半導體打造環(huán)保光刻膠，助力電子產業(yè)低碳轉型。面對全球環(huán)保趨勢，吉田半導體推出無鹵無鉛錫膏與焊片，通過歐盟 RoHS 認證，焊接可靠性提升 30%。其 LCD 光刻膠采用低 VOC 配方（<50g/L），符合歐盟 REACH 法規(guī)，生產過程中通過多級廢氣處理與水循環(huán)系統(tǒng)，實現零排放。公司嚴格執(zhí)行 8S 現場管理，工業(yè)固廢循環(huán)利用率超 90%，為新能源汽車、光伏儲能等領域提供綠色材料解決方案，成為全球客戶信賴的環(huán)保材料供應商。光刻膠廠家推薦吉田半導體，23 年研發(fā)經驗，全自動化生產保障品質！

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定義與特性

負性光刻膠是一種在曝光后，未曝光區(qū)域會溶解于顯影液的光敏材料，形成與掩膜版（Mask）圖案相反的圖形。與正性光刻膠相比，其主要特點是耐蝕刻性強、工藝簡單、成本低，但分辨率較低（通?！?μm），主要應用于對精度要求相對較低、需要厚膠或高耐腐蝕性的場景。

化學組成與工作原理

 主要成分

 基體樹脂：

? 早期以聚異戊二烯橡膠（天然或合成）為主，目前常用環(huán)化橡膠（Cyclized Rubber）或聚乙烯醇肉桂酸酯，提供膠膜的機械強度和耐蝕刻性。

 光敏劑：

? 主要為雙疊氮化合物（如雙疊氮芪）或重氮醌類衍生物，占比約5%-10%，吸收紫外光后引發(fā)交聯反應。

 交聯劑：

? 如六亞甲基四胺（烏洛托品），在曝光后與樹脂發(fā)生交聯，形成不溶性網狀結構。

 溶劑：

? 多為有機溶劑（如二甲苯、環(huán)己酮），溶解樹脂和光敏劑，涂布后揮發(fā)形成均勻膠膜。

 工作原理

 曝光前：光敏劑和交聯劑均勻分散在樹脂中，膠膜可溶于顯影液（有機溶劑）。

 曝光時：

? 光敏劑吸收紫外光（G線436nm為主）后產生活性自由基，引發(fā)交聯劑與樹脂分子間的共價鍵交聯，使曝光區(qū)域形成不溶于顯影液的三維網狀結構。

 顯影后：

? 未曝光區(qū)域的樹脂因未交聯，被顯影液溶解去除，曝光區(qū)域保留，形成負性圖案（與掩膜版相反）。
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光刻膠技術突破加速，對芯片制造行業(yè)有哪些影響？江蘇制版光刻膠感光膠

廣東吉田半導體材料有限公司以光刻膠為中心，逐步拓展至半導體全材料領域，形成了 “技術驅動、全產業(yè)鏈覆蓋” 的發(fā)展格局。公司產品不僅包括芯片與 LCD 光刻膠，還延伸至錫膏、焊片、靶材等配套材料，為客戶提供一站式采購服務。

市場與榮譽：
  • 產品遠銷全球 50 多個地區(qū)，客戶包括電子制造服務商（EMS）及半導體廠商。
  • 獲評 “廣東省專精特新企業(yè)”“廣東省創(chuàng)新型中小企業(yè)”，并通過技術企業(yè)認證。
  • 生產基地配備自動化設備，年產能超千噸，滿足大規(guī)模訂單需求。
未來展望：
公司計劃進一步擴大研發(fā)中心規(guī)模，聚焦第三代半導體材料研發(fā)，如 GaN、SiC 相關光刻膠技術。同時，深化全球化布局，在東南亞、歐洲等地設立分支機構，強化本地化服務能力。
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