HERCULES ® NIL特征:
全自動UV-NIL壓印和低力剝離
最多300毫米的基材
完全模塊化的平臺,具有多達八個可交換過程模塊(壓印和預處理)
200毫米/ 300毫米橋接工具能力
全區(qū)域烙印覆蓋
批量生產(chǎn)最小40 nm或更小的結構
支持各種結構尺寸和形狀,包括3D
適用于高地形(粗糙)表面
*分辨率取決于過程和模板
HERCULES ® NIL技術數(shù)據(jù):
晶圓直徑(基板尺寸):100至200毫米/ 200和300毫米
解析度:≤40 nm(分辨率取決于模板和工藝)
支持流程:SmartNIL ®
曝光源:大功率LED(i線)> 400 mW /cm2
對準:≤±3微米
自動分離:支持的
前處理:提供所有預處理模塊
迷你環(huán)境和氣候控制:可選的
工作印章制作:支持的
納米壓印設備可用來進行熱壓花、加壓加熱、印章、聚合物、基板、附加沖壓成型脫模。連續(xù)納米壓印有哪些應用
IQ Aligner®:用于晶圓級透鏡成型和堆疊的高精度UV壓印系統(tǒng)
■用于光學元件的微成型應用
■用于全場納米壓印應用
■三個獨立控制的Z軸,用于控制壓印光刻膠的總厚度變化(TTV),并在壓模和基材之間實現(xiàn)出色的楔形補償
■粘合對準和紫外線粘合功能
紫外線壓印_紫外線固化
印章
防紫外線基材
附加印記壓印納米結構分離印記
用紫外線可固化的光刻膠旋涂或滴涂基材。隨后,將壓模壓入光刻膠并在仍然接觸的情況下通過UV光交聯(lián)。
μ-接觸印刷
軟印章
基板上的材料
領取物料,物料轉移,刪除印章
中芯國際納米壓印可以試用嗎納米壓印設備哪個好?預墨印章可用于將材料以明顯的圖案轉移到基材上。
EV集團和肖特攜手合作,證明300-MM光刻/納米壓印技術在大體積增強現(xiàn)實/混合現(xiàn)實玻璃制造中已就緒聯(lián)合工作將在EVG的NILPhotonics?能力中心開展,這是一個開放式的光刻/納米壓?。∟IL)技術創(chuàng)新孵化器,同時也是全球唯 一可及的300-mm光刻/納米壓印技術線2019年8月28日,奧地利,圣弗洛里安――微機電系統(tǒng)(MEMS)、納米技術和半導體市場晶圓鍵合與光刻設備領先供應商EV集團(EVG)今 日宣布,與特種玻璃和微晶玻璃領域的世界領 先技術集團肖特攜手合作,證明300-mm(12英寸)光刻/納米壓?。∟IL)技術在下一代增強現(xiàn)實/混合現(xiàn)實(AR/MR)頭戴顯示設備的波導/光導制造中使用的高折射率(HRI)玻璃晶圓的大體積圖案成形已就緒。此次合作涉及EVG的專有SmartNIL?工藝和SCHOTTRealView?高折射率玻璃晶圓,將在EVG位于奧地利總部的NILPhotonics?能力中心進行。肖特將于9月4日至7日在深圳會展中心舉行的中國國際光電博覽會上展示一款采用EVGSmartNIL技術進行圖案成形的300-mmSCHOTTRealView?玻璃晶圓。300-mm和200-mmSCHOTTRealView?玻璃基板,裝配在應用SmartNIL?UV-NIL技術的EVG?HERCULES?。
EVG ® 6200 NT特征:
頂部和底部對準能力
高精度對準臺
自動楔形補償序列
電動和程序控制的曝光間隙
支持最 新的UV-LED技術
最小化系統(tǒng)占地面積和設施要求
分步流程指導
遠程技術支持
多用戶概念(無限數(shù)量的用戶帳戶和程序,可分配的訪問權限,不同的用戶界面語言)
敏捷處理和轉換工具
臺式或帶防震花崗巖臺的單機版
EVG ® 6200 NT附加功能:
鍵對準
紅外對準
智能NIL ®
μ接觸印刷技術數(shù)據(jù)
晶圓直徑(基板尺寸)
標準光刻:75至200 mm
柔軟的UV-NIL:75至200毫米
SmartNIL ®:最多至150mm
解析度:≤40 nm(分辨率取決于模板和工藝)
支持流程:軟UV-NIL&SmartNIL
®
曝光源:汞光源或紫外線LED光源
對準:軟NIL:≤±0.5 μm;SmartNIL ®:≤±3微米
自動分離:柔紫外線NIL:不支持;SmartNIL
®:支持
工作印章制作:柔軟的UV-NIL:外部;SmartNIL ®:支持
EV Group能夠提供混合和單片微透鏡成型工藝。
EVG ® 620 NT特征:
頂部和底部對準能力
高精度對準臺
自動楔形補償序列
電動和程序控制的曝光間隙
支持最 新的UV-LED技術
最小化系統(tǒng)占地面積和設施要求
分步流程指導
遠程技術支持
多用戶概念(無限數(shù)量的用戶帳戶和程序,可分配的訪問權限,不同的用戶界面語言)
敏捷處理和轉換工具
臺式或帶防震花崗巖臺的單機版
EVG ® 620 NT附加功能:
鍵對準
紅外對準
SmartNIL
μ接觸印刷技術數(shù)據(jù)
晶圓直徑(基板尺寸)
標準光刻:最 大150毫米的碎片
柔軟的UV-NIL:最 大150毫米的碎片
SmartNIL ®:在100毫米范圍
解析度:≤40 nm(分辨率取決于模板和工藝)
支持流程:軟UV-NIL&SmartNIL
®
曝光源:汞光源或紫外線LED光源
對準:
軟NIL:≤±0.5 μm
SmartNIL ®:≤±3微米
自動分離:柔紫外線NIL:不支持;SmartNIL
®:支持
工作印章制作:柔軟的UV-NIL:外部:SmartNIL ®:支持
IQ Aligner?是EVG的可用于晶圓級透鏡成型和堆疊的高精度UV壓印系統(tǒng)。熱壓印納米壓印美元報價
EV Group 提供完整的UV 紫外光納米壓印光刻(UV-NIL)產(chǎn)品線。連續(xù)納米壓印有哪些應用
儀器儀表是用以檢出、測量、觀察、計算各種物理量、物質成分、物性參數(shù)等的器具或設備。真空檢漏儀、壓力表、測長儀、顯微鏡、乘法器等均屬于儀器儀表。近年來,得益于機械、冶金、石化行業(yè)等儀器儀表服務領域經(jīng)營狀況的好轉,我國儀器儀表制造業(yè)發(fā)展一路向好。目前,磁記錄,半導體,光通訊生產(chǎn),測試儀器的批發(fā)等產(chǎn)品的產(chǎn)量居世界前列,實驗分析儀器等中產(chǎn)品的市場占比不斷上升,行業(yè)技術上總體已達到的中等國際水平,少數(shù)產(chǎn)品接近或達到當前較高國際水平。在國民經(jīng)濟運行中,磁記錄、半導體、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā)、進出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關配套服務,國際貿易、轉口貿易,商務信息咨詢服務。 【依法須經(jīng)批準的項目,經(jīng)相關部門批準后方可開展經(jīng)營活動】磁記錄、半導體、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā)、進出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關配套服務,國際貿易、轉口貿易,商務信息咨詢服務。 【依法須經(jīng)批準的項目,經(jīng)相關部門批準后方可開展經(jīng)營活動】等設備是提高勞動生產(chǎn)率的倍增器,對國民經(jīng)濟有著巨大的作用和影響力。美國商業(yè)部地區(qū)技術和標準研究院(NIST)提出的報告稱:美國90年代儀器儀表工業(yè)產(chǎn)值只占工業(yè)總產(chǎn)值的4%,但它對國民經(jīng)濟(GNP)的影響面卻達到66%。從銷售廣義角度來說,儀器儀表也可具有自動操控、報警、信號傳遞和數(shù)據(jù)處理等功能,例如用于工業(yè)生產(chǎn)過程自動操控中的氣動調節(jié)儀表,和電動調節(jié)儀表,以及集散型儀表操控系統(tǒng)也皆屬于儀器儀表。連續(xù)納米壓印有哪些應用
岱美儀器技術服務(上海)有限公司致力于儀器儀表,是一家其他型公司。公司自成立以來,以質量為發(fā)展,讓匠心彌散在每個細節(jié),公司旗下磁記錄,半導體,光通訊生產(chǎn),測試儀器的批發(fā)深受客戶的喜愛。公司從事儀器儀表多年,有著創(chuàng)新的設計、強大的技術,還有一批獨立的專業(yè)化的隊伍,確保為客戶提供良好的產(chǎn)品及服務。岱美儀器技術服務立足于全國市場,依托強大的研發(fā)實力,融合前沿的技術理念,飛快響應客戶的變化需求。