利用氣體動(dòng)力學(xué)效用類真空計(jì)測(cè)量與真空相連的容器表面受到的壓力作用而產(chǎn)生的彈性變形或其他力學(xué)性能變化來推算真空度的。典型**有波爾登規(guī)(Bourdon)和薄膜電容規(guī)。a)波爾登規(guī)利用彈性元件(如波紋管)在壓力作用下的變形來測(cè)量真空度。當(dāng)氣體壓力作用在波紋管上時(shí),波紋管會(huì)產(chǎn)生變形,這種變形可以通過機(jī)械傳動(dòng)機(jī)構(gòu)轉(zhuǎn)化為指針的偏轉(zhuǎn),從而指示出真空度的大小。b)電容薄膜真空計(jì)利用薄膜的形變與電容的變化關(guān)系來測(cè)量真空度。當(dāng)氣壓發(fā)生變化時(shí),薄膜會(huì)相應(yīng)地產(chǎn)生形變,這種形變會(huì)導(dǎo)致電容的改變,進(jìn)而通過測(cè)量電容的變化量來推算出真空度的數(shù)值。薄膜電容規(guī)具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、響應(yīng)迅速、測(cè)量范圍廣等特點(diǎn)。哪些品牌的真空計(jì)質(zhì)量更好?河北金屬電容薄膜真空計(jì)設(shè)備廠家
熱傳導(dǎo)真空計(jì):利用氣體在不同壓強(qiáng)下熱傳導(dǎo)能力隨之變化的原理測(cè)量氣體壓強(qiáng)。在這類真空計(jì)中,以一定加熱電流通過裝有熱絲的規(guī)頭,熱絲的溫度決定于加熱和散熱之間的平衡。散熱能力是氣體壓強(qiáng)的函數(shù),故熱絲的溫度隨壓強(qiáng)而變化。熱傳導(dǎo)真空計(jì)主要用于100~10^-1帕范圍,采取特殊措施可擴(kuò)大測(cè)量范圍。不過,熱傳導(dǎo)真空計(jì)的指示不但和氣體種類有關(guān),而且易受熱絲表面污染、環(huán)境溫度等因素影響,故準(zhǔn)確度不高,只作粗略的真空指示用。粘滯真空計(jì):利用在真空中轉(zhuǎn)動(dòng)或振動(dòng)的物體受氣體分子阻尼作用而發(fā)生運(yùn)動(dòng)衰減的現(xiàn)象來測(cè)量氣體壓強(qiáng)。氣體分子的阻尼力與壓強(qiáng)有關(guān)。實(shí)際使用的粘滯真空計(jì)主要有磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)和振膜真空計(jì)。磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)利用可控磁場(chǎng)把不銹鋼球懸浮在真空中,用旋轉(zhuǎn)磁場(chǎng)把鋼球加速到400轉(zhuǎn)/秒,然后停止加速,任其自然衰減,用電子學(xué)方法精確測(cè)量其轉(zhuǎn)速衰減率,從而確定壓強(qiáng)。這種真空計(jì)具有很高的測(cè)量精度,吸氣、放氣速率小,壓強(qiáng)指示受氣體種類影響小,如鋼球表面鍍金則可在較惡劣的氣氛下工作。然而這種真空計(jì)在高真空端的讀數(shù)受振動(dòng)影響較大,測(cè)量時(shí)間也較長(zhǎng)。因此,它可作為1~10^-4帕范圍內(nèi)的副標(biāo)準(zhǔn)真空計(jì)或用作標(biāo)準(zhǔn)傳遞真空計(jì)。安徽陶瓷真空計(jì)生產(chǎn)企業(yè)電容真空計(jì)在哪些領(lǐng)域有應(yīng)用?
MEMS電容真空計(jì)在多個(gè)領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用,包括但不限于:半導(dǎo)體制造:在半導(dǎo)體制造過程中,MEMS電容真空計(jì)用于監(jiān)測(cè)真空度,確保氣氛純凈并排除雜質(zhì),從而提高芯片的質(zhì)量和可靠性。真空冶金:在真空冶金領(lǐng)域,MEMS電容真空計(jì)用于確保加工環(huán)境的純度和穩(wěn)定性,以提高冶金產(chǎn)品的質(zhì)量和可靠性??茖W(xué)研究:在物理學(xué)、化學(xué)、材料科學(xué)等領(lǐng)域的研究中,MEMS電容真空計(jì)用于監(jiān)測(cè)真空度,確保實(shí)驗(yàn)環(huán)境的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性。航空航天:在航空航天領(lǐng)域,MEMS電容真空計(jì)用于監(jiān)測(cè)太空艙內(nèi)的真空度,確保航天員的生命安全和設(shè)備的正常運(yùn)行。醫(yī)療設(shè)備:在醫(yī)療設(shè)備的制造和維護(hù)過程中,MEMS電容真空計(jì)用于監(jiān)測(cè)放射設(shè)備中的真空環(huán)境等,確保其正常工作。
皮拉尼真空計(jì),又有翻譯為“派藍(lán)尼真空計(jì)”,屬于熱傳導(dǎo)式真空計(jì)的一種。以下是對(duì)皮拉尼真空計(jì)的詳細(xì)介紹:一、歷史背景皮拉尼真空計(jì)由馬塞洛·皮拉尼(Marcello Stefano Pirani)于1906年發(fā)明。皮拉尼曾在從事真空燈行業(yè)的西門子和哈爾斯克公司工作,當(dāng)時(shí)需要高真空環(huán)境來制造燈絲,而生產(chǎn)環(huán)境中使用的計(jì)量器較為笨重且不便,這促使他發(fā)明了更為便捷的真空計(jì)。二、工作原理皮拉尼真空計(jì)通過加熱電阻絲至一定的工作溫度,然后監(jiān)測(cè)由于氣體粒子與電阻絲碰撞而帶走的能量,這種能量損失與電阻絲周圍的氣體濃度及氣體成分成比例關(guān)系。當(dāng)氣體分子與加熱的金屬絲碰撞時(shí),熱量從金屬絲中傳遞出來。熱損失是氣體壓力的函數(shù),在低壓下,低氣體密度提供了低的熱導(dǎo)率。因此,提供給元件的電流變得依賴于真空壓力,從而可以通過測(cè)量的電流間接測(cè)量真空值。如何選擇真空計(jì)才具有更高的性價(jià)比?
(1)真空計(jì)直接讀取氣體壓力,其壓力響應(yīng)(刻度)可通過自身幾何尺寸計(jì)算出來或由測(cè)力確定。***真空計(jì)對(duì)所有氣體都是準(zhǔn)確的且與氣體種類無關(guān),屬于***真空計(jì)的有U型壓力計(jì)、壓縮式真空計(jì)和熱輻射真空計(jì)等。(2)相對(duì)真空計(jì)一些氣體壓力有函數(shù)關(guān)系的量來確定壓力,不能通過簡(jiǎn)單的計(jì)算,必須進(jìn)行校準(zhǔn)才能。相對(duì)真空計(jì)一般由作為傳感器的真空計(jì)規(guī)管(或規(guī)頭)和用于控制、指示的測(cè)量器組成。讀數(shù)與氣體種類有關(guān)。相對(duì)真空計(jì)的種類很多,如熱傳導(dǎo)真空計(jì)和電離真空計(jì)等。皮拉尼真空計(jì)的主要結(jié)構(gòu)包括哪些部分?杭州大氣壓真空計(jì)原廠家
電容真空計(jì)通過測(cè)量電容變化來推算真空度,而熱傳導(dǎo)式真空計(jì)則利用氣體分子的熱傳導(dǎo)性質(zhì)來測(cè)量。河北金屬電容薄膜真空計(jì)設(shè)備廠家
真空計(jì)的特點(diǎn)7.多種信號(hào)輸出模擬信號(hào):如4-20mA、0-10V,便于與控制系統(tǒng)連接。數(shù)字信號(hào):如RS485、Modbus,支持?jǐn)?shù)字化管理和遠(yuǎn)程監(jiān)控。8.可靠性與穩(wěn)定性長(zhǎng)期穩(wěn)定:高質(zhì)量真空計(jì)具有長(zhǎng)期穩(wěn)定性,減少校準(zhǔn)頻率。抗干擾:在復(fù)雜環(huán)境中,真空計(jì)能抵抗電磁干擾和其他干擾因素。9.成本效益經(jīng)濟(jì)實(shí)惠:部分真空計(jì)成本較低,適合預(yù)算有限的應(yīng)用。長(zhǎng)期成本低:低維護(hù)和校準(zhǔn)需求,降低長(zhǎng)期使用成本。10.廣泛應(yīng)用工業(yè)應(yīng)用:如半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、真空爐等??蒲袑?shí)驗(yàn):如高能物理、材料科學(xué)、空間模擬等。日常生活:如真空包裝、醫(yī)療設(shè)備等。總結(jié)真空計(jì)具有寬量程、高精度、快速響應(yīng)、環(huán)境適應(yīng)性強(qiáng)、多種測(cè)量原理、易于安裝與維護(hù)、多種信號(hào)輸出、高可靠性、成本效益高和廣泛應(yīng)用等特點(diǎn)。這些特點(diǎn)使其在工業(yè)、科研和日常生活中發(fā)揮重要作用。河北金屬電容薄膜真空計(jì)設(shè)備廠家