手套箱如何滿足半導體晶圓清洗需求？

米開羅那（上海）工業(yè)智能科技股份有限公司2025-07-24

半導體晶圓清洗對環(huán)境潔凈度要求極高，手套箱通過多方面設計來滿足這一需求。首先，手套箱采用304不銹鋼材質制作箱體，內表面為油膜拉絲面，可減少灰塵附著，外表面顏色可定制。其次，箱體內配備了高效的過濾器，規(guī)格為0.3μm，能有效過濾空氣中的微小顆粒。在氣體循環(huán)方面，工作氣體在箱體與凈化柱之間密閉循環(huán)，凈化柱吸附水分和氧氣，使箱體內水氧含量維持在極低水平（＜1ppm），防止晶圓在清洗過程中受到氧化和污染。同時，手套箱的密封性良好，箱體泄漏率＜0.0006vol%/h，可避免外界污染物進入，為半導體晶圓清洗提供一個超凈的環(huán)境，確保清洗效果和晶圓質量。

本回答由 米開羅那（上海）工業(yè)智能科技股份有限公司 提供