光源:提供相干光,通常是激光,因為激光具有高度的相干性,能夠產生穩(wěn)定的干涉條紋。分束器:將光束分成兩部分,通常使用半透半反鏡或分光棱鏡。反射鏡:調節(jié)光程差,確保兩束光在干涉屏(或檢測器)上相遇時具有合適的相位差。干涉屏(或檢測器):顯示干涉結果,或將干涉后的光束轉換為電信號進行進一步分析。三、分類干涉儀可以按照不同的分類原則進行分類,常見的分類方法包括:按結構區(qū)分:分為單路徑干涉儀和多路徑干涉儀。單路徑干涉儀中,干涉的波通過同一路徑傳播,如Sagnac干涉儀、等傾干涉和等厚干涉等;而多路徑干涉儀中,干涉的波通過不同的路徑傳播,如邁克爾遜干涉儀。現代的雙頻激光干涉儀測速普遍達到1m/s,有的甚至于十幾m/s,適于高速動態(tài)測量。太倉本地雙頻激光干涉儀性價比
激光干涉儀是一種利用激光干涉原理進行測量的精密儀器。它通過將激光束分成兩部分,分別經過不同的路徑后再合并,形成干涉圖樣,從而可以精確測量光程差、位移、厚度等物理量。激光干涉儀的基本原理可以概括為以下幾個步驟:激光發(fā)射:激光器發(fā)出單色光束。光束分割:通過分束器將激光束分成兩部分,通常稱為參考光束和測量光束。光程傳播:參考光束和測量光束分別經過不同的路徑,可能會經過被測物體或介質。光束合并:兩束光在分束器后重新合并,形成干涉圖樣。太倉耐用雙頻激光干涉儀量大從優(yōu)現代的雙頻激光干涉儀測速普遍達到1m/s,有的甚至達到十幾m/s,適于高速動態(tài)測量。
非接觸式測量:激光干涉儀可以不接觸物體表面就測量其形狀,這對于測量易碎或精細的物體非常有用。多功能性:激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測量工作??垢蓴_能力強:雙頻激光干涉儀對由光強變化引起的直流電平變化不敏感,因此抗干擾能力強。五、注意事項與維護注意事項:儀器應放置在干燥、清潔以及無振動的環(huán)境中應用。在移動儀器時,應托住底座以防止導軌變形。光學零件在不用時,應在清潔干燥的器皿中進行存放以防止發(fā)霉。
機床與加工設備:應用于數控機床、磨床、鏜床、加工中心等設備的定位系統(tǒng)校準及誤差修正,以提升加工精度。集成電路制造:支持半導體光刻技術的工件臺的精密定位。物理實驗:測量位移、速度、加速度等動力學參數。在線監(jiān)測控制:在大規(guī)模集成電路加工設備、精密機床中實現誤差的在線測量,以提升生產穩(wěn)定性。檢測儀器校準:用于線性位移傳感器、角度傳感器、直線度檢測儀等幾何檢測儀器的標定。雙頻激光干涉儀憑借其高精度、強環(huán)境適應力、高實時動態(tài)測速以及廣泛的應用領域,在精密制造、科研創(chuàng)新以及標準化檢測等方面發(fā)揮著關鍵作用。即使不做細分也可達到μm量級,細分后更可達到nm量級。
多普勒效應:當測量鏡移動時,測量光的頻率變?yōu)閒1±Δf,與參考光f2干涉后形成差頻信號|(f1±Δf)-f2|,該信號反映出位移引起的頻率變化。信號檢測:光電探測器將光信號轉為電信號,經電路處理提取差頻變化量,然后通過相位比較或脈沖計數來計算位移。二、主要特點精度高:雙頻激光干涉儀以波長作為標準對被測長度進行度量,即使不做細分也可達到微米(μm)量級,細分后更可達到納米(nm)量級。應用范圍廣:雙頻激光干涉儀可用于長度的精密測量,配上適當的附件還可測量角度、直線度、平面度、振動距離及速度等。雙頻激光干涉儀的基本原理是利用激光的相干性和干涉現象。虎丘區(qū)銷售雙頻激光干涉儀五星服務
法布里-干涉儀:由查爾斯·法布里和阿爾弗雷德·佩羅發(fā)明,主要用于高精度的光譜分析。太倉本地雙頻激光干涉儀性價比
按干涉光來源區(qū)分:分為波前分解干涉儀和幅度分解干涉儀。波前分解干涉儀利用波前上不同位置的子波源形成干涉,如楊氏雙縫干涉;而幅度分解干涉儀則通過界面部分反射等方式將一束入射光分為兩束或多束形成干涉,如斐索干涉儀、邁克爾遜干涉儀和法布里-珀**涉儀等。四、應用干涉儀在多個領域都有廣泛應用,包括但不限于:光學測量:用于測量光波的波長、頻率和相位差。材料科學:用于分析材料的折射率、厚度和表面形貌。生物醫(yī)學:用于顯微鏡成像、生物傳感和醫(yī)學診斷。天文學:用于測量星體的直徑等。太倉本地雙頻激光干涉儀性價比
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