硅光二極管的響應(yīng)時(shí)間也是其性能的重要指標(biāo)之一。在高速光通信系統(tǒng)中,需要選擇具有快速響應(yīng)時(shí)間的硅光二極管,以確保信號(hào)的準(zhǔn)確傳輸和處理。隨著技術(shù)的不斷進(jìn)步,硅光二極管的響應(yīng)時(shí)間已經(jīng)越來(lái)越短,為高速光通信技術(shù)的發(fā)展提供了有力保障。深圳市世華高半導(dǎo)體有限公司(SIVAGO)成立于2004年,總部設(shè)在深圳,主要負(fù)責(zé)研發(fā)和銷售工作。該公司選擇將汕尾深汕特別合作區(qū)作為生產(chǎn)基地,負(fù)責(zé)光電器件的制造。其產(chǎn)品范圍包括光電二極管、光電三極管、紅外線接收頭、發(fā)射管、發(fā)光二極管、硅光電池、霍爾元件、光電開(kāi)關(guān)、光電編碼器、紙張感應(yīng)器和光電耦合器等。世華高半導(dǎo)體已成為一家先進(jìn)的半導(dǎo)體器件制造商。公司在全球范圍內(nèi)設(shè)有多個(gè)銷售機(jī)構(gòu),分布在中國(guó)、印度、泰國(guó)、伊朗、香港等多個(gè)國(guó)家和地區(qū)。隨著生產(chǎn)規(guī)模的不斷擴(kuò)大和產(chǎn)品種類的豐富,公司的銷售業(yè)績(jī)穩(wěn)步提升。深圳市世華高半導(dǎo)體有限公司(SIVAGO)成立于2004年,總部設(shè)在深圳,主要負(fù)責(zé)研發(fā)和銷售工作。常州濱松硅光電二極管電池
硅光二極管的光譜響應(yīng)特性是其重要的性能指標(biāo)之一。通過(guò)調(diào)整材料和工藝參數(shù),可以優(yōu)化硅光二極管的光譜響應(yīng)范圍,使其更好地適應(yīng)不同應(yīng)用場(chǎng)景的需求。例如,在可見(jiàn)光通信中,需要選擇對(duì)可見(jiàn)光具有良好響應(yīng)的硅光二極管;而在紅外探測(cè)中,則需要選擇對(duì)紅外光具有良好響應(yīng)的器件。深圳市世華高半導(dǎo)體有限公司(SIVAGO)成立于2004年,總部設(shè)在深圳,主要負(fù)責(zé)研發(fā)和銷售工作。該公司選擇將汕尾深汕特別合作區(qū)作為生產(chǎn)基地,負(fù)責(zé)光電器件的制造。其產(chǎn)品范圍包括光電二極管、光電三極管、紅外線接收頭、發(fā)射管、發(fā)光二極管、硅光電池、霍爾元件、光電開(kāi)關(guān)、光電編碼器、紙張感應(yīng)器和光電耦合器等。世華高半導(dǎo)體已成為一家先進(jìn)的半導(dǎo)體器件制造商。公司在全球范圍內(nèi)設(shè)有多個(gè)銷售機(jī)構(gòu),分布在中國(guó)、印度、泰國(guó)、伊朗、香港等多個(gè)國(guó)家和地區(qū)。隨著生產(chǎn)規(guī)模的不斷擴(kuò)大和產(chǎn)品種類的豐富,公司的銷售業(yè)績(jī)穩(wěn)步提升。蘇州硅光硅光電二極管專注硅光電二極管,智能硬件解決方案-世華高。
深圳市世華高半導(dǎo)體有限公司(SIVAGO)成立于2004年,總部設(shè)在深圳,主要負(fù)責(zé)研發(fā)和銷售工作。該公司選擇將汕尾深汕特別合作區(qū)作為生產(chǎn)基地,負(fù)責(zé)光電器件的制造。其產(chǎn)品范圍包括光電二極管、光電三極管、紅外線接收頭、發(fā)射管、發(fā)光二極管、硅光電池、霍爾元件、光電開(kāi)關(guān)、光電編碼器、紙張感應(yīng)器和光電耦合器等。經(jīng)過(guò)十余年的發(fā)展,世華高半導(dǎo)體已成為一家先進(jìn)的半導(dǎo)體器件制造商。公司在全球范圍內(nèi)設(shè)有多個(gè)銷售機(jī)構(gòu),分布在中國(guó)、印度、泰國(guó)、伊朗、香港等多個(gè)國(guó)家和地區(qū)??字睆綖?5um,孔間距35um;也可以為同心環(huán)結(jié)構(gòu),該同心環(huán)中心與金屬電極106中心重合,個(gè)環(huán)直徑與金屬電極106直徑相同,相鄰環(huán)間距10um,環(huán)中心距35um;正面金屬電極106下方的高反層需要刻蝕掉,以增大同流能力,降低擴(kuò)散電阻,提高響應(yīng)速度。進(jìn)一步的,參見(jiàn)圖5-1~圖5-7。本發(fā)明還提出一種高速高響應(yīng)度的硅基光電二極管的制備方法,包括以下操作:1)在襯底107上濺射生成高反層109;2)高反層109開(kāi)設(shè)刻蝕孔;3)高反層109上通過(guò)淀積的方法生長(zhǎng)外延層101;4)在外延層101上通過(guò)離子注入分別形成保護(hù)環(huán)102和有源區(qū)103;5)在保護(hù)環(huán)102和有源區(qū)103上生成sio2層104,然后在sio2層上方生成si3n4層105。
主要負(fù)責(zé)研發(fā)和銷售工作該公司選擇將汕尾深汕特別合作區(qū)作為生產(chǎn)基地,負(fù)責(zé)光電器件的制造。其產(chǎn)品范圍包括光電二極管、光電三極管、紅外線接收頭、發(fā)射管、發(fā)光二極管、硅光電池、霍爾元件、光電開(kāi)關(guān)、光電編碼器、紙張感應(yīng)器和光電耦合器等。經(jīng)過(guò)十余年的發(fā)展,世華高半導(dǎo)體已成為一家先進(jìn)的半導(dǎo)體器件制造商。公司在全球范圍內(nèi)設(shè)有多個(gè)銷售機(jī)構(gòu),分布在中國(guó)、印度、泰國(guó)、伊朗、香港等多個(gè)國(guó)家和地區(qū)。BG-2-也截止,繼電器觸點(diǎn)釋放,這樣的線路起到了光電控制作用。圖⑥(b)是暗通的光控線路,與圖⑥(a)相比電路中2CU與R-2-的位置對(duì)調(diào)了。當(dāng)有光照時(shí)2CU內(nèi)阻變小,它兩端的壓降減小,這樣使BG-1-截止,BG-2-也截止,繼電器觸點(diǎn)不吸合,當(dāng)無(wú)光照時(shí)2CU的內(nèi)阻增大,它兩端的壓降增大,使BG-1-導(dǎo)通,BG-2-也導(dǎo)通,繼電器觸點(diǎn)吸合。三、2DU型硅光電二極管在電路中的接法:我廠生產(chǎn)的2DU型硅光電二極管的前極、后極以及環(huán)極可按圖①(b)所示來(lái)分辨。2DU型硅光電二極管使用時(shí)電原理圖見(jiàn)圖⑦,2DU管的后極接電源的負(fù)極,環(huán)極接電源的正極,前極通過(guò)負(fù)載電阻R-L-接到電源的正極。有了R-L-使環(huán)極的電位比前極電位高,這樣表面漏電流從環(huán)極流出而不經(jīng)過(guò)前極。濱松光電二極管選世華高半導(dǎo)體。
其產(chǎn)品范圍包括光電二極管、光電三極管、紅外線接收頭、發(fā)射管、發(fā)光二極管、硅光電池、霍爾元件、光電開(kāi)關(guān)、光電編碼器、紙張感應(yīng)器和光電耦合器等。經(jīng)過(guò)十余年的發(fā)展,世華高半導(dǎo)體已成為一家先進(jìn)的半導(dǎo)體器件制造商。公司在全球范圍內(nèi)設(shè)有多個(gè)銷售機(jī)構(gòu),分布在中國(guó)、印度、泰國(guó)、伊朗、香港等多個(gè)國(guó)家和地區(qū)。因此擴(kuò)散時(shí)間很短;從而實(shí)現(xiàn)硅基光電二極管高響應(yīng)度與高響應(yīng)速度同時(shí)提升。該結(jié)構(gòu)中,襯底材料107不用進(jìn)行背面處理,直接與金屬形成良好的歐姆接觸;外延層厚度取決于耗盡區(qū)寬度。進(jìn)一步的,所述外延層101的電阻率為500~1000ohm·cm,外延層101厚度wepi根據(jù)耗盡區(qū)寬度wd確定:wepi≈wd,而wd≥w入/2,其中w入=f(λ),w入為入射光入射深度,λ為入射光波長(zhǎng);所述的高反層109由折射率~~;高反層109上開(kāi)設(shè)的刻蝕孔為矩陣排列的圓形孔,或者為同心環(huán)形孔。所述的刻蝕孔為均勻分布的圓形孔時(shí),孔直徑為10~50um,孔間距為15~50um,圓形孔的總面積為結(jié)面積的1/2;所述的刻蝕孔為同心環(huán)形孔時(shí),同心環(huán)中心與正面金屬電極106的中心重合,同心環(huán)中心為刻蝕區(qū),相鄰環(huán)間距5~20um。具體的,高反層109可以為多孔結(jié)構(gòu),可采用矩陣排列(比如采用正方形陣列排列)。世華高專門(mén)供應(yīng)硅光電二極管。深圳光電硅光電二極管廠家
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本發(fā)明具有以下有益的技術(shù)效果:本發(fā)明提供的高速高響應(yīng)度的硅基光電二極管,通過(guò)適當(dāng)減小耗盡區(qū)寬度和減小擴(kuò)散區(qū)電阻率,耗盡區(qū)寬度減小導(dǎo)致響應(yīng)度的降低,本發(fā)明通過(guò)增加高反層使得光子在耗盡區(qū)中二次吸收來(lái)補(bǔ)償;高反層的形成使得器件保持對(duì)長(zhǎng)波響應(yīng)度的同時(shí),降低響應(yīng)時(shí)間;由于擴(kuò)散區(qū)(耗盡區(qū)以外的區(qū)域)材料電阻率很低,擴(kuò)散區(qū)阻抗很小,因此擴(kuò)散時(shí)間很短;從而實(shí)現(xiàn)硅基光電二極管高響應(yīng)度與高響應(yīng)速度同時(shí)提升。本發(fā)明提供的高速高響應(yīng)度的硅基光電二極管,由于通過(guò)低阻材料降低了擴(kuò)散區(qū)電阻,縮短了擴(kuò)散時(shí)間;而高反層的設(shè)置提高了長(zhǎng)波的吸收效率,降低了耗盡區(qū)的物理厚度,縮短了漂移時(shí)間,并且在其上開(kāi)孔減小了擴(kuò)散區(qū)的阻抗;襯底采用低電阻率材料,背面不用進(jìn)行減薄注入,直接背面金屬化形成背面電極,避免了加工過(guò)程中碎片的情況。附圖說(shuō)明圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)圖示意圖;圖2為本發(fā)明的等效電路示意圖;圖3為本發(fā)明的高反層原理示意圖;圖4為多孔結(jié)構(gòu)高反層的示意圖;圖5-1~圖5-7分別為本發(fā)明的逐層制備示意圖。圖6為本發(fā)明的硅基光電二極管的響應(yīng)度測(cè)試曲線;圖7為本發(fā)明的硅基光電二極管的頻率特性測(cè)試曲線。常州濱松硅光電二極管電池