福建高速光學(xué)數(shù)字圖像相關(guān)變形測(cè)量

    芯片研發(fā)制造過(guò)程鏈條漫長(zhǎng)，很多重要工藝環(huán)節(jié)需要進(jìn)行精密檢測(cè)以確保良率，降低生產(chǎn)成本。提高制造控制工藝，并通過(guò)不斷研發(fā)迭代和測(cè)試，才能制造性能更優(yōu)異的芯片，走向市場(chǎng)并逐漸應(yīng)用到生活和工作的方方面面。由于芯片尺寸小，在溫度循環(huán)下的應(yīng)力，傳統(tǒng)測(cè)試方法難以獲??；高精度三維顯微應(yīng)變測(cè)量技術(shù)的發(fā)展，打破了原先在微觀尺寸測(cè)量領(lǐng)域的限制，特別是在半導(dǎo)體材料、芯片結(jié)構(gòu)變化細(xì)微的測(cè)量條件下，三維應(yīng)變測(cè)量技術(shù)分析尤為重要。 三維應(yīng)變測(cè)量技術(shù)是一種用于測(cè)量物體三維應(yīng)變狀態(tài)的重要工程測(cè)量方法。福建高速光學(xué)數(shù)字圖像相關(guān)變形測(cè)量

光學(xué)非接觸應(yīng)變測(cè)量是一種先進(jìn)的測(cè)量技術(shù)，它利用光學(xué)原理實(shí)現(xiàn)對(duì)物體應(yīng)變的間接測(cè)量，無(wú)需與被測(cè)物體直接接觸。以下是對(duì)光學(xué)非接觸應(yīng)變測(cè)量的詳細(xì)介紹：光學(xué)非接觸應(yīng)變測(cè)量的基本原理是利用光與物質(zhì)相互作用時(shí)產(chǎn)生的光學(xué)現(xiàn)象，如光的反射、折射、干涉、衍射等，來(lái)間接地測(cè)量物體的變形。當(dāng)物體發(fā)生應(yīng)變時(shí)，其表面的形貌或光學(xué)性質(zhì)會(huì)發(fā)生變化，這些變化可以通過(guò)光學(xué)傳感器捕捉到，并轉(zhuǎn)化為電信號(hào)進(jìn)行處理和分析，從而得到物體的應(yīng)變信息。福建高速光學(xué)數(shù)字圖像相關(guān)變形測(cè)量光學(xué)非接觸應(yīng)變測(cè)量主要依賴于光學(xué)測(cè)量技術(shù)，如數(shù)字全息術(shù)、激光測(cè)振儀、數(shù)字圖像相關(guān)法（DIC）等。

    橡膠拉力試驗(yàn)機(jī)采用直流伺服電機(jī)及調(diào)速系統(tǒng)一體化結(jié)構(gòu)驅(qū)動(dòng)同步帶減速機(jī)構(gòu)，經(jīng)減速后帶動(dòng)絲杠副進(jìn)行加載。電氣部分包括負(fù)荷測(cè)量系統(tǒng)和變形測(cè)量系統(tǒng)組成，所有的控制參數(shù)及測(cè)量結(jié)果均可以在大屏幕液晶上實(shí)時(shí)顯示，并具有過(guò)載保護(hù)、位移測(cè)量等功能。適用于橡膠、復(fù)合膜、軟質(zhì)包裝材料、膠粘劑、膠粘帶、不干膠、橡膠、紙張等產(chǎn)品的拉伸、剝離、撕裂、熱封、粘合等性能測(cè)試；能夠保存6次試驗(yàn)數(shù)據(jù)及結(jié)果，具有曲線顯示，查詢等必要的功能。

    機(jī)械式應(yīng)變測(cè)量方法：機(jī)械式應(yīng)變測(cè)量已經(jīng)有很長(zhǎng)的歷史，其主要利用百分表或千分表測(cè)量變形前后測(cè)試標(biāo)距內(nèi)的距離變化而得到構(gòu)件測(cè)試標(biāo)距內(nèi)的平均應(yīng)變。工程測(cè)量中使用的機(jī)械式應(yīng)變測(cè)量?jī)x器主要包括手持應(yīng)變儀和千分表引伸計(jì)。機(jī)械式應(yīng)變測(cè)量方法主要突出的特點(diǎn)是讀數(shù)直觀、環(huán)境適應(yīng)能力強(qiáng)、可重復(fù)性使用等。但需要人工讀數(shù)、費(fèi)時(shí)費(fèi)力、精度差，對(duì)于應(yīng)變測(cè)點(diǎn)數(shù)量眾多的橋梁靜載試驗(yàn)顯然不合適。因此，除了少數(shù)室內(nèi)模型試驗(yàn)的特殊需要，工程結(jié)構(gòu)中很少使用。 一些新的技術(shù)被引入，如數(shù)字圖像相關(guān)等，這些方法提高了測(cè)量的準(zhǔn)確性和精度，還擴(kuò)展了應(yīng)變測(cè)量的應(yīng)用范圍。

   拉力試驗(yàn)力值的應(yīng)變測(cè)量是通過(guò)測(cè)力傳感器、擴(kuò)展器和數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)來(lái)完成的。從數(shù)據(jù)力學(xué)上看，在小變形的前提下，彈性元件的某一點(diǎn)應(yīng)變霹靂與彈性元件的力成正比，也與彈性變形成正比。以S型試驗(yàn)機(jī)傳感器為例，當(dāng)傳感器受到拉力P的影響時(shí)，由于彈性元件的應(yīng)變與外力P的大小成正比，彈性元件的應(yīng)變與外力P的大小成正比，應(yīng)變片可以連接到測(cè)量電路，測(cè)量其輸出電壓，然后測(cè)量輸出力的大小。變形測(cè)量是通過(guò)變形測(cè)量和安裝來(lái)測(cè)量的，用于測(cè)量樣品在實(shí)驗(yàn)過(guò)程中的變形。安裝有兩個(gè)夾頭，通過(guò)一系列的傳記念頭結(jié)構(gòu)與安裝在測(cè)量和安裝頂部的光電編碼器連接。光學(xué)非接觸應(yīng)變測(cè)量利用全息干涉術(shù)和激光散斑術(shù)，通過(guò)光的干涉和散斑圖案分析物體表面應(yīng)變。福建高速光學(xué)數(shù)字圖像相關(guān)變形測(cè)量

電阻應(yīng)變測(cè)量(電測(cè)法)是實(shí)驗(yàn)應(yīng)力分析中使用較廣和適應(yīng)性比較強(qiáng)的方法之一。福建高速光學(xué)數(shù)字圖像相關(guān)變形測(cè)量

可以采用相似材料結(jié)構(gòu)模型實(shí)驗(yàn)的手段，以鋼筋混凝土框架結(jié)構(gòu)為研究對(duì)象，通過(guò)數(shù)字散斑的光學(xué)非接觸應(yīng)變測(cè)量方式，獲取強(qiáng)烈地震作用下模型表面的三維全場(chǎng)位移及應(yīng)變數(shù)據(jù)。應(yīng)變計(jì)作為應(yīng)變測(cè)量的工具，存在著貼片過(guò)程繁瑣，測(cè)量精度嚴(yán)重依賴其貼片質(zhì)量，對(duì)環(huán)境溫度敏感等問(wèn)題。此外，應(yīng)變計(jì)無(wú)法進(jìn)行全場(chǎng)測(cè)量，難以捕捉到關(guān)鍵位置的變形出現(xiàn)的初始位置，當(dāng)框架結(jié)構(gòu)發(fā)生較大范圍變形或斷裂，應(yīng)變計(jì)在試件出現(xiàn)斷裂時(shí)容易損壞，影響測(cè)試數(shù)據(jù)的質(zhì)量。福建高速光學(xué)數(shù)字圖像相關(guān)變形測(cè)量