無(wú)錫mems電容真空計(jì)供應(yīng)商

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2025-08-05

皮拉尼真空計(jì)利用氣體分子的熱導(dǎo)率隨壓力變化而變化的特性來(lái)測(cè)量真空度。它包含一個(gè)封閉在室內(nèi)的加熱絲(通常為鉑絲),該加熱絲形成了惠斯通電橋的一個(gè)臂(電阻)。在測(cè)量過(guò)程中,加熱絲由恒定電流加熱,溫度升高。當(dāng)加熱絲置于真空或低壓氣體環(huán)境中時(shí),由于氣體分子數(shù)量減少,加熱絲的熱導(dǎo)率降低,導(dǎo)致加熱絲溫度進(jìn)一步升高。這一溫度變化會(huì)引起導(dǎo)線電阻的變化,通過(guò)惠斯通電橋測(cè)量電阻變化,即可間接獲得真空度的讀數(shù)。皮拉尼真空計(jì)主要由感應(yīng)頭和控制頭兩部分組成。感應(yīng)頭多為金屬或玻璃外殼,內(nèi)有感測(cè)真空壓力的燈絲或其他感溫元件。控制頭則為感應(yīng)頭提供必要的電路,并負(fù)責(zé)信號(hào)放大和信號(hào)數(shù)字化的工作。真空計(jì)的適用壓力范圍是?無(wú)錫mems電容真空計(jì)供應(yīng)商

無(wú)錫mems電容真空計(jì)供應(yīng)商,真空計(jì)

其他角度對(duì)真空計(jì)進(jìn)行分類,如根據(jù)測(cè)量范圍、精度、使用條件等。不同類型的真空計(jì)在這些方面也有區(qū)別。例如,MEMS電容薄膜真空計(jì)作為MEMS電容式傳感器的一種,具有小型化、低成本、高性能、易與CMOS集成電路兼容等特點(diǎn)。它能夠滿足深空探測(cè)、空氣動(dòng)力學(xué)研究、臨近空間探索等領(lǐng)域?qū)φ婵諟y(cè)量?jī)x器測(cè)量準(zhǔn)確度高、體積小、質(zhì)量輕、功耗低的應(yīng)用需求。不同類型的真空計(jì)在測(cè)量原理、測(cè)量范圍、精度、使用條件以及適用場(chǎng)景等方面各有千秋。在選擇真空計(jì)時(shí),需要根據(jù)具體的測(cè)量需求、工作環(huán)境以及預(yù)算等因素進(jìn)行綜合考慮。同時(shí),隨著科技的不斷發(fā)展,新型真空計(jì)的出現(xiàn)也將為真空測(cè)量領(lǐng)域帶來(lái)更多的選擇和可能性。 天津大氣壓真空計(jì)生產(chǎn)廠家陶瓷真空計(jì)溫包款和無(wú)溫包款有什么區(qū)別?

無(wú)錫mems電容真空計(jì)供應(yīng)商,真空計(jì)

真空計(jì)與氣體脫附效應(yīng)材料放氣(如橡膠釋出H?O)會(huì)導(dǎo)致測(cè)量值虛高。解決措施:① 選用低放氣材料(Viton替代橡膠);② 烘烤(150℃可加速脫附);③ 分離測(cè)量(將規(guī)管安裝在抽氣口遠(yuǎn)端)。超高真空系統(tǒng)放氣率需<10?1? Pa·m3/s·cm2。18. 真空計(jì)的電磁兼容性電離規(guī)的高壓電源(2 kV)可能輻射EMI,需屏蔽層≥60 dB。MEMS規(guī)對(duì)RF場(chǎng)敏感,5 GHz Wi-Fi可能導(dǎo)致±5%讀數(shù)偏移。航天級(jí)真空計(jì)需通過(guò)MIL-STD-461G標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試。

測(cè)量?jī)蓚€(gè)腔室壓差,量程1~10?? Pa,精度±0.1%。應(yīng)用包括檢漏儀(氦質(zhì)譜儀參考端壓力監(jiān)控)和分子泵前級(jí)壓力控制。硅諧振式傳感器(如橫河EJA系列)溫度穩(wěn)定性達(dá)±0.1%FS/年。


皮拉尼真空計(jì)主要由感應(yīng)頭和控制頭兩部分組成。感應(yīng)頭多為金屬或玻璃外殼,內(nèi)有感測(cè)真空壓力的燈絲或其他感溫元件??刂祁^則為感應(yīng)頭提供必要的電路,并負(fù)責(zé)信號(hào)放大和信號(hào)數(shù)字化的工作。根據(jù)測(cè)量方式的不同,皮拉尼真空計(jì)可以分為定電流式和定電壓式兩種:定電流式:在這種方式中,通過(guò)加熱燈絲的電流保持恒定。當(dāng)真空壓力改變時(shí),燈絲的溫度會(huì)發(fā)生變化,從而導(dǎo)致燈絲的電阻值發(fā)生變化。這種電阻變化可以通過(guò)惠斯通電橋來(lái)測(cè)量,并轉(zhuǎn)換為真空壓力值。定電壓式:在這種方式中,加熱燈絲上的電壓保持恒定。當(dāng)真空壓力變化時(shí),燈絲的溫度和電阻值也會(huì)相應(yīng)變化。通過(guò)測(cè)量通過(guò)燈絲的電流變化,可以間接測(cè)量真空壓力。真空計(jì)使用過(guò)程中需要注意的事項(xiàng)?

無(wú)錫mems電容真空計(jì)供應(yīng)商,真空計(jì)

金屬電容薄膜真空計(jì)由金屬薄膜和電極構(gòu)成。當(dāng)真空度發(fā)生變化時(shí),薄膜電容會(huì)發(fā)生相應(yīng)的變化,從而導(dǎo)致電容的大小變化。電子測(cè)量電路負(fù)責(zé)測(cè)量這個(gè)電容的變化,并將之轉(zhuǎn)換為電信號(hào)輸出。具體來(lái)說(shuō),施加到電容薄膜上的壓力變化會(huì)導(dǎo)致膜片間距離變化,進(jìn)而引起電容的變化。通過(guò)測(cè)量電容的變化,并將其轉(zhuǎn)換為電流或電壓的變化,就可以作為輸出的信號(hào)來(lái)測(cè)量真空度。高精度:金屬電容薄膜真空計(jì)的測(cè)量精度較高,部分產(chǎn)品的精度可達(dá)0.01%,可以滿足各種精度要求的實(shí)驗(yàn)和生產(chǎn)需求。高靈敏度:由于金屬薄膜的厚度只有幾個(gè)納米,因此該真空計(jì)能夠?qū)ξ⑿〉膲毫ψ兓龀龇磻?yīng),具有高靈敏度。長(zhǎng)壽命:金屬薄膜具有良好的耐磨損性和耐腐蝕性,使得金屬電容薄膜真空計(jì)能夠長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定工作,壽命長(zhǎng)達(dá)數(shù)年。簡(jiǎn)單易用:金屬電容薄膜真空計(jì)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,使用方便,只需連接電源和真空管路即可進(jìn)行測(cè)試。同時(shí),部分產(chǎn)品還具有自動(dòng)清零、自動(dòng)校準(zhǔn)等功能,使測(cè)試更加準(zhǔn)確、方便。皮拉尼真空計(jì)是一種用于測(cè)量真空壓力的儀器。四川大氣壓真空計(jì)生產(chǎn)企業(yè)

真空計(jì)的讀數(shù)可能會(huì)受到外部環(huán)境因素的影響。無(wú)錫mems電容真空計(jì)供應(yīng)商

電容薄膜真空計(jì):屬?gòu)椥栽婵沼?jì),其結(jié)構(gòu)和電路原理是一彈性薄膜將規(guī)管真空室分為兩個(gè)小室,即參考?jí)簭?qiáng)室和測(cè)量室。測(cè)量低壓強(qiáng)(P<100帕)時(shí),參考室抽至高真空,其壓強(qiáng)近似為零。當(dāng)測(cè)量室壓強(qiáng)不同時(shí),薄膜變形的程度也不同。在測(cè)量室中有一固定電極,它與薄膜形成一個(gè)電容器。薄膜變形時(shí)電容值相應(yīng)改變,通過(guò)電容電橋可測(cè)量電容的變化從而確定相應(yīng)壓強(qiáng)值。電容薄膜真空計(jì)可直接測(cè)量氣體或蒸氣的壓強(qiáng),測(cè)量值與氣體種類無(wú)關(guān)、結(jié)構(gòu)牢固、可經(jīng)受烘烤,如對(duì)不同壓強(qiáng)范圍采用不同規(guī)頭,可得到較高精度。它可用于高純氣體監(jiān)測(cè)、低真空精密測(cè)量和壓強(qiáng)控制,也可用作低真空測(cè)量的副標(biāo)準(zhǔn)。無(wú)錫mems電容真空計(jì)供應(yīng)商

標(biāo)簽: 真空計(jì)