UV納米壓印有哪些應用

來源: 發(fā)布時間:2021-06-13

納米壓印光刻設備-處理結果:

新應用程序的開發(fā)通常與設備功能的提高緊密相關。 EVG的NIL解決方案能夠產生具有納米分辨率的多種不同尺寸和形狀的圖案,并在顯示器,生物技術和光子應用中實現了許多新的創(chuàng)新。HRI SmartNIL®壓印上的單個像素的1.AFM圖像壓印全息結構的AFM圖像

資料來源:EVG與SwissLitho

AG合作(歐盟項目SNM)

2.通過熱壓花在PMMA中復制微流控芯片

資料來源:EVG

3.高縱橫比(7:1)的10 μm柱陣列

由加拿大國家研究委 員會提供

4.L / S光柵具有優(yōu)化的殘留層,厚度約為10 nm

資料來源:EVG

5.紫外線成型鏡片300 μm

資料來源:EVG

6.光子晶體用于LED的光提取

多晶硅的蜂窩織構化(mc-Si)

由Fraunhofer ISE提供

7.金字塔形結構50 μm

資料來源:EVG

8.**小尺寸的光模塊晶圓級封裝

資料來源:EVG

9.光子帶隙傳感器光柵

資料來源:EVG(歐盟Saphely項目)

10.在強光照射下對HRISmartNIL®烙印進行完整的晶圓照相

資料來源:EVG EVG紫外光納米壓印系統(tǒng)有: EVG?610,EVG?620NT,EVG?6200NT,EVG?720,EVG?7200等。UV納米壓印有哪些應用

EVG ® 510 HE特征:

用于聚合物基材和旋涂聚合物的熱壓印應用

自動化壓花工藝

EVG專有的**對準工藝,用于光學對準的壓印和壓印

完全由軟件控制的流程執(zhí)行

閉環(huán)冷卻水供應選項

外部浮雕和冷卻站


EVG ® 510 HE技術數據:

加熱器尺寸:150毫米 ,200毫米

比較大基板尺寸:150毫米,200毫米

**小基板尺寸:單芯片,100毫米

比較大接觸力:10、20、60 kN

比較高溫度:標準:350°C;可選:550°C

夾盤系統(tǒng)/對準系統(tǒng)

150毫米加熱器:EVG ® 610,EVG ® 620,EVG ® 6200

200毫米加熱器:EVG ® 6200,MBA300,的Smart View ® NT

真空:

標準:0.1毫巴


可選:0.00001 mbar


IQAligner納米壓印當地價格HERCULES ? NIL是完全集成SmartNIL ?的 UV-NIL紫外光納米壓印系統(tǒng)。

HERCULES ® NIL完全集成SmartNIL

®的 UV-NIL紫外光納米壓印系統(tǒng)。


EVG的HERCULES ® NIL產品系列

HERCULES ® NIL完全集成SmartNIL

® UV-NIL系統(tǒng)達200毫米

對于大批量制造的完全集成的納米壓印光刻解決方案,具有EVG's專有SmartNIL ®印跡技術


HERCULES NIL是完全集成的UV納米壓印光刻跟 蹤解決方案,適用于比較大200 mm的晶圓,是EVG的NIL產品組合的***成員。HERCULES

NIL基于模塊化平臺,將EVG專有的SmartNIL壓印技術與清潔,抗蝕劑涂層和烘烤預處理步驟相結合。這將HERCULES NIL變成了“一站式服務”,將裸露的晶圓裝載到工具中,然后將經過完全處理的納米結構晶圓退回。

    納米壓印微影技術可望優(yōu)先導入LCD面板領域原本計劃應用在半導體生產制程的納米壓印微影技術(Nano-ImpLithography;NIL),現將率先應用在液晶顯示器(LCD)制程中。NIL為次世代圖樣形成技術。據ETNews報導,南韓顯示器面板企業(yè)LCD制程研發(fā)小組,未確認NIL設備實際圖樣形成能力,直接參訪海外NIL設備廠。該制程研發(fā)小組透露,若引進相關設備,將可提升面板性能。并已展開具體供貨協商。NIL是以刻印圖樣的壓印機,像蓋章般在玻璃基板上形成圖樣的制程。在基板上涂布UV感光液后,再以壓印機接觸施加壓力,印出面板圖樣。之后再經過蝕刻制程形成圖樣。NIL可在LCD玻璃基板上刻印出偏光圖樣,不需再另外貼附偏光薄膜。雖然在面板制程中需增加NIL、蝕刻制程,但省落偏光膜貼附制程,可維持同樣的生產成本。偏光膜會吸收部分光線降低亮度。若在玻璃基板上直接形成偏光圖樣,將不會發(fā)生降低亮度的情況。通常面板分辨率越高,因配線較多,較難確保開口率(ApertureRatio)。EVG?610/EVG?620NT /EVG?6200NT是具有紫外線納米壓印功能的通用掩模對準系統(tǒng)。

EVG ® 720特征:

體積驗證的壓印技術,具有出色的復制保真度

專有SmartNIL ®技術,多使用聚合物印模技術

集成式壓印,UV固化脫模和工作印模制造

盒帶到盒帶自動處理以及半自動研發(fā)模式

可選的頂部對準

可選的迷你環(huán)境

適用于所有市售壓印材料的開放平臺

從研發(fā)到生產的可擴展性

系統(tǒng)外殼,可實現比較好過程穩(wěn)定性和可靠性技術數據

晶圓直徑(基板尺寸)

75至150毫米

解析度:≤40 nm(分辨率取決于模板和工藝)

支持流程:SmartNIL ®

曝光源:大功率LED(i線)> 400 mW /cm2

對準:可選的頂部對準

自動分離:支持的

迷你環(huán)境和氣候控制:可選的

工作印章制作:支持的


EVG ? 720是自動SmartNIL ? UV紫外光納米壓印光刻系統(tǒng)。江西納米壓印研發(fā)可以用嗎

EVG?770可用于連續(xù)重復的納米壓印光刻技術,可進行有效的母版制作。UV納米壓印有哪些應用

國統(tǒng)局數據顯示,2019年上半年儀器儀表大行業(yè)規(guī)模以上企業(yè)4927個,營收規(guī)模4002億元,營收同比增長7.57%;收入總額為361億元,同比增長2.87%,比主營收入低4.70個百分點;目前,磁記錄,半導體,光通訊生產,測試儀器的批發(fā)等產品的產量居世界前列,實驗分析儀器等中產品的市場占比不斷上升,行業(yè)技術上總體已達到的中等國際水平,少數產品接近或達到當前較高國際水平。在國民經濟運行中,磁記錄、半導體、光通訊生產及測試儀器的批發(fā)、進出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關配套服務,國際貿易、轉口貿易,商務信息咨詢服務。 【依法須經批準的項目,經相關部門批準后方可開展經營活動】磁記錄、半導體、光通訊生產及測試儀器的批發(fā)、進出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關配套服務,國際貿易、轉口貿易,商務信息咨詢服務。 【依法須經批準的項目,經相關部門批準后方可開展經營活動】等設備是提高勞動生產率的倍增器,對國民經濟有著巨大的作用和影響力。美國商業(yè)部地區(qū)技術和標準研究院(NIST)提出的報告稱:美國90年代儀器儀表工業(yè)產值只占工業(yè)總產值的4%,但它對國民經濟(GNP)的影響面卻達到66%?!盎ヂ摼W+”、大數據、020、萬物互聯網、P2P、分享經濟等熱門詞匯的出現,各個行業(yè)制定相應的措施來順應時代的經濟發(fā)展,以爭取更大的發(fā)展市場。而互聯網的出現也為儀器儀表行業(yè)參與國際競爭提供了機會,有利于銷售企業(yè)實現技術創(chuàng)新升級。UV納米壓印有哪些應用

岱美儀器技術服務(上海)有限公司總部位于中國(上海)自由貿易試驗區(qū)加太路39號第五層六十五部位,是一家磁記錄、半導體、光通訊生產及測試儀器的批發(fā)、進出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關配套服務,國際貿易、轉口貿易,商務信息咨詢服務。 【依法須經批準的項目,經相關部門批準后方可開展經營活動】磁記錄、半導體、光通訊生產及測試儀器的批發(fā)、進出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關配套服務,國際貿易、轉口貿易,商務信息咨詢服務。 【依法須經批準的項目,經相關部門批準后方可開展經營活動】的公司。岱美儀器技術服務作為磁記錄、半導體、光通訊生產及測試儀器的批發(fā)、進出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關配套服務,國際貿易、轉口貿易,商務信息咨詢服務。 【依法須經批準的項目,經相關部門批準后方可開展經營活動】磁記錄、半導體、光通訊生產及測試儀器的批發(fā)、進出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關配套服務,國際貿易、轉口貿易,商務信息咨詢服務。 【依法須經批準的項目,經相關部門批準后方可開展經營活動】的企業(yè)之一,為客戶提供良好的磁記錄,半導體,光通訊生產,測試儀器的批發(fā)。岱美儀器技術服務始終以本分踏實的精神和必勝的信念,影響并帶動團隊取得成功。岱美儀器技術服務始終關注自身,在風云變化的時代,對自身的建設毫不懈怠,高度的專注與執(zhí)著使岱美儀器技術服務在行業(yè)的從容而自信。