西安機床誤差修正激光干涉儀

激光干涉儀的測量精度高：以激光干涉技術為關鍵，分辨率可達納米級;采用高精度環(huán)境補償模塊，解決溫度、空氣壓力、相對濕度、材料溫度等環(huán)境因素對測量結果的影響;使用激光熱穩(wěn)頻控制系統(tǒng)，保證激光長期穩(wěn)頻精度;干涉鏡與主機分離設計，避免干涉鏡受熱變形，保證干涉光路穩(wěn)定。具有實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度等幾何量的檢測功能?？梢詸z測數(shù)控機床、三坐標測量機等精密運動設備運動導軌的線性定位精度、重復定位精度等;同時也能檢測運動導軌的俯仰角、扭擺角、垂直度和直線度;并且可滿足回轉軸分度精度的測量。激光干涉儀配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、平行度和垂直度等測量工作。西安機床誤差修正激光干涉儀

數(shù)控機床設備在維修維?；驒C床設備大修之后，使用雷尼紹XL-80激光干涉儀來實現(xiàn)線性數(shù)控軸直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量，把檢測的數(shù)據(jù)值通過數(shù)控系統(tǒng)參數(shù)補償進入數(shù)控系統(tǒng)，利用數(shù)控系統(tǒng)消除數(shù)控軸的正常磨損誤差，利用球桿儀檢測數(shù)控軸聯(lián)動加工的真圓度，不但可以提高相關聯(lián)的幾個數(shù)控軸聯(lián)動加工的精度等級，還保證了數(shù)控軸的精度、延長數(shù)控軸的壽命。保證數(shù)控機床更高的定位精度、更小的公差及更高的進給率。它是一種精密測量儀器，對數(shù)控機床設備進行精度的再校準。雷尼紹激光干涉儀為機床檢定提供一種高精度標準，它具備自動線性誤差補償功能，可以方便恢復機床精度。顯微式激光干涉儀定制激光干涉儀的測量精度高：以激光干涉技術為關鍵。

現(xiàn)代激光干涉技術是在人類關于光學的知識的基礎上發(fā)展起來的。激光與普通光源相比，具有一些獨特的性質：單色性好、相干性好、方向性強、亮度高。激光干涉儀是以激光波長為已知長度，利用邁克爾遜干涉系統(tǒng)測量位移的通用長度測量，普遍應用于各領域，已經(jīng)成為人類認知世界的重要工具。由于激光具有極好的時間相干性，自問世以來，已研制出多種激光干涉儀：單頻激光干涉儀、激光干涉儀、半導體激光干涉儀、法布里-珀羅（f-p）干涉儀、x射線干涉儀等。激光干涉儀是激光在計量領域中比較成功的應用之一。利用光的干涉實現(xiàn)測量，具有非接觸、無損檢測的特點，已經(jīng)在各個不同領域得到普遍的應用。

激光干涉儀是精度比較高的線性位移測量儀器，其光波可以直接對米進行定義，可溯源至國家標準。但是我們在使用中往往會出現(xiàn)檢測偏離值，偏離我們的預估，以至于在高精度檢測時，對設備產(chǎn)生懷疑。因測量光學鏡組的安裝高度不在被測設備的運動軸上引起的測量誤差稱之為阿貝誤差。產(chǎn)生的原因是設備移動時存在俯仰、扭擺差，因此光學鏡組與運動軸偏置距離越遠，引起的阿貝誤差越大。環(huán)境補償單元能準確采集空氣溫度、壓力、相對濕度信息，基于Edlen公式計算空氣折射率，以此對激光波長進行補償。激光干涉儀是一種高精度位移傳感器。

激光干涉儀應避免在溫度變化大、有風、潮濕環(huán)境下測量，此時檢測結果將收到很大的影響。對激光干涉儀要小心輕放，避免強烈的沖擊震動，安置儀器前應檢查三腳架的牢固性，整個作業(yè)過程中工作人員不得離開儀器，防止意外發(fā)生。激光干涉儀要設置專庫存放，環(huán)境要求干燥、通風、防震、防霧、防塵、防銹。儀器應保持干燥。各種儀器均不可受壓、受凍、受潮或受高溫，儀器箱不要靠近火爐或暖氣管。激光干涉儀具有快速、高準確測量的優(yōu)點，是校準數(shù)字機床、坐標測量機及其它定位裝置精度及線性指標Z常用的標準儀器，掌握一些激光干涉儀的使用技巧會使測量互作事半功倍。影響激光干涉儀測量精度的因素包括：測量讀數(shù)軟件系統(tǒng)帶來的誤差。浙江科研開發(fā)激光干涉儀定購

影響激光干涉儀測量精度的因素包括：激光器頻率(波長)及頻率穩(wěn)定性。西安機床誤差修正激光干涉儀

激光干涉儀在立式配置下，樣品的放置，夾持和調整更方便，提高了測試效率。立式架構整機占地更??；整個干涉腔，處于穩(wěn)定的框架結構下，這樣對抗振要求更低，可省去昂貴和龐大的抗震平臺。立式配置對于某些特殊應用的特殊優(yōu)勢，比如高精度曲率半徑測量，大口徑平面樣品的拼接測量。對于很多超高精度測量，要求樣品表面保持和工作狀態(tài)一致的條件下測量。工業(yè)現(xiàn)場測試環(huán)境下，立式配置下，樣品的夾持放置，更有效率，更加穩(wěn)定。在某些應用場合，基于測試效率，樣品夾持，測試方式或精度的要求，立式配置會更有優(yōu)勢。西安機床誤差修正激光干涉儀