EVG ® 510 HE是EVG500系列的熱壓印系統(tǒng)
EV Group的一系列高精度熱壓印系統(tǒng)基于該公司市場**的晶圓鍵合技術(shù)。出色的壓力和溫度控制以及大面積的均勻性可實現(xiàn)高精度的壓印。熱壓印是一種經(jīng)濟高
效且靈活的制造技術(shù)，對于尺寸低至50 nm的特征，其復制精度非常高。該系統(tǒng)非常適合將復雜的微結(jié)構(gòu)和納米結(jié)構(gòu)以及高縱橫比的特征壓印到各種聚合物基材或旋涂聚合物中。壓模與基板對準的組合可將熱壓紋與預處理的基板結(jié)構(gòu)對準。這個系列包含的型號有：EVG®510HE，EVG®520HE。 EVG先進的多用戶概念可以適應從初學者到**級別的所有需求，因此使其成為大學和研發(fā)應用程序的理想選擇。EVG7200納米壓印三維芯片應用
SmartNIL是行業(yè)**的NIL技術(shù)，可對小于40 nm *的極小特征進行圖案化，并可以對各種結(jié)構(gòu)尺寸和形狀進行圖案化。SmartNIL與多用途軟戳技術(shù)相結(jié)合，可實現(xiàn)****的吞吐量，并具有顯著的擁有成本優(yōu)勢，同時保留了可擴展性和易于維護的操作。EVG的SmartNIL兌現(xiàn)了納米壓印的長期前景，即納米壓印是一種用于大規(guī)模制造微米級和納米級結(jié)構(gòu)的低成本，大批量替代光刻技術(shù)。
*分辨率取決于過程和模板
如果需要詳細的信息，請聯(lián)系我們岱美儀器技術(shù)服務有限公司。 官方納米壓印質(zhì)量怎么樣分步重復刻印通常用于高 效地制造晶圓級光學器件制造或EVG的Smart NIL工藝所需的母版。
EVG ® 7200 LA特征：
專有SmartNIL ®技術(shù)，提供了****的印跡形大面積
經(jīng)過驗證的技術(shù)，具有出色的復制保真度和均勻性
多次使用的聚合物工作印模技術(shù)可延長母版使用壽命并節(jié)省大量成本
強大且精確可控的處理
與所有市售的壓印材料兼容
EVG ® 7200 LA技術(shù)數(shù)據(jù)：
晶圓直徑（基板尺寸）：直徑200毫米（比較大Gen3）（550 x 650毫米）
解析度：40 nm-10 μm（分辨率取決于模板和工藝）
支持流程：SmartNIL ®
曝光源：大功率窄帶（> 400 mW /cm2）
對準：可選的光學對準：≤±15 μm
自動分離：支持的
迷你環(huán)境和氣候控制：可選的
工作印章制作：支持的
NIL300mmEV集團企業(yè)技術(shù)開發(fā)和知識產(chǎn)權(quán)總監(jiān)MarkusWimplinger表示：“EVG的NILPhotonics能力中心成立于2014年，為光刻/納米壓印技術(shù)供應鏈中的各個合作伙伴和公司與EVG合作提供了一個開放式的創(chuàng)新孵化器，從而縮短創(chuàng)新光子器件和應用的開發(fā)周期和上市時間。我們很高興與肖特公司合作，證明EVG光刻/納米壓印技術(shù)解決方案的價值，不僅有助于新技術(shù)和新工藝的開發(fā)，還能夠加速新技術(shù)和新工藝在大眾市場中的采用。我們正在攜手肖特開展的工作，彰顯了光刻/納米壓印技術(shù)設備和工藝的成熟性，為各種令人興奮的基于光子學的新產(chǎn)品和新應用的300-mm制造奠定了基礎?！盨CHOTTRealView?高折射率玻璃晶圓是**AR/MR設備的關鍵組件，已經(jīng)實現(xiàn)了批量生產(chǎn)。產(chǎn)品組合提供了高達，支持深度沉浸的AR/MR應用，視野更廣，高達65度。在與增強現(xiàn)實硬件制造商進行多年研發(fā)之后，肖特在2018年推出了***代SCHOTTRealView?。這款**產(chǎn)品在上市一年后便榮獲了享有盛譽的2019年SID顯示行業(yè)獎（SIDDisplayIndustryAward2019）。關于肖特肖特是特種玻璃、微晶玻璃和相關高科技材料領域的**國際技術(shù)集團。公司積累了超過130年的經(jīng)驗，是眾多行業(yè)的創(chuàng)新合作伙伴。EVG的SmartNIL技術(shù)是基于紫外線曝光的全場壓印技術(shù)，可提供功能強大的下一代光刻技術(shù)。
EVG ® 610 紫外線納米壓印光刻系統(tǒng)
具有紫外線納米壓印功能的通用研發(fā)掩膜對準系統(tǒng)，從碎片到比較大150毫米。
該工具支持多種標準光刻工藝，例如真空，軟，硬和接近曝光模式，并且可以選擇背面對準。此外，該系統(tǒng)還為多功能配置提供了附加功能，包括鍵對準和納米壓印光刻（NIL）。EVG610提供快速的處理和重新安裝工具，以改變用戶需求，光刻和NIL之間的轉(zhuǎn)換時間*為幾分鐘。其先進的多用戶概念可以適應從初學者到**級別的所有需求，因此使其成為大學和研發(fā)應用程序的理想選擇。
EVG?720/EVG?7200/EVG?7200LA是自動化的全場域納米壓印解決方案，適用于第3代基材。半導體納米壓印供應商家
NIL已被證明是在大面積上實現(xiàn)納米級圖案的相當有成本效益的方法。EVG7200納米壓印三維芯片應用
儀器儀表行業(yè)已經(jīng)連續(xù)多年保持了經(jīng)濟高位運行的態(tài)勢。即使當全球受金融風暴的影響，各個行業(yè)經(jīng)濟東圃有所放緩，但從全景發(fā)展情況看來，儀表行業(yè)的增長速度并沒有放緩。在計算機和互聯(lián)網(wǎng)的急速發(fā)展到整個世界的背景下，儀器儀表也開始向網(wǎng)絡化突進，結(jié)合新的科技設備，通過廣域網(wǎng)和局域網(wǎng)直接操控儀器儀表，對公司的管理，經(jīng)營一體化，應用模式的分析等各大方面產(chǎn)生影響。有限責任公司企業(yè)通過網(wǎng)絡這個平臺與客戶直接的交流，突破了世界和空間的限制，行家遠程操控對儀器儀表進行維護和分析。高科技的產(chǎn)品也隨之而來。磁記錄，半導體，光通訊生產(chǎn)，測試儀器的批發(fā)產(chǎn)業(yè)是國民經(jīng)濟的基礎性、戰(zhàn)略性產(chǎn)業(yè)，是信息化和工業(yè)化深度融合的源頭，對促進工業(yè)轉(zhuǎn)型升級、發(fā)展戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)、推動現(xiàn)代**建設、保證和提高大家生活水平具有重要作用。我們必須承認，在科學儀器上，我們跟其他地區(qū)相比，還有很大的差距。這個差距，就是我們提升的空間。合相關部門、大學和企業(yè)之力，中國的其他型必將在不遠的將來，在相關領域的基礎研究和重點光學部件研發(fā)上取得突破，產(chǎn)品進入世界中**水平，企業(yè)得到臺階式上升，迎頭趕上，與全球出名企業(yè)并駕齊驅(qū)。EVG7200納米壓印三維芯片應用
岱美儀器技術(shù)服務（上海）有限公司主要經(jīng)營范圍是儀器儀表，擁有一支專業(yè)技術(shù)團隊和良好的市場口碑。公司業(yè)務分為磁記錄，半導體，光通訊生產(chǎn)，測試儀器的批發(fā)等，目前不斷進行創(chuàng)新和服務改進，為客戶提供良好的產(chǎn)品和服務。公司從事儀器儀表多年，有著創(chuàng)新的設計、強大的技術(shù)，還有一批**的專業(yè)化的隊伍，確保為客戶提供良好的產(chǎn)品及服務。岱美儀器技術(shù)服務秉承“客戶為尊、服務為榮、創(chuàng)意為先、技術(shù)為實”的經(jīng)營理念，全力打造公司的重點競爭力。