涂膠顯影機(jī)(track)是一種用于半導(dǎo)體制造過(guò)程中光刻工藝的關(guān)鍵設(shè)備。以下是對(duì)涂膠顯影機(jī)的詳細(xì)介紹:一、工作原理涂膠顯影機(jī)的工作原理主要涉及到硅片的光刻膠涂覆和顯影過(guò)程。首先,將硅片放置在涂覆模塊下方,通過(guò)涂覆模塊將光刻膠均勻涂覆在硅片表面。然后,將硅片轉(zhuǎn)移到曝光模塊下方,利用光刻技術(shù)將圖案投射到光刻膠表面。曝光后,再將硅片轉(zhuǎn)移到顯影模塊下方,通過(guò)顯影模塊將未曝光區(qū)域的光刻膠去除,從而在硅片上形成所需的圖案結(jié)構(gòu)。二、主要功能涂膠顯影機(jī)(track)是一種用于半導(dǎo)體制造過(guò)程中光刻工藝的關(guān)鍵設(shè)備。惠山區(qū)優(yōu)勢(shì)涂膠顯影機(jī)量大從優(yōu)
單組份跳動(dòng)式顯影單組份跳動(dòng)式顯影在單組份顯影系統(tǒng),墨粉通過(guò)與顯影套筒摩擦進(jìn)行充電,并在通過(guò)磁穗刮板時(shí)被充電,通過(guò)磁穗刮板后,墨粉在顯影套筒上形成均勻的一層。當(dāng)墨粉層到達(dá)顯影套筒距感光鼓**近的地方時(shí),墨粉在磁極的電場(chǎng)作用下在感光鼓和顯影套筒之間移動(dòng)。然后,當(dāng)顯影套筒旋轉(zhuǎn)通過(guò)距離感光鼓**近的地方時(shí),由于顯影偏壓和感光鼓表面之間的電壓差,墨粉被吸附到已曝光過(guò)的感光鼓表面,進(jìn)行顯影。另一方面,在未曝光過(guò)的感光鼓表面,墨粉被顯影套筒吸引而不進(jìn)行顯影。當(dāng)墨粉到達(dá)感光鼓和顯影套筒很大的區(qū)域時(shí),由于電場(chǎng)消失,墨粉將被吸附在顯影套筒上。這樣顯影過(guò)程就完成了。 [2]惠山區(qū)優(yōu)勢(shì)涂膠顯影機(jī)量大從優(yōu)用手感覺水壓,有力,保證水洗充分。
沖洗系統(tǒng)沖洗系統(tǒng)主要是由兩組噴淋管向版面正反面噴淋清水,以除去附著在版面上的顯影生成物和多余的顯影液,并通過(guò)擠壓輥擠去版面上的水分;同時(shí)具備二次水洗功能。涂膠系統(tǒng)涂膠系統(tǒng)主要功能是在顯影后的版面上涂上一層均勻的保護(hù)膠。干燥系統(tǒng)干燥系統(tǒng)由送風(fēng)管和膠輥組成,通過(guò)吹風(fēng)和加熱使印版迅速干燥,***將印版送出。顯影液配置顯影液配置需參考顯影液說(shuō)明書和印版說(shuō)明書,一般推薦使用印版廠家配送的顯影藥液,配置出的顯影液必須保證不同厚度版材的顯影寬容度。
該機(jī)器人在正常維護(hù)下至少運(yùn)行十年。隨著大批量全自動(dòng)化涂膠生產(chǎn)線的興起,此涂膠系統(tǒng)將具有更加***的市場(chǎng)前景和發(fā)展?jié)摿Γ‖F(xiàn)場(chǎng)設(shè)備及涂膠效果:涂膠效果內(nèi)容寫得非常不錯(cuò),但在涂膠機(jī)器人做得不錯(cuò)的廠家還是不很多,專業(yè)更少. 有待這方面繼續(xù)改進(jìn). 涂膠機(jī)不再是簡(jiǎn)單地完成表面的涂裝,更注重產(chǎn)品外表的美觀以及實(shí)現(xiàn)人工無(wú)實(shí)現(xiàn)涂膠位置.期待著有更好的文章出現(xiàn)噢.天豪點(diǎn)膠期待和大家的合作和創(chuàng)新.讓我們共同實(shí)現(xiàn)涂膠機(jī)器人的完美夢(mèng)想,服務(wù)于現(xiàn)代化生產(chǎn)工藝,也希望涂膠效果越來(lái)越好。機(jī)器人涂膠系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于汽車領(lǐng)域,圖5是門蓋涂膠的發(fā)那科機(jī)器人系統(tǒng)。為了保證顯影液在恒定條件下工作,此部分還有加熱器和冷卻器,可自動(dòng)調(diào)節(jié)溫度(一般控制在25℃左右)。
反轉(zhuǎn)顯影中,感光鼓與色粉電荷極性相同。顯影時(shí),通過(guò)感光鼓和顯影輥之間的電場(chǎng)作用,碳粉被吸到感光鼓曝光區(qū)域。其中曝光部位電位低于顯影輥表面電位低于感光鼓未曝光部位電位。多用在數(shù)碼復(fù)合機(jī)與激光打印機(jī)中。復(fù)印機(jī)按顯影方式來(lái)分的話,可以分為雙組份磁刷式顯影與單組份跳動(dòng)式顯影兩種。雙組份磁刷式顯影結(jié)構(gòu):雙組份磁刷式顯影方式的復(fù)印機(jī)的顯影器結(jié)構(gòu)中,1)載體(顯影劑):雙組份磁刷式顯影方式中**重要的一個(gè)元件就是載體,事實(shí)上載體是配件,并非通常人們所理解的消耗材料,因?yàn)樗跈C(jī)器運(yùn)行的過(guò)程中不產(chǎn)生消耗,只會(huì)因?yàn)橛〉枚嗔?,逐漸疲勞而壽命終結(jié)。載體是由鐵粉與碳粉按一定比例混合而成的,混合使碳粉和載體之間產(chǎn)生摩擦,從而碳粉帶有負(fù)極性,載體帶有正極性。自動(dòng)化程度高:可以與光刻機(jī)聯(lián)機(jī)作業(yè),滿足工廠自動(dòng)化生產(chǎn)的需求。錫山區(qū)國(guó)產(chǎn)涂膠顯影機(jī)廠家現(xiàn)貨
顯影/水洗、水洗/涂膠、涂膠/烘干,版每次從兩膠輥出來(lái)都是干凈的?;萆絽^(qū)優(yōu)勢(shì)涂膠顯影機(jī)量大從優(yōu)
進(jìn)行顯影的方式有很多種,***使用的方法是噴灑方法。這種顯影方式可以分為三個(gè)階段:硅片被置于旋轉(zhuǎn)臺(tái) [2]上,并且在硅片表面上噴灑顯影液;然后硅片將在靜止的狀態(tài)下進(jìn)行顯影;顯影完成后,需要經(jīng)過(guò)漂洗,之后再烘干。顯影后留下的光刻膠圖形將在后續(xù)的刻蝕和離子注入工藝中作為掩模,因此,顯影是一步重要的工藝。嚴(yán)格的說(shuō),在顯影時(shí)曝光區(qū)和非曝光區(qū)的光刻膠都有不同程度的溶解。曝光區(qū)與非曝光區(qū)的光刻膠溶解速度反差越大,顯影后得到的圖形對(duì)比度越高?;萆絽^(qū)優(yōu)勢(shì)涂膠顯影機(jī)量大從優(yōu)
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