1.5. 系統(tǒng)培訓的注意事項
如何使用電子書閱讀軟件和軟、硬件的操作手冊；
數(shù)據(jù)采集功能的講解：通訊端口、連接計算器、等待時間等參數(shù)的解釋和參數(shù)設(shè)置；
實際演示一一講解；
如何做好備份和恢復備份資料；
當場演示各種報表的操作并進行操作解說；
數(shù)據(jù)庫文件應定時作備份，大變動時更應做好備份以防止系統(tǒng)重新安裝時造成資料數(shù)據(jù)庫的流失；
在系統(tǒng)培訓過程中如要輸入一些臨時數(shù)據(jù)應在培訓結(jié)束后及時刪除這些資料。
備注：系統(tǒng)培訓完成后應請顧客詳細閱讀軟件操作手冊，并留下公司“客戶服務(wù)中心”的電話與個人名片，以方便顧客電話聯(lián)系咨詢。 支持連接MES系統(tǒng)，數(shù)據(jù)可導入SPC。山東輪廓儀國內(nèi)代理
NanoX-8000 系統(tǒng)主要性能
? 菜單式系統(tǒng)設(shè)置，一鍵式操作，自動數(shù)據(jù)存儲
? 一鍵式系統(tǒng)校準
? 支持連接MES系統(tǒng)，數(shù)據(jù)可導入SPC
? 具備異常報警，急停等功能，報警信息可儲存
? MTBF ≥ 1500 hrs
? 產(chǎn)能 : 45s/點 （移動 + 聚焦 + 測量）（掃描范圍 50um）
? 具備 Global alignment & Unit alignment
? 自動聚焦范圍 ： ± 0.3mm
? XY運動速度 最快
表面三維微觀形貌測量的意義
在生產(chǎn)中，表面三維微觀形貌對工程零件的許多技術(shù)性能的評家具有最直接的影響，而且表面三維評定參數(shù)由于能更全 面，更真實的反應零件表面的特征及衡量表面的質(zhì)量而越來越受到重視，因此表面三維微觀形貌的測量就越顯重要。通過兌三維形貌的測量可以比較全 面的評定表面質(zhì)量的優(yōu)劣，進而確認加工方法的好壞以及設(shè)計要求的合理性，這樣就可以反過來通過知道加工，優(yōu)化加工工藝以及加工出高質(zhì)量的表面，確保零件使用功能的實現(xiàn)。
表面三位微觀形貌的此類昂方法非常豐富，通?？煞譃榻佑|時和非接觸時兩種，其中以非接觸式測量方法為主。
臺式輪廓儀有誰在用輪廓儀在晶圓的IC封裝中的應用。
輪廓儀的主要客戶群體
300mm集成電路技術(shù)封裝生產(chǎn)線檢測
集成電路工藝技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化
國家重點實驗室
高 效太陽能電池技術(shù)研發(fā)、產(chǎn)業(yè)化
MEMS技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化
新型顯示技術(shù)研發(fā)、產(chǎn)業(yè)化
超高精密表面工程技術(shù)
輪廓儀是一種兩坐標測量儀器，儀器傳感器相對被測工件表而作勻速滑行，傳感器的觸針感受到被測表而的幾何變化，在X和Z方向分別采樣，并轉(zhuǎn)換成電信號，該電信號經(jīng)放大和處理，再轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號儲存在計算機系統(tǒng)的存儲器中，計算機對原始表而輪廓進行數(shù)字濾波，分離掉表而粗糙度成分后再進行計算，測量結(jié)果為計算出的符介某種曲線的實際值及其離基準點的坐標，或放大的實際輪廓曲線，測量結(jié)果通過顯示器輸出，也可由打印機輸出。（來自網(wǎng)絡(luò)）
我們應該如何正確使用輪廓儀？
一、準備工作
1.測量前準備。
2.開啟電腦、打開機器電源開關(guān)、檢查機器啟動是否正常。
3.擦凈工件被測表面。
二、測量
1.將測針正確、平穩(wěn)、可靠地移動在工件被測表面上。
2.工件固定確認工件不會出現(xiàn)松動或者其它因素導致測針與工件相撞的情況出現(xiàn)
3.在儀器上設(shè)置所需的測量條件。
4.開始測量。測量過程中不可觸摸工件更不可人為震動桌子的情況產(chǎn)生。
5.測量完畢，根據(jù)圖紙對結(jié)果進行分析，標出結(jié)果，并保存、打印。
LED光源通過多針 孔盤（MPD）和物鏡聚焦到樣品表面上，從而反射光。
1.3. 培訓計劃
在完成系統(tǒng)布線并開始設(shè)備安裝后，即向甲方和業(yè)主介紹整個系統(tǒng)的概況及性能、特點、設(shè)備布置情況和相互之間的關(guān)系等，讓甲方和業(yè)主對整個系統(tǒng)有一個全 面的認識。
在整個系統(tǒng)驗收前后，安排有關(guān)人員在進行培訓。
1.4. 培訓形式
公司指派技術(shù)人員向相關(guān)人員講解系統(tǒng)的原理、功能、操作及維修保養(yǎng)要點；
向受訓學員提供和解釋有關(guān)設(shè)計文件及圖紙等資料，使學員對系統(tǒng)的各個方面都能熟練掌握；
針對系統(tǒng)的具體操作一一指導，使相關(guān)人員掌握技術(shù)要領(lǐng)；
對學員提出的問題進行詳細解答；
表面形貌（粗糙度，平面度，平行度，臺階高度，錐角等）。NanoScopy輪廓儀出廠價
由于光罩中電路結(jié)構(gòu)尺寸極小，任何微小的黏附異物和下次均會導致制造的晶圓IC表面存在缺 陷。山東輪廓儀國內(nèi)代理
輪廓儀的性能
測量模式
移相干涉（PSI），白光垂直掃描干涉（VSI），單色光垂直掃描干涉（CSI）
樣 品 臺
150mm/200mm/300mm 樣品臺（可選配）
XY 平移：±25mm/150mm/200mm/300mm，傾斜：±5°
可選手動/電動樣品臺
CCD 相機像素
標配：1280×960
視場范圍
560×750um（10×物鏡）
具體視場范圍取決于所配物鏡及 CCD 相機
光學系統(tǒng)
同軸照明無限遠干涉成像系統(tǒng)
光 源
高 效 LED
Z 方向聚焦 80mm 手動聚焦（可選電動聚焦）
Z 方向掃描范圍 精密 PZT 掃描(可選擇高精密機械掃描，拓展達 10mm )
縱向分辨率 ＜0.1nm
RMS 重復性* 0.005nm，1σ
臺階測量** 準確度 ≤0.75％；重復性 ≤0.1%，1σ
橫向分辨率 ≥0.35um（100 倍物鏡）
檢測速度 ≤ 35um/sec , 與所選的 CCD 山東輪廓儀國內(nèi)代理
岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司致力于儀器儀表，是一家其他型的公司。公司自成立以來，以質(zhì)量為發(fā)展，讓匠心彌散在每個細節(jié)，公司旗下磁記錄，半導體，光通訊生產(chǎn)，測試儀器的批發(fā)深受客戶的喜愛。公司注重以質(zhì)量為中心，以服務(wù)為理念，秉持誠信為本的理念，打造儀器儀表良好品牌。岱美儀器技術(shù)服務(wù)秉承“客戶為尊、服務(wù)為榮、創(chuàng)意為先、技術(shù)為實”的經(jīng)營理念，全力打造公司的重點競爭力。