干涉儀是一種使用干涉測(cè)量技術(shù)的光學(xué)計(jì)量?jī)x器,其思想在于利用波的疊加性來(lái)獲取波的相位信息,從而獲得實(shí)驗(yàn)所關(guān)心的物理量。以下是對(duì)干涉儀的詳細(xì)介紹:一、基本原理具有固定相位差的兩列準(zhǔn)單色波的疊加將導(dǎo)致振幅發(fā)生變化,從而可以通過(guò)測(cè)量較容易測(cè)量的振幅來(lái)獲取波的相位信息。由于幅度變化依賴于相位差的余弦函數(shù),這種幅度的變化有時(shí)候在空間表現(xiàn)為周期性的條紋,即干涉條紋?;緲?gòu)成干涉儀一般由光源、分束器、反射鏡、干涉屏(或檢測(cè)器)等組成。光源發(fā)出的光經(jīng)過(guò)分束器被分成兩束,分別經(jīng)由反射鏡反射回來(lái),并在干涉屏(或檢測(cè)器)上產(chǎn)生干涉圖樣。其中,各元件的功能如下:現(xiàn)代的雙頻激光干涉儀測(cè)速普遍達(dá)到1m/s,有的甚至達(dá)到十幾m/s,適于高速動(dòng)態(tài)測(cè)量。昆山銷售雙頻激光干涉儀單價(jià)
激光干涉測(cè)量?jī)x是一種基于激光干涉原理的高精度計(jì)量?jī)x器,廣泛應(yīng)用于工程與技術(shù)科學(xué)領(lǐng)域 [1-2]。該儀器通過(guò)測(cè)量激光波長(zhǎng)變化實(shí)現(xiàn)幾何量的檢測(cè),具備抗干擾能力強(qiáng)、精度高等特點(diǎn)。主要應(yīng)用場(chǎng)景包括數(shù)控機(jī)床校準(zhǔn)、三坐標(biāo)機(jī)校準(zhǔn)、光學(xué)平臺(tái)校準(zhǔn)等,通過(guò)與不同光學(xué)組件結(jié)合,可檢測(cè)線性位移、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等參數(shù) [2]截至2020年11月,激光干涉測(cè)量?jī)x的技術(shù)參數(shù)包括 [1]:標(biāo)準(zhǔn)量程:0-40米測(cè)量精度:±0.5 ppm分辨率:1納米比較大速率:240米/分鐘角度測(cè)量精度:0.2%蘇州附近雙頻激光干涉儀性價(jià)比激光干涉儀是一種利用激光干涉原理進(jìn)行測(cè)量的精密儀器。
雙頻激光干涉儀是在單頻激光干涉儀的基礎(chǔ)上發(fā)展的一種外差式干涉儀。和單頻激光干涉儀一樣,雙頻激光干涉儀也是一種以波長(zhǎng)作為標(biāo)準(zhǔn)對(duì)被測(cè)長(zhǎng)度進(jìn)行度量的儀器。雙頻激光干涉儀可以在恒溫,恒濕,防震的計(jì)量室內(nèi)檢定量塊,量桿,刻尺和坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等。它既可以對(duì)幾十米的大量程進(jìn)行精密測(cè)量,也可以對(duì)手表零件等微小運(yùn)動(dòng)進(jìn)行精密測(cè)量,既可以對(duì)幾何量如長(zhǎng)度、角度.直線度、平行度、平面度、垂直度等進(jìn)行測(cè)量,也可以用于特殊場(chǎng)合,諸如半導(dǎo)體光刻技術(shù)的微定位和計(jì)算機(jī)存儲(chǔ)器上記錄槽間距的測(cè)量等等。
但是這種單頻的激光儀并非完美,它的一個(gè)根本弱點(diǎn)就是受環(huán)境影響嚴(yán)重,在測(cè)試環(huán)境惡劣,測(cè)量距離較長(zhǎng)時(shí),這一缺點(diǎn)十分突出。其原因在于它是一種直流測(cè)量系統(tǒng),必然具有直流光平和電平零漂的弊端。激光干涉儀可動(dòng)反光鏡移動(dòng)時(shí),光電接收器會(huì)輸出信號(hào),如果信號(hào)超過(guò)了計(jì)數(shù)器的觸發(fā)電平則就會(huì)被記錄下來(lái),而如果激光束強(qiáng)度發(fā)生變化,就有可能使光電信號(hào)低于計(jì)數(shù)器的觸發(fā)電平而使計(jì)數(shù)器停止計(jì)數(shù),使激光器強(qiáng)度或干涉信號(hào)強(qiáng)度變化的主要原因是空氣湍流,機(jī)床油霧,切削屑對(duì)光束的影響,結(jié)果光束發(fā)生偏移或波面扭曲。而雙頻激光干涉儀正好克服了這一弱點(diǎn),它是在單頻激光干涉儀的基礎(chǔ)上發(fā)展的一種外差式干涉儀。
基于菲索干涉儀的等厚干涉原理設(shè)計(jì),通過(guò)對(duì)比被測(cè)平面與標(biāo)準(zhǔn)參照鏡的干涉條紋變化,實(shí)現(xiàn)光學(xué)元件表面形狀誤差和材料均勻性的非接觸式測(cè)量 [1] [3-4]。標(biāo)準(zhǔn)參照鏡面形精度通常達(dá)到p-v:λ/20 [3-4]。測(cè)量口徑:Φ60mm(典型型號(hào)) [3-4]對(duì)準(zhǔn)方式:兩點(diǎn)對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng) [3-4]結(jié)構(gòu)特性:小型化設(shè)計(jì)、防塵性能優(yōu)異 [3-4]精度范圍:根據(jù)型號(hào)不同覆蓋1/10-1/100波長(zhǎng)梯度 [11.光學(xué)制造:檢測(cè)平面鏡、棱鏡等光學(xué)元件表面面型2.質(zhì)量檢測(cè):評(píng)估光學(xué)材料均勻性與透鏡波前像差 [1]3.科研實(shí)驗(yàn):實(shí)驗(yàn)室環(huán)境下進(jìn)行精密光學(xué)計(jì)量分析激光干涉儀廣泛應(yīng)用于精密測(cè)量、材料科學(xué)、光學(xué)研究、工程檢測(cè)等領(lǐng)域。蘇州定制雙頻激光干涉儀量大從優(yōu)
它通常用于高精度的位移、振動(dòng)、形變等物理量的測(cè)量。昆山銷售雙頻激光干涉儀單價(jià)
激光干涉儀是一種高精度的測(cè)量工具,以下是對(duì)其的詳細(xì)介紹:一、定義與原理激光干涉儀是以激光波長(zhǎng)為已知長(zhǎng)度,利用邁克爾遜干涉系統(tǒng)測(cè)量位移的通用長(zhǎng)度測(cè)量工具。其工作原理基于干涉原理,即當(dāng)兩束波重疊并結(jié)合時(shí),會(huì)產(chǎn)生新的波形模式。在激光干涉儀中,激光束被分為兩路,一路經(jīng)固定反射鏡反射,另一路經(jīng)可動(dòng)反射鏡反射,兩束光重新匯合時(shí)產(chǎn)生干涉條紋。當(dāng)可動(dòng)反射鏡移動(dòng)時(shí),干涉條紋的光強(qiáng)變化被轉(zhuǎn)換為電信號(hào),進(jìn)而計(jì)算出位移量。昆山銷售雙頻激光干涉儀單價(jià)
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