太倉耐用雙頻激光干涉儀哪家強(qiáng)

來源: 發(fā)布時間:2025-07-14

若干涉條紋發(fā)生移動,一定是場點(diǎn)對應(yīng)的光程差發(fā)生了變化,引起光程差變化的原因,可能是光線長度L發(fā)生變化,或是光路中某段介質(zhì)的折射率n發(fā)生了變化,或是薄膜的厚度e發(fā)生了變化。S為點(diǎn)光源,M1(上邊)、M2(右邊)為平面全反射鏡,其中M1是定鏡;M2為動鏡,它和精密螺絲相連,轉(zhuǎn)動鼓輪可以使其向前后方向移動,最小讀數(shù)為10mm,可估計到10mm,。M1和M2后各有3個小螺絲可調(diào)節(jié)其方位。G1(左)為分光鏡,其右表面鍍有半透半反膜,使入射光分成強(qiáng)度相等的兩束(反射光和透射光)。實(shí)時測量:可以實(shí)現(xiàn)實(shí)時監(jiān)測和數(shù)據(jù)采集,適合動態(tài)測量。太倉耐用雙頻激光干涉儀哪家強(qiáng)

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(1)幾何精度檢測 可用于檢測直線度、垂直度、俯仰與偏擺、平面度、平行度等。(2)位置精度的檢測及其自動補(bǔ)償 可檢測數(shù)控機(jī)床定位精度、重復(fù)定位精度、微量位移精度等。利用雷尼紹ML10激光干涉儀不僅能自動測量機(jī)器的誤差,而且還能通過RS232接口自動對其線性誤差進(jìn)行補(bǔ)償,比通常的補(bǔ)償方法節(jié)省了大量時間,并且避免了手工計算和手動數(shù)控鍵入而引起的操作者誤差,同時可比較大限度地選用被測軸上的補(bǔ)償點(diǎn)數(shù),使機(jī)床達(dá)到比較好精度,另外操作者無需具有機(jī)床參數(shù)及補(bǔ)償方法的知識。太倉耐用雙頻激光干涉儀哪家強(qiáng)當(dāng)兩束不同頻率的激光光束經(jīng)過分束器分開后,經(jīng)過被測物體的反射或透射后再合并,形成干涉條紋。

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激光的出現(xiàn)在世界計量史上具有重大的意義。用穩(wěn)頻的氦氖激光器作為光源,由于它的相干長度很大,干涉儀的測量范圍可以**的擴(kuò)展;而且由于它的光束發(fā)散角小,能量集中,因而它產(chǎn)生的干涉條紋可以用光電接收器接收,變?yōu)殡娪嵦?,并由計?shù)器一個不漏的記錄下來,從而提高了測量速度和測量精度,比如說我國自行設(shè)計與制造的以氦氖激光器作為光源的光電光波比長儀,可以在20分鐘之內(nèi)把1米線紋尺上1001條刻線依次自動鑒定完畢,精度達(dá)到±0.2μm,這就是激光干涉儀的成功例證。

基于菲索干涉儀的等厚干涉原理設(shè)計,通過對比被測平面與標(biāo)準(zhǔn)參照鏡的干涉條紋變化,實(shí)現(xiàn)光學(xué)元件表面形狀誤差和材料均勻性的非接觸式測量 [1] [3-4]。標(biāo)準(zhǔn)參照鏡面形精度通常達(dá)到p-v:λ/20 [3-4]。測量口徑:Φ60mm(典型型號) [3-4]對準(zhǔn)方式:兩點(diǎn)對準(zhǔn)系統(tǒng) [3-4]結(jié)構(gòu)特性:小型化設(shè)計、防塵性能優(yōu)異 [3-4]精度范圍:根據(jù)型號不同覆蓋1/10-1/100波長梯度 [11.光學(xué)制造:檢測平面鏡、棱鏡等光學(xué)元件表面面型2.質(zhì)量檢測:評估光學(xué)材料均勻性與透鏡波前像差 [1]3.科研實(shí)驗(yàn):實(shí)驗(yàn)室環(huán)境下進(jìn)行精密光學(xué)計量分析而雙頻激光干涉儀正好克服了這一弱點(diǎn),它是在單頻激光干涉儀的基礎(chǔ)上發(fā)展的一種外差式干涉儀。

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干涉儀是很***的一類實(shí)驗(yàn)技術(shù)的總稱, 其思想在于利用波的疊加性來獲取波的相位信息, 從而獲得實(shí)驗(yàn)所關(guān)心的物理量。干涉儀并不僅*局限于光干涉儀。 干涉儀在天文學(xué) (Thompson et al, 2001) [1], 光學(xué), 工程測量, 海洋學(xué), 地震學(xué), 波譜分析, 量子物理實(shí)驗(yàn), 遙感, 雷達(dá)等等精密測量領(lǐng)域都有廣泛應(yīng)用(Hariharan, 2007) [2]。具有固定相位差的兩列準(zhǔn)單色波的疊加將導(dǎo)致振幅發(fā)生變化, 從而可以通過測量較容易測量的振幅來獲取波的相位信息。兩列具有同頻率波之振動在一點(diǎn)處可以用如下公式描述那么這兩列波疊加以后的波的振動為雙頻激光干涉儀是一種利用兩種不同頻率的激光光源進(jìn)行干涉測量的儀器。吳江區(qū)安裝雙頻激光干涉儀哪家好

和單頻激光干涉儀一樣,雙頻激光干涉儀也是一種以波長作為標(biāo)準(zhǔn)對被測長度進(jìn)行度量的儀器。太倉耐用雙頻激光干涉儀哪家強(qiáng)

(3)數(shù)控轉(zhuǎn)臺分度精度的檢測及其自動補(bǔ)償 現(xiàn)在,利用ML10激光干涉儀加上RX10轉(zhuǎn)臺基準(zhǔn)還能進(jìn)行回轉(zhuǎn)軸的自動測量。它可對任意角度位置,以任意角度間隔進(jìn)行全自動測量,其精度達(dá)±1。新的國際標(biāo)準(zhǔn)已推薦使用該項(xiàng)新技術(shù)。它比傳統(tǒng)用自準(zhǔn)直儀和多面體的方法不僅節(jié)約了大量的測量時間,而且還得到完整的回轉(zhuǎn)軸精度曲線,知曉其精度的每一細(xì)節(jié),并給出按相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)處理的統(tǒng)計結(jié)果。(4)雙軸定位精度的檢測及其自動補(bǔ)償 雷尼紹雙激光干涉儀系統(tǒng)可同步測量大型龍門移動式數(shù)控機(jī)床,由雙伺服驅(qū)動某一軸向運(yùn)動的定位精度,而且還能通過RS232接口,自動對兩軸線性誤差分別進(jìn)行補(bǔ)償。太倉耐用雙頻激光干涉儀哪家強(qiáng)

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