結(jié)構(gòu)組成 MEMS電容真空計主要由真空規(guī)管和測量電路兩部分組成。真空規(guī)管包含彈性薄膜、上下電極、支撐結(jié)構(gòu)等組件。測量電路則用于對電容變化進行處理，得到真空度的值。此外，MEMS電容真空計還可能包含一些輔助組件，如溫度補償器、校準電路等，以提高測量精度...

真空計按測量原理分類 靜態(tài)液位真空計測量原理：利用U型管兩端液面差來測量壓力。彈性元件真空計測量原理：利用與真空相連的容器表面受到壓力的作用而產(chǎn)生彈性變形來測量壓力值的大小。但直接測量這樣小的力是困難的，因此可根據(jù)低壓下與氣體壓力有關(guān)的物理量的變化來...

真空計按測量原理分類 靜態(tài)液位真空計測量原理：利用U型管兩端液面差來測量壓力。彈性元件真空計測量原理：利用與真空相連的容器表面受到壓力的作用而產(chǎn)生彈性變形來測量壓力值的大小。但直接測量這樣小的力是困難的，因此可根據(jù)低壓下與氣體壓力有關(guān)的物理量的變化來...

隨著MEMS技術(shù)的不斷發(fā)展和進步，MEMS電容真空計將朝著更高靈敏度、更寬測量范圍、更好穩(wěn)定性和更低功耗的方向發(fā)展。同時，隨著物聯(lián)網(wǎng)、大數(shù)據(jù)、人工智能等技術(shù)的快速發(fā)展，MEMS電容真空計將實現(xiàn)更加智能化和遠程化的監(jiān)測和控制功能，為各個領(lǐng)域提供更加便捷和高效的真...

陶瓷薄膜真空計是一種高精度、高穩(wěn)定性的真空測量儀器，它結(jié)合了陶瓷材料的優(yōu)異性能和薄膜傳感技術(shù)的敏感特性。以下是對陶瓷薄膜真空計的詳細介紹： 基本原理：陶瓷薄膜真空計的工作原理基于電容變化的原理。它通常包含一個陶瓷基片，上面沉積有一層或多層金屬薄膜作為...

辰儀MEMS電容真空計是辰儀完全自主開發(fā)的，采用MEMS技術(shù)開發(fā)的電容真空計，該真空計是通過直接的壓力變化產(chǎn)生的電容值的變化得出真空度的一種真空測量方法，精度可達到萬分之一，且不受氣體種類的限制的優(yōu)點，是高精度高穩(wěn)定性真空測量的理想選擇。 辰儀MEM...

真空計是一種用于測量氣體壓力的儀器，主要應(yīng)用于高真空環(huán)境中的設(shè)備和系統(tǒng)的研究、制造和測試。其工作原理是通過測量氣體在不同壓力下對傳感器的影響來進行壓力測量。常見的真空計包括熱導(dǎo)式真空計、熱陰極離子化真空計和毛細壓力計等。熱導(dǎo)式真空計通過測量氣體傳熱...

MEMS電容真空計是一種利用微機電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù)制造的電容式真空計。以下是對MEMS電容真空計的詳細介紹： 基本原理MEMS電容真空計基于電容變化的原理來測量真空度。它包含一個彈性薄膜作為感測元件，當外界氣壓改變時，薄膜會發(fā)生形變，進而改變與上...