辰儀MEMS電容真空計(jì)是辰儀完全自主開發(fā)的,采用MEMS技術(shù)開發(fā)的電容真空計(jì),該真空計(jì)是通過直接的壓力變化產(chǎn)生的電容值的變化得出真空度的一種真空測(cè)量方法,精度可達(dá)到萬分之一,且不受氣體種類的限制的優(yōu)點(diǎn),是高精度高穩(wěn)定性真空測(cè)量的理想選擇。 辰儀MEM...
金屬薄膜真空計(jì)在多個(gè)領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用,包括但不限于:半導(dǎo)體制造:在半導(dǎo)體制造過程中,金屬薄膜真空計(jì)用于監(jiān)測(cè)真空度,確保氣氛純凈并排除雜質(zhì),從而提高芯片的質(zhì)量和可靠性。真空冶金:在真空冶金領(lǐng)域,金屬薄膜真空計(jì)用于確保加工環(huán)境的純度和穩(wěn)定性,以確保冶金產(chǎn)品的質(zhì)量...
選擇真空計(jì)時(shí)需要綜合考慮多個(gè)因素,包括真空計(jì)的類型、測(cè)量范圍與精度、被測(cè)氣體與環(huán)境以及其他相關(guān)因素。通過多方面評(píng)估這些因素,可以選擇出適合實(shí)際需求的真空計(jì)。其他因素需要考慮:穩(wěn)定性與可靠性:空計(jì)的使用壽命也是需要考慮的因素之一,好品質(zhì)的真空計(jì)通常具...
CRS系列陶瓷電容薄膜真空計(jì)是上海辰儀測(cè)量技術(shù)有限公司開發(fā)的壓力真空計(jì),該系列產(chǎn)品具有高精度、溫度補(bǔ)償?shù)奶攸c(diǎn),可以在惡劣的生產(chǎn)加工環(huán)境中提供穩(wěn)定的性能,一鍵歸零功能和繼電器設(shè)定點(diǎn)調(diào)整提高了產(chǎn)品性能,且易于操作;陶瓷的耐腐蝕性提供了較好的零點(diǎn)穩(wěn)定性,包括突發(fā)...
真空計(jì)在多個(gè)領(lǐng)域中都發(fā)揮著重要作用,包括但不限于: 科研領(lǐng)域:在物理、化學(xué)、材料科學(xué)等實(shí)驗(yàn)中,真空計(jì)用于測(cè)量實(shí)驗(yàn)裝置內(nèi)的真空度,確保實(shí)驗(yàn)環(huán)境的純凈度和穩(wěn)定性。 工業(yè)生產(chǎn):在半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、真空熱處理等工藝中,真空計(jì)用于監(jiān)控生產(chǎn)過程中的真空...
真空計(jì)可以按照測(cè)量原理、結(jié)構(gòu)特點(diǎn)以及使用范圍等進(jìn)行分類。其中,按照測(cè)量原理分類是最常見的方式。不同類型的真空計(jì)具有不同的測(cè)量范圍和精度。例如:波爾登規(guī)的測(cè)量范圍一般在100Pa至1atm。薄膜電容規(guī)的測(cè)量范圍一般橫跨4個(gè)量級(jí),比如可能是0.01Pa至100Pa...
真空計(jì)按測(cè)量原理分類 靜態(tài)液位真空計(jì)測(cè)量原理:利用U型管兩端液面差來測(cè)量壓力。彈性元件真空計(jì)測(cè)量原理:利用與真空相連的容器表面受到壓力的作用而產(chǎn)生彈性變形來測(cè)量壓力值的大小。但直接測(cè)量這樣小的力是困難的,因此可根據(jù)低壓下與氣體壓力有關(guān)的物理量的變化來...
金屬薄膜真空計(jì)是一種在多個(gè)行業(yè)中廣泛應(yīng)用的真空計(jì)量儀器。其基于金屬薄膜在真空中的特定物理性質(zhì)來測(cè)量壓力,具有高靈敏度、寬測(cè)量范圍、穩(wěn)定性好和抗污染能力強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn)。在使用時(shí),需要注意避免污染、進(jìn)行校準(zhǔn)和測(cè)試以及控制溫度等因素。 避免污染:使用金屬薄膜真空...
其他角度對(duì)真空計(jì)進(jìn)行分類,如根據(jù)測(cè)量范圍、精度、使用條件等。不同類型的真空計(jì)在這些方面也有區(qū)別。例如,MEMS電容薄膜真空計(jì)作為MEMS電容式傳感器的一種,具有小型化、低成本、高性能、易與CMOS集成電路兼容等特點(diǎn)。它能夠滿足深空探測(cè)、空氣動(dòng)力學(xué)研究、臨近...
在實(shí)際應(yīng)用中,不同類型的真空計(jì)通常結(jié)合使用,以覆蓋不同的壓力范圍。同時(shí),為了確保真空計(jì)的精度和可靠性,需要定期對(duì)其進(jìn)行校準(zhǔn)和維護(hù)。此外,在選擇真空計(jì)時(shí),還需要考慮其測(cè)量范圍、精度、響應(yīng)時(shí)間等性能指標(biāo),以及工作環(huán)境中的氣體種類、溫度等因素對(duì)真空計(jì)性能的影響。綜上...
MEMS電容真空計(jì)在多個(gè)領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用,包括但不限于:半導(dǎo)體制造:在半導(dǎo)體制造過程中,MEMS電容真空計(jì)用于監(jiān)測(cè)真空度,確保氣氛純凈并排除雜質(zhì),從而提高芯片的質(zhì)量和可靠性。真空冶金:在真空冶金領(lǐng)域,MEMS電容真空計(jì)用于確保加工環(huán)境的純度和穩(wěn)定性,以提高冶...
MEMS電容真空計(jì)在多個(gè)領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用,包括但不限于:半導(dǎo)體制造:在半導(dǎo)體制造過程中,MEMS電容真空計(jì)用于監(jiān)測(cè)真空度,確保氣氛純凈并排除雜質(zhì),從而提高芯片的質(zhì)量和可靠性。真空冶金:在真空冶金領(lǐng)域,MEMS電容真空計(jì)用于確保加工環(huán)境的純度和穩(wěn)定性,以提高冶...
陶瓷薄膜真空計(jì) 安裝位置:陶瓷薄膜真空計(jì)的安裝位置應(yīng)遠(yuǎn)離振動(dòng)源和熱源,以確保測(cè)量精度和穩(wěn)定性。校準(zhǔn)和維護(hù):定期對(duì)陶瓷薄膜真空計(jì)進(jìn)行校準(zhǔn)和維護(hù),以確保其長期保持測(cè)量精度和穩(wěn)定性。使用環(huán)境:避免將陶瓷薄膜真空計(jì)暴露在腐蝕性氣體或高溫環(huán)境中,以免損壞其內(nèi)部...
陶瓷薄膜真空計(jì)主要由陶瓷基片、金屬薄膜、電極、電路板和外殼等部分組成。其中,陶瓷基片是支撐薄膜和電極的基底,具有優(yōu)異的機(jī)械性能和化學(xué)穩(wěn)定性;金屬薄膜作為電容的感測(cè)元件,對(duì)真空度變化具有高度的敏感性;電極則與薄膜形成電容結(jié)構(gòu);電路板則負(fù)責(zé)將電容變化轉(zhuǎn)換為可讀...
如何選擇真空計(jì)?考慮測(cè)量范圍與精度:不同的真空計(jì)有不同的測(cè)量范圍,需要根據(jù)實(shí)際需求選擇。例如,熱陰極電離真空計(jì)適用于高真空環(huán)境(10-11 mbar),而熱阻式真空計(jì)則適用于氣壓在10-9 mbar范圍內(nèi)的測(cè)量。精度是選擇真空計(jì)時(shí)需要考慮的另一個(gè)重要因素。需要...
如何選擇真空計(jì)?考慮測(cè)量范圍與精度:不同的真空計(jì)有不同的測(cè)量范圍,需要根據(jù)實(shí)際需求選擇。例如,熱陰極電離真空計(jì)適用于高真空環(huán)境(10-11 mbar),而熱阻式真空計(jì)則適用于氣壓在10-9 mbar范圍內(nèi)的測(cè)量。精度是選擇真空計(jì)時(shí)需要考慮的另一個(gè)重要因素。需要...
結(jié)構(gòu)組成 MEMS電容真空計(jì)主要由真空規(guī)管和測(cè)量電路兩部分組成。真空規(guī)管包含彈性薄膜、上下電極、支撐結(jié)構(gòu)等組件。測(cè)量電路則用于對(duì)電容變化進(jìn)行處理,得到真空度的值。此外,MEMS電容真空計(jì)還可能包含一些輔助組件,如溫度補(bǔ)償器、校準(zhǔn)電路等,以提高測(cè)量精度...
金屬薄膜真空計(jì)是一種基于金屬薄膜在真空中阻力變化或熱傳導(dǎo)特性來測(cè)量壓力的真空計(jì)。以下是對(duì)金屬薄膜真空計(jì)的詳細(xì)介紹:一、基本原理金屬薄膜真空計(jì)利用金屬薄膜在真空中的特定物理性質(zhì)來測(cè)量壓力。具體來說,有兩種主要的工作原理:阻力變化原理:當(dāng)氣體分子撞擊金屬薄膜時(shí),會(huì)...
MEMS電容真空計(jì)在多個(gè)領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用,包括但不限于:半導(dǎo)體制造:在半導(dǎo)體制造過程中,MEMS電容真空計(jì)用于監(jiān)測(cè)真空度,確保氣氛純凈并排除雜質(zhì),從而提高芯片的質(zhì)量和可靠性。真空冶金:在真空冶金領(lǐng)域,MEMS電容真空計(jì)用于確保加工環(huán)境的純度和穩(wěn)定性,以提高冶...
常見的真空計(jì)類型包括:直接讀取式真空計(jì):如U型管壓力計(jì)、壓縮式真空計(jì)等,它們直接讀取氣體壓力,其壓力響應(yīng)(刻度)可通過自身幾何尺寸計(jì)算出來或由測(cè)力確定。這類真空計(jì)對(duì)所有氣體都是準(zhǔn)確的,且與氣體種類無關(guān)。相對(duì)真空計(jì):如熱傳導(dǎo)真空計(jì)、電離真空計(jì)等,它們...
真空計(jì)的現(xiàn)代發(fā)展技術(shù)進(jìn)步: 隨著半導(dǎo)體和微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)的不斷進(jìn)步,真空計(jì)的精度和穩(wěn)定性得到了提升,推動(dòng)了新一代高性能真空計(jì)的研發(fā)和應(yīng)用。智能化:現(xiàn)代真空計(jì)越來越多地集成了智能化功能,能夠?qū)崟r(shí)監(jiān)測(cè)、分析和反饋數(shù)據(jù),提高了用戶的操作便利性和系...
金屬薄膜真空計(jì) 性能特點(diǎn)高靈敏度:金屬薄膜真空計(jì)通常具有較高的靈敏度,能夠準(zhǔn)確測(cè)量微小的壓力變化。寬測(cè)量范圍:雖然具體范圍取決于金屬薄膜的材質(zhì)和厚度,但金屬薄膜真空計(jì)通常具有較寬的測(cè)量范圍,適用于從低真空到高真空的不同環(huán)境。穩(wěn)定性好:在適當(dāng)?shù)木S護(hù)下,...
真空計(jì)的現(xiàn)代發(fā)展技術(shù)進(jìn)步: 隨著半導(dǎo)體和微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)的不斷進(jìn)步,真空計(jì)的精度和穩(wěn)定性得到了提升,推動(dòng)了新一代高性能真空計(jì)的研發(fā)和應(yīng)用。智能化:現(xiàn)代真空計(jì)越來越多地集成了智能化功能,能夠?qū)崟r(shí)監(jiān)測(cè)、分析和反饋數(shù)據(jù),提高了用戶的操作便利性和系...
真空計(jì)可以按照測(cè)量原理、結(jié)構(gòu)特點(diǎn)以及使用范圍等進(jìn)行分類。其中,按照測(cè)量原理分類是最常見的方式。不同類型的真空計(jì)具有不同的測(cè)量范圍和精度。例如:波爾登規(guī)的測(cè)量范圍一般在100Pa至1atm。薄膜電容規(guī)的測(cè)量范圍一般橫跨4個(gè)量級(jí),比如可能是0.01Pa至100Pa...
真空環(huán)境在制造業(yè)中的應(yīng)用:在半導(dǎo)體制造過程中,真空鍍膜技術(shù)可以在芯片表面形成均勻、高質(zhì)量的薄膜;真空吸附技術(shù)可以用于半導(dǎo)體制造過程中的污染物去除、光學(xué)鍍膜等領(lǐng)域的涂層均勻性保證。真空設(shè)備在科研中的應(yīng)用:在物理學(xué)領(lǐng)域,高真空環(huán)境對(duì)于電子顯微鏡等精密儀...
真空計(jì)按測(cè)量原理分類 靜態(tài)液位真空計(jì)測(cè)量原理:利用U型管兩端液面差來測(cè)量壓力。彈性元件真空計(jì)測(cè)量原理:利用與真空相連的容器表面受到壓力的作用而產(chǎn)生彈性變形來測(cè)量壓力值的大小。但直接測(cè)量這樣小的力是困難的,因此可根據(jù)低壓下與氣體壓力有關(guān)的物理量的變化來...
金屬薄膜真空計(jì)是一種基于金屬薄膜在真空中阻力變化或熱傳導(dǎo)特性來測(cè)量壓力的真空計(jì)。以下是對(duì)金屬薄膜真空計(jì)的詳細(xì)介紹:一、基本原理金屬薄膜真空計(jì)利用金屬薄膜在真空中的特定物理性質(zhì)來測(cè)量壓力。具體來說,有兩種主要的工作原理:阻力變化原理:當(dāng)氣體分子撞擊金屬薄膜時(shí),會(huì)...
真空技術(shù)在生活中有著廣泛的應(yīng)用,它極大地改善了我們的生活質(zhì)量,提高了生產(chǎn)效率,隨著科技的進(jìn)步和創(chuàng)新,真空技術(shù)的應(yīng)用領(lǐng)域還將不斷拓展和深化,并在多個(gè)領(lǐng)域發(fā)揮著不可替代的作用。醫(yī)療器械與醫(yī)療環(huán)境真空包裝醫(yī)療器械:注射器、輸液袋等醫(yī)療器械需要在無菌條件下使用,通過真...
真空計(jì)按測(cè)量原理分類 靜態(tài)液位真空計(jì)測(cè)量原理:利用U型管兩端液面差來測(cè)量壓力。彈性元件真空計(jì)測(cè)量原理:利用與真空相連的容器表面受到壓力的作用而產(chǎn)生彈性變形來測(cè)量壓力值的大小。但直接測(cè)量這樣小的力是困難的,因此可根據(jù)低壓下與氣體壓力有關(guān)的物理量的變化來...
真空計(jì)的安裝過程需要遵循一定的步驟和注意事項(xiàng),以下是真空計(jì)安裝的一般指導(dǎo): 一、安裝前準(zhǔn)備閱讀說明書:在安裝前,應(yīng)認(rèn)真閱讀真空計(jì)的說明書,了解真空計(jì)的基本原理、參數(shù)和性能特點(diǎn)。選擇安裝位置:真空計(jì)的安裝位置應(yīng)遠(yuǎn)離任何氣體泄漏源,且處于被測(cè)介質(zhì)內(nèi),以確...