金屬薄膜真空計(jì)性能特點(diǎn)高靈敏度:金屬薄膜真空計(jì)通常具有較高的靈敏度,能夠準(zhǔn)確測(cè)量微小的壓力變化。寬測(cè)量范圍:雖然具體范圍取決于金屬薄膜的材質(zhì)和厚度,但金屬薄膜真空計(jì)通常具有較寬的測(cè)量范圍,適用于從低真空到高真空的不同環(huán)境。穩(wěn)定性好:在適當(dāng)?shù)木S護(hù)下,金屬薄膜真空計(jì)具有良好的穩(wěn)定性,能夠長(zhǎng)時(shí)間保持測(cè)量精度??刮廴灸芰?qiáng):相對(duì)于某些其他類(lèi)型的真空計(jì),金屬薄膜真空計(jì)對(duì)污染的敏感性較低,能夠在一定程度上抵抗污染物的干擾。為什么真空計(jì)讀數(shù)不變?江蘇金屬電容薄膜真空計(jì)公司
真空計(jì)的基本分類(lèi)真空計(jì)按測(cè)量原理分為***真空計(jì)(直接測(cè)量壓力)和相對(duì)真空計(jì)(需校準(zhǔn))。主要類(lèi)型包括機(jī)械式(如波登管)、熱傳導(dǎo)式(皮拉尼計(jì))、電離式(熱陰極/冷陰極)、電容式(MEMS)等。選擇時(shí)需考慮量程(如皮拉尼計(jì)適用于1Pa~10??Pa)、精度(±1%~±15%)、氣體類(lèi)型兼容性(惰性氣體需特殊校準(zhǔn))及環(huán)境振動(dòng)影響。國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)ISO3567定義了真空計(jì)的性能測(cè)試方法。
皮拉尼計(jì)(熱傳導(dǎo)真空計(jì))基于氣體熱傳導(dǎo)率隨壓力變化的原理,通過(guò)加熱電阻絲(通常為鎢或鉑)測(cè)量其溫度變化。低壓下氣體分子少,熱導(dǎo)率降低,電阻絲溫度升高導(dǎo)致電阻變化。量程通常為1000 Pa~10?1 Pa,精度±10%。需注意氣體種類(lèi)影響(氫氣熱導(dǎo)率高,讀數(shù)偏低),且長(zhǎng)期使用可能因污染導(dǎo)致零點(diǎn)漂移。現(xiàn)代皮拉尼計(jì)集成溫度補(bǔ)償算法,穩(wěn)定性可達(dá)±1%/年。3. 熱陰極電離真空計(jì)(Bay 杭州金屬電容薄膜真空計(jì)生產(chǎn)廠家皮拉尼真空計(jì)通常用于測(cè)量低壓氣體或真空系統(tǒng)中的壓力。
陶瓷真空計(jì)是一種用于測(cè)量真空系統(tǒng)中壓力的儀器,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、科研實(shí)驗(yàn)等領(lǐng)域。其**部件由陶瓷材料制成,具有耐高溫、耐腐蝕、絕緣性能好等優(yōu)點(diǎn)。主要特點(diǎn)耐高溫:陶瓷材料能在高溫環(huán)境下穩(wěn)定工作。耐腐蝕:適用于腐蝕性氣體環(huán)境。絕緣性能:良好的電絕緣性,適合高電壓環(huán)境。高精度:提供精確的真空度測(cè)量。陶瓷真空計(jì)通過(guò)測(cè)量氣體分子對(duì)陶瓷元件的熱傳導(dǎo)或壓力效應(yīng)來(lái)確定真空度,常見(jiàn)類(lèi)型包括:熱電偶真空計(jì):利用氣體熱傳導(dǎo)變化測(cè)量壓力。皮拉尼真空計(jì):基于氣體熱傳導(dǎo)與壓力的關(guān)系。電容式真空計(jì):通過(guò)陶瓷薄膜的形變測(cè)量壓力。應(yīng)用領(lǐng)域
真空測(cè)量就是真空度的測(cè)量,而真空度(詳細(xì)注釋見(jiàn)前文:知識(shí)分享②|真空如何獲得?)是指低于大氣壓力注釋的氣體稀薄程度的物理量。通常,將用以探測(cè)低壓空間稀薄氣體壓力所用的儀器稱(chēng)為真空計(jì)。注釋?zhuān)捍髿鈮毫Γ和ǔV敢粋€(gè)標(biāo)準(zhǔn)大氣壓,壓強(qiáng)的單位之一。當(dāng)溫度為0℃(273.15K)時(shí),在重力加速度為980.655cm/s2處(即在地球緯度為45°的海平面上),使用**的密度為13.5951g/cm3,則760mm高的**柱所產(chǎn)生的壓強(qiáng)為1標(biāo)準(zhǔn)大氣壓。1毫米汞柱(mmHg)和1托(Torr)相近,兩者相差約千萬(wàn)分之一。1mmHg=1Torr=133.3Pa一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)大氣壓1atm=101325Pa=760mmHg=1.01325bar=760Torr電容真空計(jì)的工作原理是怎樣的?
MEMS電容真空計(jì)在多個(gè)領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用,包括但不限于:半導(dǎo)體制造:在半導(dǎo)體制造過(guò)程中,MEMS電容真空計(jì)用于監(jiān)測(cè)真空度,確保氣氛純凈并排除雜質(zhì),從而提高芯片的質(zhì)量和可靠性。真空冶金:在真空冶金領(lǐng)域,MEMS電容真空計(jì)用于確保加工環(huán)境的純度和穩(wěn)定性,以提高冶金產(chǎn)品的質(zhì)量和可靠性??茖W(xué)研究:在物理學(xué)、化學(xué)、材料科學(xué)等領(lǐng)域的研究中,MEMS電容真空計(jì)用于監(jiān)測(cè)真空度,確保實(shí)驗(yàn)環(huán)境的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性。航空航天:在航空航天領(lǐng)域,MEMS電容真空計(jì)用于監(jiān)測(cè)太空艙內(nèi)的真空度,確保航天員的生命安全和設(shè)備的正常運(yùn)行。醫(yī)療設(shè)備:在醫(yī)療設(shè)備的制造和維護(hù)過(guò)程中,MEMS電容真空計(jì)用于監(jiān)測(cè)放射設(shè)備中的真空環(huán)境等,確保其正常工作。電容真空計(jì)通常適用于中低真空范圍的測(cè)量,如從大氣壓到幾千帕甚至更低。河北真空計(jì)原廠家
如何校準(zhǔn)電容真空計(jì)?江蘇金屬電容薄膜真空計(jì)公司
安裝步驟準(zhǔn)備工作:確保安裝區(qū)域清潔,準(zhǔn)備好所需工具和材料。安裝真空計(jì):將真空計(jì)對(duì)準(zhǔn)安裝位置,確保密封面平整。按說(shuō)明書(shū)安裝固定螺栓或夾具,均勻緊固。連接管路與電氣:連接真空管路,確保密封良好。按標(biāo)記重新連接電氣線(xiàn)路。檢查與測(cè)試:檢查所有連接是否牢固,密封是否良好。進(jìn)行初步測(cè)試,確保真空計(jì)正常工作。注意事項(xiàng)安全操作:確保系統(tǒng)斷電和泄壓后再操作。佩戴防護(hù)裝備,如手套和護(hù)目鏡。避免污染:保持工作區(qū)域清潔,避免灰塵和雜質(zhì)進(jìn)入系統(tǒng)。正確使用工具:使用合適工具,避免損壞真空計(jì)和連接部件。遵循說(shuō)明書(shū):嚴(yán)格按說(shuō)明書(shū)操作,確保正確安裝和拆卸。定期維護(hù):定期檢查和校準(zhǔn)真空計(jì),確保其長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行??偨Y(jié)真空計(jì)的拆裝需要細(xì)致操作,遵循正確的步驟和注意事項(xiàng),以確保設(shè)備安全和測(cè)量精度。定期維護(hù)和校準(zhǔn)能延長(zhǎng)其使用壽命。江蘇金屬電容薄膜真空計(jì)公司