微加工超精密蝕刻

微泰，采用先進(jìn)的飛秒激光的高速螺旋鉆削自主技術(shù)，進(jìn)行產(chǎn)業(yè)所需的各種形狀的微孔加工，MIN可做到5微米的微孔，公差可做到±2微米，孔距可做到0.3微米。還可以進(jìn)行MAX10度角的倒錐孔和各種幾何形狀的微孔，飛秒激光利用相對(duì)較短的激光脈沖，熱損傷很小，加工對(duì)象沒(méi)有物性變形層，表面平整，實(shí)現(xiàn)超精密微孔加工。微泰，利用飛秒激光螺旋鉆孔系統(tǒng)和獨(dú)有ELID（電解在線(xiàn)砂輪修正技術(shù)），飛秒激光拋光技術(shù)，生產(chǎn)各種超精密零部件。四百四十毫米平面方板，平坦度可以做到5微米以下，表面粗糙度RA達(dá)0.1微米以下，可以鉆5微米的孔，圓度可以達(dá)到95%以上，可以加工不同形狀和尺寸的微孔?？梢约庸ざ喾N材料，包括PCD、PCBN、陶瓷、硬質(zhì)合金、不銹鋼、熱處理鋼、鉬，我們專(zhuān)注于生產(chǎn)需要高難度、高公叉和高幾何公叉的產(chǎn)品，并以30年的磨削技術(shù)、成型技術(shù)、鉆孔技術(shù)和激光技術(shù)為后盾，解決客戶(hù)的難題，力求客戶(hù)滿(mǎn)意。有問(wèn)題請(qǐng)聯(lián)系由于精度高的緣故，超精密加工常應(yīng)用在光學(xué)元件。也會(huì)應(yīng)用在機(jī)械工業(yè)。微加工超精密蝕刻

微泰，精湛的超精密加工技術(shù)，可達(dá)到微米級(jí)加工，充分考慮材料的特殊性加工超平整零件，平整度公差小于3um零件精密加工的關(guān)鍵在于確保高水平的精度和質(zhì)量，并確保與既定尺寸的偏差小實(shí)現(xiàn)。精密加工的半導(dǎo)體晶圓真空卡盤(pán)的平面度公差不超過(guò)3μm，并通過(guò)三維接觸測(cè)量?jī)x進(jìn)行全數(shù)檢查和系統(tǒng)質(zhì)量的管材，為全球客戶(hù)提供精密加工。鋁（AL5052、AL6061、AL7075）、不銹鋼（SUS304、SUS316、SUS630）。銅、鎢、鈦和蒙奈爾合金（MONEL）。處理聚醚醚酮(PEEK)、聚甲醛(POM)和聚酰亞胺(PI)等材料，需要精密加工。使用高難度材料，如無(wú)氧高導(dǎo)銅(OFHC)制造半導(dǎo)體精密零件。韓國(guó)技術(shù)超精密異形孔超精密加工是指在維持精細(xì)公差，并于工件上去除材料、精加工等過(guò)程。

精密和超精密磨削精密、超精密加工發(fā)展初期，磨削這種加工方法是被忽略的，因?yàn)樯拜喼心チＧ邢魅懈叨妊貜较蚍植嫉碾S機(jī)性和磨損的不規(guī)則性限制了磨削加工精度的提高。隨著超硬磨料砂輪及砂輪修整技術(shù)的發(fā)展，精密、超精密磨削技術(shù)逐漸成形并迅速發(fā)展。金屬結(jié)合劑超硬磨料砂輪硬度高、強(qiáng)度大、保形能力強(qiáng)、耐磨性好，往往為精密和超精密磨削、成形磨削所采用。多層金屬結(jié)合劑超硬砂輪在實(shí)際使用過(guò)程中遇到的突出問(wèn)題是：磨料把持力低、易脫落;磨粒出刃難、出刃后出刃高度難以保持;磨料分布隨機(jī)性強(qiáng)。針對(duì)磨粒把持力弱的問(wèn)題，在磨粒表面鍍上活性金屬，通過(guò)活性金屬與磨料和結(jié)合劑的化學(xué)反應(yīng)與擴(kuò)散作用，提高結(jié)合劑對(duì)磨料的把持力，如此誕生了鍍衣砂輪。為解決磨粒出刃難的問(wèn)題，引入孔隙結(jié)構(gòu)誕生了多孔金屬結(jié)合劑砂輪。電鍍、高溫釬焊砂輪對(duì)上述三個(gè)方面都有改善，這些新型超硬磨料砂輪均出現(xiàn)于20世紀(jì)90年代。

微泰利用自主技術(shù)，飛秒激光螺旋鉆孔系統(tǒng)和獨(dú)有ELID（電解在線(xiàn)砂輪修正技術(shù)），飛秒激光拋光技術(shù)，飛秒激光切割技術(shù)，生產(chǎn)各種超精密零部件。測(cè)包機(jī)分度盤(pán)（INDEXTABLE）在MLCC編帶工藝中使用的測(cè)包機(jī)分度盤(pán)生產(chǎn)取得了成功。測(cè)包機(jī)分度盤(pán)在通過(guò)拋光加工形成袋子時(shí)限制了袋子尺寸。經(jīng)過(guò)多年的發(fā)展，微泰發(fā)展出一種沒(méi)有口袋大小限制的生產(chǎn)方式，可以生產(chǎn)比目前的0201更小的分度盤(pán)。微泰MLCC測(cè)包機(jī)分度盤(pán)為客戶(hù)提供了高質(zhì)量的高穩(wěn)定性和超精密分度盤(pán)。適合多種規(guī)格尺寸的MLCC分度盤(pán)，0201型/0402型/0603型/1005型/1608型分度盤(pán)（黑氧化鋯），尺寸小于0201的分度盤(pán)(黑氧化鋯),環(huán)氧玻璃分度盤(pán)。微泰分度盤(pán)特點(diǎn)：1，保證口袋均勻性、高精度，沒(méi)有口袋形狀的限制。2，MLCC在所有口袋中都具有同等性能·采用黑色氧化鋯（密度6.05g/cm2）壽命長(zhǎng)（抗蛀牙）。3，與競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手相比，交貨速度快/價(jià)格低/質(zhì)量好。5，使用微泰分度盤(pán)測(cè)包機(jī)速度可提升一倍。超精密激光加工屬于非接觸加工，不會(huì)對(duì)材料造成機(jī)械擠壓或應(yīng)力。熱影響區(qū)和變形很小，能加工微小的零部件。

專(zhuān)門(mén)從事 K 半導(dǎo)體材料和零件!  微泰，專(zhuān)業(yè)制造半導(dǎo)體設(shè)備中的精密元件，包括半導(dǎo)體晶圓真空卡盤(pán)、半導(dǎo)體孔卡盤(pán)和半導(dǎo)體流量計(jì)，并在自己的研發(fā)技術(shù)實(shí)驗(yàn)室?guī)椭岣弋a(chǎn)品質(zhì)量和技術(shù)開(kāi)發(fā)。 積極參與公司和國(guó)家研究支持項(xiàng)目，幫助實(shí)現(xiàn)零件本地化，并建立了系統(tǒng)的質(zhì)量控制和檢測(cè)系統(tǒng)，以及戰(zhàn)略性集成的制造基礎(chǔ)設(shè)施。我們?yōu)榭蛻?hù)快速提供品質(zhì)好、有競(jìng)爭(zhēng)力的產(chǎn)品。與零件和設(shè)備制造商建立了有機(jī)合作關(guān)系，從產(chǎn)品開(kāi)發(fā)的早期階段開(kāi)始，通過(guò)共同參與縮短了工藝流程，生產(chǎn)出具有高耐用性和高穩(wěn)定性的產(chǎn)品。美國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備制造業(yè)是世界上的半導(dǎo)體市場(chǎng)。 出口到跨國(guó)公司，包括排名前位的公司。 從而以?xún)?yōu)化的成本降低了生產(chǎn)成本，在零件設(shè)計(jì)、直接加工和裝配過(guò)程中提高了質(zhì)量。持續(xù)發(fā)展客戶(hù)所需的半導(dǎo)體精密元件的關(guān)鍵技術(shù)開(kāi)發(fā)能力，微泰，為客戶(hù)成功做出貢獻(xiàn)。我們將盡極大努力創(chuàng)造新的商業(yè)機(jī)會(huì)。精密制造技術(shù)、客戶(hù)滿(mǎn)意的產(chǎn)品和創(chuàng)新的未來(lái)價(jià)值。從加工周期來(lái)看，激光超精密加工操作簡(jiǎn)單，切縫寬度方便調(diào)控，可立即進(jìn)行高速雕刻和切割、加工速度快。半導(dǎo)體超精密COF Bonding Tool

超精密激光切割集切割、雕刻、鏤空等工藝于一身，可以滿(mǎn)足各類(lèi)材料的切割打孔，以及其他工藝需求。微加工超精密蝕刻

現(xiàn)有物理打磨技術(shù),接觸式加工,磨損基石，需要切削油,加工后需要清洗，異形件打磨和局部打磨有難度。納秒激光打磨有以下問(wèn)題：產(chǎn)生細(xì)微裂紋，熔化-再凝固產(chǎn)生熱變形，表面物性發(fā)生變化，周?chē)鷷?huì)產(chǎn)生多個(gè)顆粒。飛秒激光打磨：改善現(xiàn)有打磨技術(shù)的問(wèn)題-熱影響極小，可以局部打磨，異形件打磨，不需要化學(xué)藥劑-細(xì)微裂紋極少化表面物理特性變化少，在不改變物性值的情況下，提高表面粗糙度。高功率激光打磨：測(cè)量高度→獲取高度數(shù)據(jù)→轉(zhuǎn)換成面數(shù)據(jù)→去除表面凸起中等功率，利用中等功率激光可以刻畫(huà)低功率時(shí)具有，清洗效果；拋光效果（也有去除微孔邊緣毛刺的效果）拋光后，[AOI（自動(dòng)光學(xué)檢查）]對(duì)孔不良進(jìn)行檢測(cè)（手動(dòng)或自動(dòng)）（光學(xué)相機(jī)掃描儀）材料的邊緣測(cè)量和修正材料位置誤差。非常適合異形件打磨、拋光。局部打磨拋光。微加工超精密蝕刻