常見的真空計類型包括:直接讀取式真空計:如U型管壓力計、壓縮式真空計等,它們直接讀取氣體壓力,其壓力響應(刻度)可通過自身幾何尺寸計算出來或由測力確定。這類真空計對所有氣體都是準確的,且與氣體種類無關。相對真空計:如熱傳導真空計、電離真空計等,它們由一些與氣體壓力有函數關系的量來確定壓力,不能通過簡單的計算進行刻度,必須進行校準。這類真空計的讀數與氣體種類有關。電容式薄膜真空計:利用彈性薄膜在壓差作用下產生應變而引起電容變化的原理制成,是一種絕壓、全壓測量的真空計。它的測量直接反映了真空壓力的變化值,而且只與壓力有關,與氣體成分無關。直空計使用過程中需要注意的事項?浙江陶瓷真空計生產廠家
陶瓷真空計是一種用于測量真空系統(tǒng)中壓力的儀器,廣泛應用于半導體制造、真空鍍膜、科研實驗等領域。其**部件由陶瓷材料制成,具有耐高溫、耐腐蝕、絕緣性能好等優(yōu)點。主要特點耐高溫:陶瓷材料能在高溫環(huán)境下穩(wěn)定工作。耐腐蝕:適用于腐蝕性氣體環(huán)境。絕緣性能:良好的電絕緣性,適合高電壓環(huán)境。高精度:提供精確的真空度測量。陶瓷真空計通過測量氣體分子對陶瓷元件的熱傳導或壓力效應來確定真空度,常見類型包括:熱電偶真空計:利用氣體熱傳導變化測量壓力。皮拉尼真空計:基于氣體熱傳導與壓力的關系。電容式真空計:通過陶瓷薄膜的形變測量壓力。應用領域河北金屬真空計生產廠家為什么真空計讀數不變?
選擇真空計應該注意什么6.安裝與接口安裝方式:根據系統(tǒng)設計選擇合適的安裝方式,如法蘭連接、螺紋連接等。接口兼容性:確保真空計的接口與系統(tǒng)兼容。7.電源與信號輸出電源需求:選擇符合系統(tǒng)電源要求的真空計。信號輸出:根據需求選擇模擬信號(如4-20mA、0-10V)或數字信號(如RS485、Modbus)輸出的真空計。8.維護與校準維護需求:選擇易于維護和清潔的真空計。校準周期:了解校準周期和校準方法,選擇易于校準的真空計。9.成本與性價比預算:在預算范圍內選擇性價比高的真空計。長期成本:考慮長期使用成本,包括維護、校準和更換部件費用。10.品牌與售后服務品牌信譽。售后服務:選擇提供良好售后服務的供應商,確保技術支持與維修服務。
真空測量就是真空度的測量,而真空度是指低于大氣壓力的氣體稀薄程度。以壓力表示真空度是由于歷史上沿用下來的,并不十分合理。壓力高意味著真空度低;反之,壓力低意味著真空度高。用以探測低壓空間稀薄氣體壓力所用的儀器稱為真空計。本書所述壓力的測量是指比大氣壓力小得多的氣體壓力測量。壓力是一個力學量,為單位面積所承受的力。大氣壓力為101325Pa,直接測量這樣大的壓力是容易的,但在真空技術中,測量這樣大的壓力是比較少的。真空技術中遇到的氣體壓力都很低,如有時要測10-10Pa的壓力,這樣極小的壓力用直接測量單位面積所承受的力是不可能的。因此,測量真空度的辦法通常是在氣體中造成一定的物理現(xiàn)象,然后測量這個過程中與氣體壓力有關的某些物理量,再設法間接確定出真實壓力來。例如先將被測氣體壓縮,使其壓力增高,測出增高后的壓力,再根據壓縮比計算出原來的壓力值,這就是所謂的壓縮式真空計。也可以用一根熱絲,測量氣體熱傳導造成的某些結果,如熱絲溫度、電阻變化等,這就構成熱傳導真空計。還可以利用電子碰撞氣體分子使之電離,用測得的離子流反應壓力,這就是電離真空計。真空計按刻度方法如何分類?
利用氣體動力學效用類真空計測量與真空相連的容器表面受到的壓力作用而產生的彈性變形或其他力學性能變化來推算真空度的。典型**有波爾登規(guī)(Bourdon)和薄膜電容規(guī)。a)波爾登規(guī)利用彈性元件(如波紋管)在壓力作用下的變形來測量真空度。當氣體壓力作用在波紋管上時,波紋管會產生變形,這種變形可以通過機械傳動機構轉化為指針的偏轉,從而指示出真空度的大小。b)電容薄膜真空計利用薄膜的形變與電容的變化關系來測量真空度。當氣壓發(fā)生變化時,薄膜會相應地產生形變,這種形變會導致電容的改變,進而通過測量電容的變化量來推算出真空度的數值。薄膜電容規(guī)具有結構簡單、響應迅速、測量范圍廣等特點。皮拉尼真空計在測量過程中需要注意哪些安全問題?河北金屬真空計生產廠家
電容真空計有哪些優(yōu)點?浙江陶瓷真空計生產廠家
6. 麥克勞真空計麥克勞真空計,通過壓縮氣體測量壓力,適用于高真空和超高真空范圍。原理:利用氣體壓縮后的液柱高度差測量壓力。測量范圍:10?? Torr 到 10?3 Torr。優(yōu)點:精度高,無需校準。缺點:操作復雜,響應慢。應用:實驗室高真空校準。7. 質譜儀質譜儀通過分析氣體成分來間接測量壓力,適用于超高真空和極高真空范圍。(1)四極質譜儀原理:利用四極電場分離氣體離子,通過離子電流測量壓力。測量范圍:10?12 Torr 到 10?? Torr。優(yōu)點:可分析氣體成分。缺點:成本高,操作復雜。應用:超高真空和極高真空系統(tǒng)。浙江陶瓷真空計生產廠家