利用氣體動(dòng)力學(xué)效用類真空計(jì)測(cè)量與真空相連的容器表面受到的壓力作用而產(chǎn)生的彈性變形或其他力學(xué)性能變化來推算真空度的。典型**有波爾登規(guī)(Bourdon)和薄膜電容規(guī)。a)波爾登規(guī)利用彈性元件(如波紋管)在壓力作用下的變形來測(cè)量真空度。當(dāng)氣體壓力作用在波紋管上時(shí),波紋管會(huì)產(chǎn)生變形,這種變形可以通過機(jī)械傳動(dòng)機(jī)構(gòu)轉(zhuǎn)化為指針的偏轉(zhuǎn),從而指示出真空度的大小。b)電容薄膜真空計(jì)利用薄膜的形變與電容的變化關(guān)系來測(cè)量真空度。當(dāng)氣壓發(fā)生變化時(shí),薄膜會(huì)相應(yīng)地產(chǎn)生形變,這種形變會(huì)導(dǎo)致電容的改變,進(jìn)而通過測(cè)量電容的變化量來推算出真空度的數(shù)值。薄膜電容規(guī)具有結(jié)構(gòu)簡單、響應(yīng)迅速、測(cè)量范圍廣等特點(diǎn)。真空計(jì)按原理可以分哪幾類?河北金屬真空計(jì)原廠家
四極質(zhì)譜儀(殘余氣體分析儀)通過質(zhì)荷比(m/z)分析氣體成分,結(jié)合離子流強(qiáng)度定量分壓。質(zhì)量范圍1~300amu,檢測(cè)限10?12Pa。需配合電離規(guī)使用,用于真空系統(tǒng)污染診斷(如檢出H?O峰提示漏氣)。動(dòng)態(tài)模式可實(shí)時(shí)監(jiān)控工藝氣體(如半導(dǎo)體刻蝕中的CF?),校準(zhǔn)需使用NIST標(biāo)準(zhǔn)氣體。8.真空計(jì)的校準(zhǔn)方法分直接比較法(與標(biāo)準(zhǔn)規(guī)并聯(lián))和間接法(靜態(tài)膨脹法、流量法)。國家計(jì)量院采用二級(jí)標(biāo)準(zhǔn)膨脹系統(tǒng),不確定度<0.5%?,F(xiàn)場校準(zhǔn)常用便攜式校準(zhǔn)器(如壓強(qiáng)生成器),覆蓋1~10??Pa。溫度、振動(dòng)和氣體吸附效應(yīng)是主要誤差源,校準(zhǔn)周期建議12個(gè)月。ISO3567規(guī)定校準(zhǔn)需在恒溫(23±1℃)無塵環(huán)境下進(jìn)行。浙江高質(zhì)量真空計(jì)設(shè)備供應(yīng)商真空計(jì)選型需要注意什么?
選擇適合的真空計(jì)對(duì)確保測(cè)量精度和系統(tǒng)穩(wěn)定運(yùn)行至關(guān)重要。以下是選擇真空計(jì)時(shí)需要考慮的關(guān)鍵因素:1. 測(cè)量范圍真空度需求:根據(jù)應(yīng)用需求選擇適合的測(cè)量范圍,如低真空、中真空、高真空或超高真空。量程匹配:確保真空計(jì)的量程覆蓋所需測(cè)量范圍。2. 精度與分辨率精度要求:選擇滿足精度要求的真空計(jì),高精度應(yīng)用需選擇高精度型號(hào)。分辨率:確保分辨率足夠高,能檢測(cè)到微小壓力變化。3. 響應(yīng)時(shí)間快速響應(yīng):對(duì)壓力變化敏感的應(yīng)用需選擇響應(yīng)時(shí)間短的真空計(jì)。穩(wěn)定性:在快速變化環(huán)境中,選擇穩(wěn)定性好的真空計(jì)。4. 環(huán)境適應(yīng)性溫度范圍:確保真空計(jì)能在工作溫度范圍內(nèi)正常運(yùn)行。耐腐蝕性:在腐蝕性氣體環(huán)境中,選擇耐腐蝕材料制成的真空計(jì)。5. 氣體類型氣體種類:不同氣體對(duì)真空計(jì)測(cè)量有影響,選擇適合測(cè)量特定氣體的真空計(jì)。氣體清潔度:在污染氣體環(huán)境中,選擇不易受污染的真空計(jì)。
真空測(cè)量就是真空度的測(cè)量,而真空度(詳細(xì)注釋見前文:知識(shí)分享②|真空如何獲得?)是指低于大氣壓力注釋的氣體稀薄程度的物理量。通常,將用以探測(cè)低壓空間稀薄氣體壓力所用的儀器稱為真空計(jì)。注釋:大氣壓力:通常指一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)大氣壓,壓強(qiáng)的單位之一。當(dāng)溫度為0℃(273.15K)時(shí),在重力加速度為980.655cm/s2處(即在地球緯度為45°的海平面上),使用**的密度為13.5951g/cm3,則760mm高的**柱所產(chǎn)生的壓強(qiáng)為1標(biāo)準(zhǔn)大氣壓。1毫米汞柱(mmHg)和1托(Torr)相近,兩者相差約千萬分之一。1mmHg=1Torr=133.3Pa一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)大氣壓1atm=101325Pa=760mmHg=1.01325bar=760Torr電容真空計(jì)在哪些領(lǐng)域有應(yīng)用?
真空計(jì)的拆裝需要謹(jǐn)慎操作,以確保設(shè)備不受損壞并保持測(cè)量精度。以下是拆裝真空計(jì)的一般步驟和注意事項(xiàng)。拆卸步驟斷電與泄壓:關(guān)閉電源,確保系統(tǒng)斷電。緩慢泄壓,確保系統(tǒng)內(nèi)無殘余壓力。斷開連接:斷開電氣連接,標(biāo)記接線以便重新安裝。使用合適工具斷開真空計(jì)與系統(tǒng)的連接。拆卸真空計(jì):按說明書拆卸固定螺栓或夾具。小心取下真空計(jì),避免碰撞或掉落。檢查與清潔:檢查真空計(jì)和連接部件有無損壞或污染。清潔接口和密封面,確保無雜質(zhì)。定制真空計(jì)可以做到哪些調(diào)整?蘇州高質(zhì)量真空計(jì)設(shè)備供應(yīng)商
真空計(jì)應(yīng)如何進(jìn)行日常的維修與保養(yǎng)?河北金屬真空計(jì)原廠家
真空計(jì)的特點(diǎn)7.多種信號(hào)輸出模擬信號(hào):如4-20mA、0-10V,便于與控制系統(tǒng)連接。數(shù)字信號(hào):如RS485、Modbus,支持?jǐn)?shù)字化管理和遠(yuǎn)程監(jiān)控。8.可靠性與穩(wěn)定性長期穩(wěn)定:高質(zhì)量真空計(jì)具有長期穩(wěn)定性,減少校準(zhǔn)頻率。抗干擾:在復(fù)雜環(huán)境中,真空計(jì)能抵抗電磁干擾和其他干擾因素。9.成本效益經(jīng)濟(jì)實(shí)惠:部分真空計(jì)成本較低,適合預(yù)算有限的應(yīng)用。長期成本低:低維護(hù)和校準(zhǔn)需求,降低長期使用成本。10.廣泛應(yīng)用工業(yè)應(yīng)用:如半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、真空爐等??蒲袑?shí)驗(yàn):如高能物理、材料科學(xué)、空間模擬等。日常生活:如真空包裝、醫(yī)療設(shè)備等。總結(jié)真空計(jì)具有寬量程、高精度、快速響應(yīng)、環(huán)境適應(yīng)性強(qiáng)、多種測(cè)量原理、易于安裝與維護(hù)、多種信號(hào)輸出、高可靠性、成本效益高和廣泛應(yīng)用等特點(diǎn)。這些特點(diǎn)使其在工業(yè)、科研和日常生活中發(fā)揮重要作用。河北金屬真空計(jì)原廠家