河南數(shù)控軸平行度激光干涉儀

激光干涉儀使用技巧；Z軸激光光路快速準直方法：用激光干涉儀進行線性測量時，Z軸測量時激光光路的準直相對X、Y軸準直來說，要困難的多。尤其是在Z軸距離較長的情況下，要保證激光光束經(jīng)反射鏡反射后回到激先探測器的強度滿足測量對對光強的要求，準直激光光路往往需要很長時間。Z軸激光光路快速準直方法具體調(diào)整方法如下：Z軸置于低處，利用激光器外殼中部的瞄準槽，正對Z軸放置分光鏡，左右移開Z軸，觀察激光光路，保證激光轉(zhuǎn)向后大致平行于Z軸，左右移回Z軸放置線性反射鏡及光靶(可以蓋在反射或分光鏡上以幫助入眼瞄準及控制光路的靶)，激光打在反射鏡光靶上。激光干涉儀，以激光波長為已知長度，利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測量位移的通用長度進行測量。河南數(shù)控軸平行度激光干涉儀

數(shù)控機床維修是一項集計算機、自動控制、自動檢測和電機拖動等于一體的技術(shù)，需要數(shù)控機床維修人員掌握大量的專業(yè)知識和豐富的數(shù)控機床維修經(jīng)驗。因此，在日常數(shù)控機床維修中，如何盡快的找到故障原因并排除故障，提高設(shè)備完好率，是數(shù)控機床維修人員的首要任務(wù)。當出現(xiàn)機床精度異常、零件表面質(zhì)量變差等問題時，就需要借助一些先進的精度檢測儀器。激光干涉儀作為數(shù)控機床精度常用的檢測工具，能對數(shù)控機床進行線性測量、直線度測量、平面度測量、角度測量、回轉(zhuǎn)軸分度精度等進行測量。東莞激光干涉儀加工生產(chǎn)激光干涉儀在位移傳感器檢定中的應(yīng)用已成為一大發(fā)展趨勢。

激光干涉儀是以激光波長為長度計量基準的高精度測量儀器，隨著激光干涉儀的出現(xiàn)，因其具有性能穩(wěn)定、檢測精度高及數(shù)據(jù)可靠性好等優(yōu)點，已成為高精密機械生產(chǎn)中校準及補償?shù)臉藴蕛x器，在機械制造、金屬切削加工及航空航天等領(lǐng)域得到了普遍的應(yīng)用。激光干涉儀有單頻和之分，單頻激光干涉儀受環(huán)境因素影響較大，一般用于特定環(huán)境的實驗室。激光干涉儀應(yīng)用頻率變化來測量位移，對由光強變化引起的直流電平變化不敏感，抗干擾能力強，普遍應(yīng)用于各種工況下。

激光干涉儀組件：要測量線性軸的定位精度、重復(fù)定位精度和反向間隙等數(shù)據(jù)，需要使用激光測量系統(tǒng)的以下組件，主要有：XL激光頭、三腳架和云臺、XC環(huán)境補償單元、空氣溫度傳感器和材料溫度傳感器、線性測量光學(xué)鏡組、光學(xué)鏡安裝組件及安裝激光測量軟件的計算機。激光干涉儀工作原理多普勒效應(yīng)（DopplerEffect）:任何形式的波傳播，都是由于波源、傳播介質(zhì)或中間反射器的運動，會使頻率發(fā)生變化的現(xiàn)象。這種因多普勒效應(yīng)所引起的頻率變化稱為多普勒偏移或頻移（DopplerShift）,其頻移大小與介質(zhì)、波源和觀察物的運動有關(guān)。影響激光干涉儀測量精度的因素包括：溫濕度、壓力傳感器誤差。

雙頻激光干涉儀：在氦氖激光器上，加上一個約0.03特斯拉的軸向磁場。由于塞曼分裂效應(yīng)和頻率牽引效應(yīng),激光器產(chǎn)生1和2兩個不同頻率的左旋和右旋圓偏振光。經(jīng)1/4波片后成為兩個互相垂直的線偏振光,再經(jīng)分光鏡分為兩路。一路經(jīng)偏振片1后成為含有頻率為f1-f2的參考光束。另一路經(jīng)偏振分光鏡后又分為兩路：一路成為只含有f1的光束,另一路成為只含有f2的光束。當可動反射鏡移動時,含有f2的光束經(jīng)可動反射鏡反射后成為含有f2±Δf的光束，Δf是可動反射鏡移動時因多普勒效應(yīng)產(chǎn)生的附加頻率,正負號表示移動方向(多普勒效應(yīng)是奧地利人C.J.多普勒提出的，即波的頻率在波源或接受器運動時會產(chǎn)生變化)。這路光束和由固定反射鏡反射回來只含有f1的光的光束經(jīng)偏振片2后會合成為f1-(f2±Δf）的測量光束。激光干涉儀配有各種附件，可測量小角度、平面度、直線度、平 行度、垂直度等形位誤差。河北大規(guī)模激光干涉儀

激光干涉儀的應(yīng)用：數(shù)控機床動態(tài)性能檢測。河南數(shù)控軸平行度激光干涉儀

數(shù)控機床的傳動機構(gòu)一般是滾珠絲桿副，滾珠絲桿副在生產(chǎn)制造和裝配過程中都存在一定誤差，且長期使用造成的磨損等因素都會使其精度下降，當前為有效且普遍應(yīng)用的方法是利用激光干涉儀對數(shù)控機床進行螺距誤差補償。數(shù)控機床機械誤差補償包含記憶式相對位置補償（值）與記憶式螺距誤差補償（增量值）兩種，三菱和法那科系統(tǒng)就是增量值補償?shù)谋硎局?。當采用激光干涉儀進行增量值補償時，會遇到數(shù)據(jù)怎么對應(yīng)補償點位置的問題。機床系統(tǒng)種類繁多，正逐步向自動補償邁進。河南數(shù)控軸平行度激光干涉儀