激光干涉儀是利用激光作為長(zhǎng)度基準(zhǔn),對(duì)數(shù)控設(shè)備(加工中心、三座標(biāo)測(cè)量機(jī)等)的位置精度(定位精度、重復(fù)定位精度等)、幾何精度(俯仰扭擺角度、直線度、垂直度等)進(jìn)行精密測(cè)量的精密測(cè)量?jī)x器。激光干涉儀以光波為載體,具有測(cè)量精度高、測(cè)量速度快、測(cè)量范圍大、測(cè)速下分辨率高等特點(diǎn),其光波波長(zhǎng)可直接對(duì)米進(jìn)行定義并溯源至國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)。因此,激光干涉儀普遍應(yīng)用于數(shù)控機(jī)床、PCB鉆孔機(jī)、坐標(biāo)測(cè)量機(jī)、位移傳感器等精密儀器的質(zhì)量控制與校準(zhǔn)以及科研開(kāi)發(fā)、設(shè)備制造等領(lǐng)域。激光干涉儀的環(huán)境條件補(bǔ)償系統(tǒng)(壓力、溫濕度傳感器)的讀數(shù)準(zhǔn)確性對(duì)的測(cè)量精度有著重要的影響。內(nèi)蒙古激光干涉儀價(jià)格查詢
單頻激光干涉儀:從激光器發(fā)出的光束,經(jīng)擴(kuò)束準(zhǔn)直后由分光鏡分為兩路,并分別從固定反射鏡和可動(dòng)反射鏡反射回來(lái)會(huì)合在分光鏡上而產(chǎn)生干涉條紋。當(dāng)可動(dòng)反射鏡移動(dòng)時(shí),干涉條紋的光強(qiáng)變化由接受器中的光電轉(zhuǎn)換元件和電子線路等轉(zhuǎn)換為電脈沖信號(hào),經(jīng)整形、放大后輸入可逆計(jì)數(shù)器計(jì)算出總脈沖數(shù),再由電子計(jì)算機(jī)按計(jì)算式[356-11]式中λ為激光波長(zhǎng)(N為電脈沖總數(shù)),算出可動(dòng)反射鏡的位移量L。使用單頻激光干涉儀時(shí),要求周?chē)髿馓幱诜€(wěn)定狀態(tài),各種空氣湍流都會(huì)引起直流電平變化而影響測(cè)量結(jié)果。深圳數(shù)控軸精度激光干涉儀供應(yīng)廠家激光干涉儀使用注意事項(xiàng):避免劃傷或腐蝕導(dǎo)軌面絲桿,保持其不失油。
激光干涉儀在立式配置下,樣品的放置,夾持和調(diào)整更方便,提高了測(cè)試效率。立式架構(gòu)整機(jī)占地更?。徽麄€(gè)干涉腔,處于穩(wěn)定的框架結(jié)構(gòu)下,這樣對(duì)抗振要求更低,可省去昂貴和龐大的抗震平臺(tái)。立式配置對(duì)于某些特殊應(yīng)用的特殊優(yōu)勢(shì),比如高精度曲率半徑測(cè)量,大口徑平面樣品的拼接測(cè)量。對(duì)于很多超高精度測(cè)量,要求樣品表面保持和工作狀態(tài)一致的條件下測(cè)量。工業(yè)現(xiàn)場(chǎng)測(cè)試環(huán)境下,立式配置下,樣品的夾持放置,更有效率,更加穩(wěn)定。在某些應(yīng)用場(chǎng)合,基于測(cè)試效率,樣品夾持,測(cè)試方式或精度的要求,立式配置會(huì)更有優(yōu)勢(shì)。
激光干涉儀應(yīng)避免在溫度變化大、有風(fēng)、潮濕環(huán)境下測(cè)量,此時(shí)檢測(cè)結(jié)果將收到很大的影響。對(duì)激光干涉儀要小心輕放,避免強(qiáng)烈的沖擊震動(dòng),安置儀器前應(yīng)檢查三腳架的牢固性,整個(gè)作業(yè)過(guò)程中工作人員不得離開(kāi)儀器,防止意外發(fā)生。激光干涉儀要設(shè)置專(zhuān)庫(kù)存放,環(huán)境要求干燥、通風(fēng)、防震、防霧、防塵、防銹。儀器應(yīng)保持干燥。各種儀器均不可受壓、受凍、受潮或受高溫,儀器箱不要靠近火爐或暖氣管。激光干涉儀具有快速、高準(zhǔn)確測(cè)量的優(yōu)點(diǎn),是校準(zhǔn)數(shù)字機(jī)床、坐標(biāo)測(cè)量機(jī)及其它定位裝置精度及線性指標(biāo)Z常用的標(biāo)準(zhǔn)儀器,掌握一些激光干涉儀的使用技巧會(huì)使測(cè)量互作事半功倍。激光干涉儀維護(hù)保管時(shí)需要注意哪些方面?
激光干涉儀是以光波為載體,以光波波長(zhǎng)為單位的一種計(jì)量測(cè)試方法,是公認(rèn)的高精度、高靈敏度的檢測(cè)手段,在制造領(lǐng)域應(yīng)用普遍。激光干涉儀產(chǎn)品具有測(cè)量精度高、測(cè)量速度快、測(cè)速下分辨率高、測(cè)量范圍大等優(yōu)點(diǎn)。通過(guò)與不同的光學(xué)組件結(jié)合,可以實(shí)現(xiàn)對(duì)直線度、垂直度、角度、平面度、平行度等多種幾何精度的測(cè)量。在相關(guān)軟件的配合下,還可以對(duì)數(shù)控機(jī)床進(jìn)行動(dòng)態(tài)性能檢測(cè),可以進(jìn)行機(jī)床振動(dòng)測(cè)試與分析,滾珠絲桿的動(dòng)態(tài)特性分析,驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析,導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析等,具有極高的精度和效率,為機(jī)床誤差修正提供依據(jù)。用激光干涉儀對(duì)數(shù)控機(jī)床進(jìn)行定位精度檢測(cè)。廣東數(shù)控軸幾何參量激光干涉儀
激光干涉儀的測(cè)量精度高:以激光干涉技術(shù)為關(guān)鍵。內(nèi)蒙古激光干涉儀價(jià)格查詢
激光干涉儀初步調(diào)整后,它的固定分光鏡并在分光鏡上安裝光靶,通過(guò)“整體”調(diào)整精確瞄準(zhǔn)光靶后,取下分光鏡光靶,將Z軸升高,觀察激光在反光鏡光靶上偏離程度,同時(shí)透過(guò)“尾部”調(diào)整使激光對(duì)準(zhǔn)反光鏡光靶,若在此過(guò)程中因“尾部”的調(diào)整導(dǎo)致分光鏡遮擋了部分激光,則將Z軸停止上升回到起始處,重新調(diào)整“整體”,再次對(duì)準(zhǔn)反射鏡光靶。緊接著再升Z軸,繼續(xù)調(diào)整“尾部”,觀察激光在反光鏡光靶上偏離程度。重復(fù)整個(gè)過(guò)程,往往幾次即可達(dá)到準(zhǔn)直要求。內(nèi)蒙古激光干涉儀價(jià)格查詢