杭州芯紀(jì)源半導(dǎo)體設(shè)備有限公司2025-06-12
水浸超聲掃描通過(guò)調(diào)整超聲發(fā)射參數(shù)(如脈沖電壓、增益設(shè)置)直接影響波形幅值,例如提高發(fā)射電壓可增強(qiáng)回波信號(hào)強(qiáng)度,而調(diào)整接收增益可放大或衰減回波幅值,需根據(jù)材料衰減特性與檢測(cè)深度優(yōu)化參數(shù)以獲取清晰波形。
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材料特性差異是波形幅值變化的*因素,例如半導(dǎo)體晶圓內(nèi)部缺陷(如裂紋、孔洞)會(huì)導(dǎo)致聲波散射或反射增強(qiáng),使回波幅值異常升高;而均勻材料區(qū)域則呈現(xiàn)穩(wěn)定幅值,需結(jié)合C掃描圖像與閾值分析區(qū)分正常與缺陷信號(hào)。
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