陜西芯片甩干機(jī)價(jià)格

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2025-06-30

在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,晶圓甩干機(jī)是確保晶圓干燥的關(guān)鍵裝備。它利用離心力原理,通過(guò)電機(jī)帶動(dòng)晶圓高速旋轉(zhuǎn),使表面液體在離心力作用下從晶圓表面脫離。甩干機(jī)的旋轉(zhuǎn)部件設(shè)計(jì)精良,采用特殊材料提高其耐磨性和穩(wěn)定性。驅(qū)動(dòng)電機(jī)具備強(qiáng)大的動(dòng)力輸出和精確的調(diào)速功能,以滿足不同工藝對(duì)甩干速度的需求??刂葡到y(tǒng)智能化,可實(shí)現(xiàn)對(duì)甩干過(guò)程的quan mian 監(jiān)控和參數(shù)調(diào)整。在實(shí)際生產(chǎn)中,清洗后的晶圓經(jīng)甩干機(jī)處理,去除殘留液體,防止液體殘留對(duì)后續(xù)光刻、蝕刻等工藝造成不良影響,如導(dǎo)致蝕刻不均勻,確保晶圓干燥,為芯片制造提供良好條件。雙電機(jī)單獨(dú)驅(qū)動(dòng):兩工位轉(zhuǎn)速可單獨(dú)調(diào)節(jié),滿足差異化處理需求。陜西芯片甩干機(jī)價(jià)格

陜西芯片甩干機(jī)價(jià)格,甩干機(jī)

晶圓甩干機(jī)應(yīng)用領(lǐng)域:

半導(dǎo)體制造:在半導(dǎo)體芯片制造過(guò)程中,晶圓經(jīng)過(guò)光刻、蝕刻、清洗等工藝后,需要使用晶圓甩干機(jī)進(jìn)行快速干燥,以避免晶圓表面的水分和雜質(zhì)對(duì)后續(xù)工藝造成影響,提高芯片的成品率和性能。

光電器件制造:如發(fā)光二極管(LED)、激光二極管(LD)、光電探測(cè)器等光電器件的生產(chǎn)中,晶圓甩干機(jī)用于清洗和干燥晶圓,確保光電器件的光學(xué)性能和穩(wěn)定性。

傳感器制造:在壓力傳感器、溫度傳感器、加速度傳感器等傳感器的制造過(guò)程中,晶圓甩干機(jī)可對(duì)晶圓進(jìn)行清洗和干燥處理,保證傳感器的精度和可靠性。 河北硅片甩干機(jī)設(shè)備設(shè)備內(nèi)部設(shè)有專門(mén)的防液濺裝置,防止甩出的液體對(duì)周?chē)h(huán)境造成污染。

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晶圓甩干機(jī)是提升半導(dǎo)體制造精度的重要干燥設(shè)備。利用離心力原理,當(dāng)晶圓在甩干機(jī)內(nèi)高速旋轉(zhuǎn)時(shí),表面液體在離心力作用下被甩出。該設(shè)備結(jié)構(gòu)精良,旋轉(zhuǎn)軸精度極高,保證了旋轉(zhuǎn)的平穩(wěn)性,減少對(duì)晶圓的振動(dòng)影響。旋轉(zhuǎn)盤(pán)與晶圓接觸緊密且不會(huì)刮傷晶圓。驅(qū)動(dòng)電機(jī)動(dòng)力強(qiáng)勁且調(diào)速精 zhun ,能根據(jù)不同工藝要求調(diào)整轉(zhuǎn)速。控制系統(tǒng)智能化程度高,可實(shí)現(xiàn)對(duì)甩干過(guò)程的精確控制。在半導(dǎo)體制造流程中,清洗后的晶圓經(jīng)甩干機(jī)處理,去除殘留液體,防止液體殘留對(duì)后續(xù)光刻、蝕刻等工藝造成精度影響,如導(dǎo)致線條寬度偏差,從而提升半導(dǎo)體制造的精度。

甩干機(jī)的結(jié)構(gòu)通常包括以下幾個(gè)關(guān)鍵部件:旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu):包括旋轉(zhuǎn)軸、旋轉(zhuǎn)盤(pán)和夾具等。旋轉(zhuǎn)軸是晶圓甩干機(jī)的重要部件之一,它支撐著晶圓并帶動(dòng)其高速旋轉(zhuǎn)。旋轉(zhuǎn)盤(pán)通常與旋轉(zhuǎn)軸相連,用于放置晶圓。夾具則用于固定晶圓,確保其在旋轉(zhuǎn)過(guò)程中的穩(wěn)定性。排水系統(tǒng):排水系統(tǒng)負(fù)責(zé)將被甩離的水分和化學(xué)溶液等迅速排出設(shè)備外部。排水系統(tǒng)通常包括排水口、排水管道和排水泵等部件。排水口位于甩干機(jī)的內(nèi)壁或底部,用于收集被甩離的水分和化學(xué)溶液。排水管道則將這些液體引導(dǎo)至設(shè)備外部。排水泵則提供必要的動(dòng)力,確保排水的順暢和高效??刂葡到y(tǒng):控制系統(tǒng)用于控制晶圓甩干機(jī)的運(yùn)轉(zhuǎn)及參數(shù)調(diào)整。它通常包括觸摸屏、PLC控制器、傳感器等部件。觸摸屏用于顯示設(shè)備的運(yùn)行狀態(tài)和參數(shù)設(shè)置。PLC控制器則負(fù)責(zé)接收觸摸屏的指令,并控制設(shè)備的運(yùn)轉(zhuǎn)。傳感器則用于實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)設(shè)備的運(yùn)行狀態(tài)和晶圓的狀態(tài),確保設(shè)備的穩(wěn)定性和安全性。加熱系統(tǒng):在某些晶圓甩干機(jī)中,還配備了加熱系統(tǒng)。加熱系統(tǒng)通常用于加熱氮?dú)饣蚱渌栊詺怏w,以提升干燥效率和效果。加熱后的氮?dú)饪梢愿玫匚站A表面的水分,從而實(shí)現(xiàn)更快速的干燥
雙工位設(shè)計(jì):可同時(shí)處理兩份物料,成倍提升脫水效率,滿足批量生產(chǎn)需求。

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雙腔甩干機(jī)兼容不同電壓,適應(yīng)國(guó)內(nèi)外多種電力環(huán)境。陜西芯片甩干機(jī)價(jià)格

臥式晶圓甩干機(jī)在半導(dǎo)體制造中扮演著關(guān)鍵角色。其he xin優(yōu)勢(shì)在于高效與精 zhun ,基于先進(jìn)的離心力原理運(yùn)作。電機(jī)驅(qū)動(dòng)高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)鼓,使晶圓在水平方向穩(wěn)定轉(zhuǎn)動(dòng),強(qiáng)大的離心力迅速將晶圓表面的液體甩出。這種臥式結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),有效降低了設(shè)備運(yùn)行時(shí)的振動(dòng),確保晶圓在甩干過(guò)程中平穩(wěn)無(wú)晃動(dòng),極大地減少了因震動(dòng)可能導(dǎo)致的晶圓損傷。獨(dú)特的轉(zhuǎn)鼓設(shè)計(jì),不僅提高了離心力的利用效率,還保證了甩干的均勻性。高精度的轉(zhuǎn)速控制系統(tǒng),能根據(jù)不同的晶圓材質(zhì)和工藝要求,精 zhun 調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速,實(shí)現(xiàn)比較好的甩干效果。無(wú)論是大規(guī)模生產(chǎn)的晶圓制造企業(yè),還是專注于科研的實(shí)驗(yàn)室,都能從臥式晶圓甩干機(jī)的高效精 zhun 中受益,為后續(xù)的芯片制造工藝提供干燥、潔凈的晶圓,保障芯片的良品率和性能。陜西芯片甩干機(jī)價(jià)格