大規(guī)模集成電路中因為硅材的潔凈度不夠而產(chǎn)生問題甚至失效的比例達到50%,因此優(yōu)化硅片的清洗工藝極其必要[4]。2硅片清洗技術(shù)清洗技術(shù)的分類和原理常用的硅片清洗技術(shù)有濕法清洗和干法清洗。濕法清洗采用具有較強腐蝕性和氧化性的化學(xué)溶劑,如H2SO4、H2O2、DHF、NH3·H2O等溶劑,硅片表面的雜質(zhì)粒子與溶劑發(fā)生化學(xué)反應(yīng)生成可溶性物質(zhì)、氣體或直接脫落。為了提高雜質(zhì)的效果,可以利用兆聲、加熱、真空等技術(shù)手段,后利用超純水清洗硅片表面,獲取滿足潔凈度要求的硅片。干法清洗指清洗過程中不采用化學(xué)溶劑,例如氣相干洗技術(shù)、束流清洗技術(shù)。氣相干洗技術(shù)采用氣化無水HF與硅片表面的自然氧化層相互作用,可以有效的去除硅片表面的氧化物及氧化層中的金屬粒子,并且具有一定的硅片表面氧化膜產(chǎn)生的效果。氣相干洗極大縮減了HF的用量而且加快了清洗的效率。濕法清洗Kern[5]等人于1965年提出了RCA清洗法,清洗流程分為兩步:SC-1、SC-2。后由Ohnishi、Akiya等研究者的改進,形成了目前通用的RCA清洗技術(shù)-SPM、DHF、SC-1、SC-2。SPM即體積分?jǐn)?shù)為98%的H2SO4和30%H2O2按照4:1比例配置而成,在120~150℃之間具有極強的氧化性,可以將硅片表面粘附的有機物氧化為H2O和CO2。昆山尚斯德精密機械有限公司為您提供清洗機,有想法的不要錯過哦!山西硅片清洗機電話
清洗機的結(jié)構(gòu)組成:清洗機是集泵、閥、高壓水噴射、機械結(jié)構(gòu)、輸送、自動化等主要技術(shù)以及密封、通風(fēng)、熱交換、清洗液過濾、除油、除屑等輔助技術(shù)為一體的成套裝置[4],一般由傳輸、清洗、過濾、干燥、除油、排渣、電控等幾大系統(tǒng)組成?,F(xiàn)將各系統(tǒng)作用及實現(xiàn)方式介紹如下。傳輸系統(tǒng):傳輸系統(tǒng)是清洗機的重要組成部分,其設(shè)計的優(yōu)劣直接影響整機性能。清洗機傳輸系統(tǒng)的設(shè)計應(yīng)滿足工作平穩(wěn)、結(jié)構(gòu)簡單、零部件不易磨損、定位準(zhǔn)確、端部卸料方便等技術(shù)要求。傳輸系統(tǒng)的實現(xiàn)方式有步進式、抬起步進式、鏈板式、鏈條小車式、機動輥道式等多種形式,其中抬起步進式又有氣動、液壓、電動之分內(nèi)蒙古硅片清洗機選哪家清洗機,請選擇昆山尚斯德精密機械有限公司,有需求可以來電咨詢!
發(fā)生了CO2的等焓值變化,氣液混合的CO2生成固態(tài)干冰微粒,從而實現(xiàn)清洗硅片。干冰微粒去除顆粒和有機物雜質(zhì)的機理不同。去除顆粒雜質(zhì)時,干冰顆粒與顆粒雜質(zhì)發(fā)生彈性碰撞,產(chǎn)生動量轉(zhuǎn)移,顆粒雜質(zhì)被粉碎,隨高速氣流被帶走。去除有機物雜質(zhì)時,干冰顆粒與有機物發(fā)生非彈性碰撞,干冰顆粒液化包裹有機物脫離硅片表面,然后固化被高速氣流帶走。XGuo[15]等人提出了一種新型干冰微粒噴射清洗技術(shù),采用純度為5N、壓強為8MPa的CO2氣體源、噴嘴前壓強11MPa的清洗參數(shù),后得到了很好的清洗效果。采用干冰微粒清洗技術(shù)對硅片進行清洗效果十分理想,而且對硅片表面無損害,不會污染環(huán)境,是一種理想的清洗技術(shù)。紫外-臭氧清洗JRVig[16]于1986年提出了紫外線-臭氧清洗技術(shù)(UV/O3)。通過實驗測得波長為,這兩種波長的光子可以直接打開和切斷有機物分子中的共價鍵,使有機物分子活化,分解成離子、游離態(tài)原子、受激分子等。與此同時,(O2)分解成臭氧(O3);而(O),這個光敏氧化反應(yīng)過程是連續(xù)進行的,在這兩種短波紫外光的照射下,臭氧會不斷的生成和分解,活性氧原子就會不斷的生成,而且越來越多,由于活性氧原子(O)有強烈的氧化作用。
使用方法物理法①機械清洗法:清掃器和刮刀清理法、鉆管清洗法、噴丸清洗法。②水利清洗法:低壓水力清洗(低壓清洗的壓力為196-686千帕,大約2-7公斤力/平方厘米,等于0.2-0.7Mpa)。③高壓水射流設(shè)備清洗:高壓清洗的壓力為4900千帕,大約50公斤力/平方厘米,等于5Mpa。這種情況方法也叫高壓水射流法、高壓清洗機。電子法原理是:利用高頻電場改變水的分子結(jié)構(gòu),使其防垢和除垢。當(dāng)水通過高頻電場時,其分子物理結(jié)構(gòu)發(fā)生了變化,原來的締合鏈狀大分wyt_dsry子,斷裂成單個水分子,水中鹽類的正負(fù)離子被單個水分子包圍,運動速度降低,有效碰撞次數(shù)減少,靜電引力下降,無法在受熱壁式管面上結(jié)構(gòu),從而達到防垢目的 昆山尚斯德精密機械有限公司致力于提供 清洗機,歡迎新老客戶來電!
液壓油清洗--循環(huán)沖洗過濾裝置廣泛應(yīng)用于油庫、飛機制造、航空、工程機械、冶金和造船等行業(yè),用于沖洗過濾液壓系統(tǒng)在制造、裝配、使用過濾,提高清潔度,避免或減少因污染而造成的故障。塑料清洗機又稱為pet清洗機、飲料瓶清洗機,具體參數(shù)如下生產(chǎn)能力:1000-1500公斤/每小時電動機功率:7.5kw380v四級電機本機皮帶型號:B型規(guī)格:長3m直徑:0.36m清洗機使用過程中,難免出現(xiàn)故障。出現(xiàn)問題時,應(yīng)根據(jù)不同故障現(xiàn)象,仔細查找原因。昆山尚斯德精密機械有限公司為您提供清洗機。甘肅烘箱網(wǎng)帶在線清洗機廠家
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由于這種小氣泡和聲壓同步膨脹,收縮,象剝皮一樣的物理力反復(fù)作用于污垢層,污垢層一層層被剝離,氣泡繼續(xù)向里滲透,直到污垢層被完全剝離。這是空化二次效應(yīng)。超聲波清洗中清洗液超聲振動對污垢的沖擊。超聲加速化學(xué)清洗劑對污垢的溶解過程,化學(xué)力與物理力相結(jié)合,加速清洗過程。超聲波清洗機的主要參數(shù):頻率:≥20KHz,可以分為低頻,中頻,高頻3段。清洗介質(zhì):采用超聲波清洗,一般兩類清洗劑:化學(xué)溶劑、水基清洗劑等。清洗介質(zhì)的化學(xué)作用,可以加速超聲波清洗效果,超聲波清洗是物理作用,兩種作用相結(jié)合,以對物件進行充分、徹底的清洗。山西硅片清洗機電話
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