需要失效分析檢測(cè)樣品,我們一般會(huì)在提前做好前期的失效背景調(diào)查和電性能驗(yàn)證工作,能夠?yàn)檎麄€(gè)失效分析過(guò)程找準(zhǔn)方向、提供依據(jù),從而更高效、準(zhǔn)確地找出芯片失效的原因。
1.失效背景調(diào)查收集芯片型號(hào)、應(yīng)用場(chǎng)景、失效模式(如短路、漏電、功能異常等)、失效比例、使用環(huán)境(溫度、濕度、電壓)等。確認(rèn)失效是否可復(fù)現(xiàn),區(qū)分設(shè)計(jì)缺陷、制程問(wèn)題或應(yīng)用不當(dāng)(如過(guò)壓、ESD)。
2.電性能驗(yàn)證使用自動(dòng)測(cè)試設(shè)備(ATE)或探針臺(tái)(ProbeStation)復(fù)現(xiàn)失效,記錄關(guān)鍵參數(shù)(如I-V曲線、漏電流、閾值電壓偏移)。對(duì)比良品與失效芯片的電特性差異,縮小失效區(qū)域(如特定功能模塊)。 我司自主研發(fā)的桌面級(jí)設(shè)備其緊湊的機(jī)身設(shè)計(jì),可節(jié)省實(shí)驗(yàn)室空間,適合在小型研發(fā)機(jī)構(gòu)或生產(chǎn)線上靈活部署。廠家微光顯微鏡按需定制
微光顯微鏡無(wú)法檢測(cè)不產(chǎn)生光子的失效(如歐姆接觸、金屬短路),且易受強(qiáng)光環(huán)境干擾;熱紅外顯微鏡則難以識(shí)別無(wú)明顯溫度變化的失效(如輕微漏電但功耗極低的缺陷),且溫度信號(hào)可能受環(huán)境熱傳導(dǎo)影響。
實(shí)際分析中,二者常結(jié)合使用,通過(guò) “光 - 熱” 信號(hào)交叉驗(yàn)證,提升失效定位的準(zhǔn)確性。致晟光電在技術(shù)創(chuàng)新的征程中,實(shí)現(xiàn)了一項(xiàng)突破性成果 —— 將熱紅外顯微鏡與微光顯微鏡集可以集成于一臺(tái)設(shè)備,只需一次采購(gòu),便可以節(jié)省了重復(fù)的硬件投入。 低溫?zé)嵛⒐怙@微鏡設(shè)備廠家微光顯微鏡的便攜款桌面級(jí)設(shè)計(jì),方便在生產(chǎn)線現(xiàn)場(chǎng)快速檢測(cè),及時(shí)發(fā)現(xiàn)產(chǎn)品問(wèn)題,減少不合格品流出。
可探測(cè)到亮點(diǎn)的情況
一、由缺陷導(dǎo)致的亮點(diǎn)結(jié)漏電(Junction Leakage)接觸毛刺(Contact Spiking)熱電子效應(yīng)(Hot Electrons)閂鎖效應(yīng)(Latch-Up)氧化層漏電(Gate Oxide Defects / Leakage (F-N Current))多晶硅晶須(Poly-silicon Filaments)襯底損傷(Substrate Damage)物理?yè)p傷(Mechanical Damage)等。
二、器件本身固有的亮點(diǎn)飽和 / 有源狀態(tài)的雙極晶體管(Saturated/Active Bipolar Transistors)飽和狀態(tài)的 MOS 管 / 動(dòng)態(tài) CMOS(Saturated MOS/Dynamic CMOS)正向偏置二極管 / 反向偏置二極管(擊穿狀態(tài))(Forward Biased Diodes / Reverse Biased Diodes (Breakdown))等。
半導(dǎo)體企業(yè)購(gòu)入微光顯微鏡設(shè)備,是提升自身競(jìng)爭(zhēng)力的關(guān)鍵舉措,原因在于芯片測(cè)試需要找到問(wèn)題點(diǎn) —— 失效分析。失效分析能定位芯片設(shè)計(jì)缺陷、制造瑕疵或可靠性問(wèn)題,直接決定產(chǎn)品良率與市場(chǎng)口碑。微光顯微鏡憑借高靈敏度的光子探測(cè)能力,可捕捉芯片內(nèi)部微弱發(fā)光信號(hào),高效識(shí)別漏電、熱失控等隱性故障,為優(yōu)化生產(chǎn)工藝、提升芯片性能提供關(guān)鍵數(shù)據(jù)支撐。在激烈的市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)中,快速完成失效分析意味著縮短研發(fā)周期、降低返工成本,同時(shí)通過(guò)提升產(chǎn)品可靠性鞏固客戶信任,這正是半導(dǎo)體企業(yè)在技術(shù)迭代與市場(chǎng)爭(zhēng)奪中保持優(yōu)勢(shì)的邏輯。微光顯微鏡搭配高分辨率鏡頭,可將微小缺陷放大至清晰可見(jiàn),讓檢測(cè)更易觀察分析,提升檢測(cè)的準(zhǔn)確度。
微光顯微鏡技術(shù)特性差異
探測(cè)靈敏度方向:EMMI 追求對(duì)微弱光子的高靈敏度(可檢測(cè)單光子級(jí)別信號(hào)),需配合暗場(chǎng)環(huán)境減少干擾;熱紅外顯微鏡則強(qiáng)調(diào)溫度分辨率(部分設(shè)備可達(dá) 0.01℃),需抑制環(huán)境熱噪聲。
空間分辨率:EMMI 的分辨率受光學(xué)系統(tǒng)和光子波長(zhǎng)限制,通常在微米級(jí);熱紅外顯微鏡的分辨率與紅外波長(zhǎng)、鏡頭數(shù)值孔徑相關(guān),一般略低于 EMMI,但更注重大面積熱分布的快速成像。
樣品處理要求:EMMI 對(duì)部分遮蔽性失效(如金屬下方漏電)需采用背面觀測(cè)模式,可能需要減薄、拋光樣品;
處理要求:熱紅外顯微鏡可透過(guò)封裝材料(如陶瓷、塑料)探測(cè),對(duì)樣品破壞性較小,更適合非侵入式初步篩查。 熱電子與晶格相互作用及閂鎖效應(yīng)發(fā)生時(shí)也會(huì)產(chǎn)生光子,在顯微鏡下呈現(xiàn)亮點(diǎn)。低溫?zé)嵛⒐怙@微鏡
分析低阻抗短路時(shí),微光顯微鏡可用于未開(kāi)蓋樣品測(cè)試,還能定位大型 PCB 上金屬線路及元器件失效點(diǎn)。廠家微光顯微鏡按需定制
同時(shí),我們誠(chéng)摯歡迎各位客戶蒞臨蘇州實(shí)驗(yàn)室進(jìn)行深入交流。在這里,我們的專業(yè)技術(shù)團(tuán)隊(duì)將為您詳細(xì)演示微光顯微鏡、熱紅外顯微鏡的全套操作流程,從基礎(chǔ)功能到高級(jí)應(yīng)用,一一講解其中的技術(shù)原理與操作技巧。針對(duì)您在設(shè)備選型、使用場(chǎng)景、技術(shù)參數(shù)等方面的疑問(wèn),我們也會(huì)給予細(xì)致入微的解答,讓您對(duì)失效分析領(lǐng)域掌握設(shè)備優(yōu)勢(shì)與適用范圍。
這種面對(duì)面的深度溝通,旨在讓合作過(guò)程更加透明,讓您對(duì)我們的產(chǎn)品與服務(wù)更有信心,合作也更顯安心。 廠家微光顯微鏡按需定制
蘇州致晟光電科技有限公司在同行業(yè)領(lǐng)域中,一直處在一個(gè)不斷銳意進(jìn)取,不斷制造創(chuàng)新的市場(chǎng)高度,多年以來(lái)致力于發(fā)展富有創(chuàng)新價(jià)值理念的產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn),在江蘇省等地區(qū)的機(jī)械及行業(yè)設(shè)備中始終保持良好的商業(yè)口碑,成績(jī)讓我們喜悅,但不會(huì)讓我們止步,殘酷的市場(chǎng)磨煉了我們堅(jiān)強(qiáng)不屈的意志,和諧溫馨的工作環(huán)境,富有營(yíng)養(yǎng)的公司土壤滋養(yǎng)著我們不斷開(kāi)拓創(chuàng)新,勇于進(jìn)取的無(wú)限潛力,蘇州致晟光電科技供應(yīng)攜手大家一起走向共同輝煌的未來(lái),回首過(guò)去,我們不會(huì)因?yàn)槿〉昧艘稽c(diǎn)點(diǎn)成績(jī)而沾沾自喜,相反的是面對(duì)競(jìng)爭(zhēng)越來(lái)越激烈的市場(chǎng)氛圍,我們更要明確自己的不足,做好迎接新挑戰(zhàn)的準(zhǔn)備,要不畏困難,激流勇進(jìn),以一個(gè)更嶄新的精神面貌迎接大家,共同走向輝煌回來(lái)!