甲酸爐設(shè)備的甲酸供給系統(tǒng)是否支持多工位同時(shí)加注？

廣東華芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司2025-06-08

支持。標(biāo)配多通道分配閥，可同時(shí)為 4 臺(tái)設(shè)備供應(yīng)甲酸，避免頻繁人工換液。廣東華芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司的集中供液方案已應(yīng)用于大型半導(dǎo)體工廠，提升加注效率 70% 以上。

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