EVG ® 620 NT特征：
頂部和底部對準能力
高精度對準臺
自動楔形補償序列
電動和程序控制的曝光間隙
支持最 新的UV-LED技術(shù)
最小化系統(tǒng)占地面積和設施要求
分步流程指導
遠程技術(shù)支持
多用戶概念（無限數(shù)量的用戶帳戶和程序，可分配的訪問權(quán)限，不同的用戶界面語言）
敏捷處理和轉(zhuǎn)換工具
臺式或帶防震花崗巖臺的單機版
EVG ® 620 NT附加功能：
鍵對準
紅外對準
SmartNIL
μ接觸印刷技術(shù)數(shù)據(jù)
晶圓直徑（基板尺寸）
標準光刻：最 大150毫米的碎片
柔軟的UV-NIL：最 大150毫米的碎片
SmartNIL ®：在100毫米范圍
解析度：≤40 nm（分辨率取決于模板和工藝）
支持流程：軟UV-NIL＆SmartNIL
®
曝光源：汞光源或紫外線LED光源
對準：
軟NIL：≤±0.5 μm
SmartNIL ®：≤±3微米
自動分離：柔紫外線NIL：不支持；SmartNIL
®：支持
工作印章制作：柔軟的UV-NIL：外部：SmartNIL ®：支持
EVG的納米壓印設備已使納米圖案能夠在面板尺寸最 大為第三代（550 mm x 650 mm）的基板上實現(xiàn)。知名納米壓印圖像傳感器應用
它為晶圓級光學元件開發(fā)、原型設計和制造提供了一種獨特的方法，可以方便地接觸最 新研發(fā)技術(shù)與材料。晶圓級納米壓印光刻和透鏡注塑成型技術(shù)確保在如3D感應的應用中使用小尺寸的高 分辨率光學傳感器供應鏈合作推動晶圓級光學元件應用要在下一代光學傳感器的大眾化市場中推廣晶圓級生產(chǎn)，先進的粘合劑與抗蝕材料發(fā)揮著不可取代的作用。開發(fā)先進的光學材料，需要充分地研究化學、機械與光學特性，以及已被證實的大規(guī)模生產(chǎn)（HVM）的可擴展性。擁有在NIL圖形壓印和抗蝕工藝方面的材料兼容性，以及自動化模制和脫模的專業(yè)知識，才能在已驗證的大規(guī)模生產(chǎn)中，以最小的形狀因子達到晶圓級光學元件的比較好性能。材料供應商與加工設備制造商之間的密切合作，促成了工藝流程的研發(fā)與改善，確保晶圓級光學元件的高質(zhì)量和制造的可靠性。EVG和DELO的合作將支持雙方改善工藝流程與產(chǎn)品，并增強雙方的專業(yè)技能，從而適應當前與未來市場的要求。雙方的合作提供了成熟的材料與專業(yè)的工藝技術(shù)，并將加快新產(chǎn)品設計與原型制造的速度，為雙方的客戶保駕護航。“NILPhotonics解決方案支援中心的獨特之處是：它解決了行業(yè)內(nèi)部需要用更短時間研發(fā)產(chǎn)品的需求，同時保障比較高的保密性。官方納米壓印當?shù)貎r格 EVG620 NT是以其靈活性和可靠性而聞名的，因為它以最小的占位面積提供了最 新的掩模對準技術(shù)。
客戶示范
■工藝開發(fā)
■材料測試
■與合作伙伴共同研發(fā)
■資助項目
■小批量試生產(chǎn)
■IP管理
■過程技術(shù)許可證
■流程培訓
→世界一 流的潔凈室基礎設施
→最 先 進的設備
→技術(shù)專家
→專用計量
→工藝知識
→應用知識
→與NIL的工作印模材料和表面化學有關(guān)的化學專業(yè)知識
新應用程序的開發(fā)通常與設備功能的提高緊密相關(guān)。 EVG的NIL解決方案能夠產(chǎn)生具有納米分辨率的多種不同尺寸和形狀的圖案，并在顯示器，生物技術(shù)和光子應用中實現(xiàn)了許多新的創(chuàng)新。
岱美作為EVG在中國區(qū)的代理商，歡迎各位聯(lián)系我們，探討納米壓印光刻的相關(guān)知識。我們愿意與您共同進步。
關(guān)于WaveOptics
WaveOptics是衍射波導的全球領 先設計商和制造商，衍射波導是可穿戴AR設備中的關(guān)鍵光學組件。
諸如智能眼鏡之類的AR可穿戴設備使用戶能夠觀看覆蓋在現(xiàn)實世界之上的數(shù)字圖像。有兩個關(guān)鍵元素可讓您看到這些圖像-微型投影儀之類的光源，以及將圖像從投影儀傳遞到用戶眼睛中的一種方式。
WaveOptics的波導技術(shù)可傳輸來自光源的光波并將其投射到用戶的眼睛中。該技術(shù)可產(chǎn)生大的眼框，雙目觀察和高視野。眼圖框（查看窗口）是從中可以看到完整圖像的AR顯示器的尺寸-請參見下圖。WaveOptics的波導提供清晰，無失真的文本以及穩(wěn)定的圖像。
WaveOptics技術(shù)旨在用于工業(yè)，企業(yè)和消費者市場的沉浸式AR體驗。該公司的目標是，憑借其獨特的技術(shù)和專業(yè)知識，其波導將成為所有AR可穿戴設備中使用的he心光學組件，以實現(xiàn)無與倫比的制造可擴展性和視覺性能，并為眾多應用提供多功能性。 分步重復刻印通常用于高 效地制造晶圓級光學器件制造或EVG的Smart NIL工藝所需的母版。
”EV集團的技術(shù)研發(fā)與IP主管MarkusWimplinger說，“通過與供應鏈的關(guān)鍵企業(yè)的合作，例如DELO，我們能夠進一步提高效率，作為與工藝和設備專家們一同研究并建立關(guān)鍵的新生產(chǎn)線制造步驟的中心?！薄癊VG和DELO分別是晶圓級光學儀器與NIL設備與光學材料的技術(shù)與市場領先企業(yè)。雙方在將技術(shù)與工藝流程應用于大規(guī)模生產(chǎn)方面有可靠的經(jīng)驗,”DELO的董事總經(jīng)理RobertSaller說道?！巴ㄟ^合作，我們將提供自己獨特的技術(shù)，將晶圓級工藝技術(shù)應用于光學器件和光電器件制造中，EVG也成為我們最 新產(chǎn)品開發(fā)的理想合作伙伴。這種合作還將使我們以應用專家和前列合作伙伴的身份為客戶服務。"晶圓級光學元件的應用解決方案EVG的晶圓級光學器件解決方案為移動式消費電子產(chǎn)品提供多種新型的光學傳感設備。主要的例子是：3D感應，飛行時間，結(jié)構(gòu)光，生物特征身份認證，面部識別,虹膜掃描，光學指紋，頻譜檢測，環(huán)境感應與紅外線成像。其它應用領域包括汽車照明，光地毯，平視顯示器，車內(nèi)感應，激光雷達，內(nèi)窺鏡照相機醫(yī)學成像，眼科設備與手術(shù)機器人。EVG的晶圓級光學儀器解決方案得到公司的NILPhotonics解決方案支援中心的支持。DELO創(chuàng)新的多功能材料幾乎可以在世界上每部手機上找到。EVG先進的多用戶概念可以適應從初學者到專家級別的所有需求，因此使其成為大學和研發(fā)應用程序的理想選擇。湖南納米壓印應用
EVG的熱壓印是一種經(jīng)濟高 效且靈活的制造技術(shù)，具有非常高的復制精度，可用于最小50 nm的特征尺寸。知名納米壓印圖像傳感器應用
隨著現(xiàn)在科學技術(shù)的發(fā)展，儀器儀表行業(yè)發(fā)生了突飛猛進的發(fā)展，再加上當前計算機技術(shù)、網(wǎng)絡技術(shù)的進步和發(fā)展，組建網(wǎng)絡而構(gòu)成實用的監(jiān)控系統(tǒng)，可以提高生產(chǎn)效率和共享信息資源方向發(fā)展。當前儀器儀表行業(yè)產(chǎn)品發(fā)展呈現(xiàn)微型化、多功能化、智能化、網(wǎng)絡化四大發(fā)展趨勢。隨著網(wǎng)絡消費的不斷遞增，而互聯(lián)網(wǎng)的的商業(yè)價值不斷被挖掘出來，呈爆發(fā)式增長，傳統(tǒng)的營銷模式將逐步被取代。有限責任公司企業(yè)要抓住機遇，融入到互聯(lián)網(wǎng)發(fā)展的行業(yè)中，為行業(yè)的發(fā)展提高競爭力。隨著手機移動網(wǎng)絡的消費潛力不斷隱現(xiàn)，消費者利用手機消費的頻率和份額逐年遞增。移動互聯(lián)網(wǎng)所隱藏的商業(yè)價值被更多地挖掘出來之后，各種傳統(tǒng)行業(yè)（包括磁記錄，半導體，光通訊生產(chǎn)，測試儀器的批發(fā)行業(yè)）的移動網(wǎng)上平臺相繼誕生。隨著中國的不斷進步，世界上只有一個救世主——市場，能救企業(yè)的只有你自己——自強，提高其他型重點競爭力才是中國制造業(yè)的獨一出路。以顯微科學儀器行業(yè)的發(fā)展與變化為例，以親身的實踐為例，毛磊認為，隨著經(jīng)濟的不斷發(fā)展，我國的環(huán)境和實力都發(fā)生了巨大變化，有了完全不同的基礎，這為國產(chǎn)科學儀器走向高端增強了信心。知名納米壓印圖像傳感器應用
岱美儀器技術(shù)服務（上海）有限公司專注技術(shù)創(chuàng)新和產(chǎn)品研發(fā)，發(fā)展規(guī)模團隊不斷壯大。一批專業(yè)的技術(shù)團隊，是實現(xiàn)企業(yè)戰(zhàn)略目標的基礎，是企業(yè)持續(xù)發(fā)展的動力。公司以誠信為本，業(yè)務領域涵蓋磁記錄，半導體，光通訊生產(chǎn)，測試儀器的批發(fā)，我們本著對客戶負責，對員工負責，更是對公司發(fā)展負責的態(tài)度，爭取做到讓每位客戶滿意。公司深耕磁記錄，半導體，光通訊生產(chǎn)，測試儀器的批發(fā)，正積蓄著更大的能量，向更廣闊的空間、更寬泛的領域拓展。