廣東mems真空計(jì)設(shè)備公司

來源: 發(fā)布時(shí)間:2025-04-17

6. 麥克勞真空計(jì)麥克勞真空計(jì),通過壓縮氣體測(cè)量壓力,適用于高真空和超高真空范圍。原理:利用氣體壓縮后的液柱高度差測(cè)量壓力。測(cè)量范圍:10?? Torr 到 10?3 Torr。優(yōu)點(diǎn):精度高,無需校準(zhǔn)。缺點(diǎn):操作復(fù)雜,響應(yīng)慢。應(yīng)用:實(shí)驗(yàn)室高真空校準(zhǔn)。7. 質(zhì)譜儀質(zhì)譜儀通過分析氣體成分來間接測(cè)量壓力,適用于超高真空和極高真空范圍。(1)四極質(zhì)譜儀原理:利用四極電場(chǎng)分離氣體離子,通過離子電流測(cè)量壓力。測(cè)量范圍:10?12 Torr 到 10?? Torr。優(yōu)點(diǎn):可分析氣體成分。缺點(diǎn):成本高,操作復(fù)雜。應(yīng)用:超高真空和極高真空系統(tǒng)。皮拉尼真空計(jì)在哪些領(lǐng)域有應(yīng)用?廣東mems真空計(jì)設(shè)備公司

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由于真空技術(shù)部門所涉及的工作壓強(qiáng)范圍十分寬泛,任何一種類型的真空泵都不可能完全適用于所有工作環(huán)境,只能根據(jù)不同的工作壓強(qiáng)范圍和工作要求使用不同的真空泵,或?qū)煞N或兩種以上的真空泵組合起來形成真空泵機(jī)組。這種壓強(qiáng)范圍一般用真空度*注釋來表示,根據(jù)真空度的不同,又可以將真空泵分為以下幾種類型:(1)低真空(粗真空)泵:真空度在1Pa至103Pa之間。常見類型:旋片式真空泵、水環(huán)真空泵、往復(fù)式真空泵、無油真空泵等。(2)中真空泵:真空度在10-3Pa至1Pa之間。常見類型:螺桿泵、油封機(jī)械泵、羅茨真空泵等。(3)高真空泵:真空度在10-3Pa至10-7Pa之間。常見類型:滑閥式真空泵、羅茨真空泵、干式螺桿泵等。(4)超高真空泵:真空度在10-8Pa至10-12Pa之間。常見類型:旋轉(zhuǎn)活塞真空泵、分子泵、濺射離子泵、鈦升華泵、擴(kuò)散泵等。*注釋:真空度:真空度是指處于真空狀態(tài)下的氣體稀薄程度。若所測(cè)設(shè)備內(nèi)的壓強(qiáng)低于大氣壓強(qiáng),其壓力測(cè)量需要真空表。從真空表所讀得的數(shù)值稱真空度。計(jì)算方法:真空度=大氣壓強(qiáng)-***壓強(qiáng)。單位:帕斯卡(Pa)、千帕(KPa)、兆帕(MPa)、大氣壓(atm)、毫米汞柱(mmHg)、巴(bar)、托(Torr)等無錫電容薄膜真空計(jì)設(shè)備廠家電容真空計(jì)的測(cè)量精度受哪些因素影響?

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(1)利用氣體熱學(xué)特征類真空計(jì)通過測(cè)量氣體分子在真空中的運(yùn)動(dòng)狀態(tài)或動(dòng)力學(xué)效應(yīng)來推算真空度,典型**有皮拉尼(Pirani)電阻規(guī)和熱電偶規(guī)。a)皮拉尼電阻規(guī)利用熱絲在真空中的熱傳導(dǎo)效應(yīng)來測(cè)量真空度。當(dāng)真空度發(fā)生變化時(shí),熱絲的熱傳導(dǎo)性能會(huì)受到影響,進(jìn)而導(dǎo)致電阻發(fā)生變化。通過測(cè)量電阻的變化,可以推算出真空度的數(shù)值。皮拉尼電阻規(guī)具有靈敏度高、測(cè)量范圍寬等特點(diǎn)。

b)熱電偶規(guī)利用熱電效應(yīng)進(jìn)行真空度測(cè)量的儀器,其**原理在于熱電偶的溫差電勢(shì)與周圍氣體壓力的關(guān)系。隨著真空度的變化,熱電偶的溫差電勢(shì)也會(huì)相應(yīng)改變,從而提供關(guān)于真空度的信息。熱電偶規(guī)具有結(jié)構(gòu)簡單、操作便捷等特點(diǎn)。

真空計(jì)的現(xiàn)代發(fā)展技術(shù)進(jìn)步:隨著半導(dǎo)體和微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)的不斷進(jìn)步,真空計(jì)的精度和穩(wěn)定性得到了提升,推動(dòng)了新一代高性能真空計(jì)的研發(fā)和應(yīng)用。智能化:現(xiàn)代真空計(jì)越來越多地集成了智能化功能,能夠?qū)崟r(shí)監(jiān)測(cè)、分析和反饋數(shù)據(jù),提高了用戶的操作便利性和系統(tǒng)的整體效率。隨著半導(dǎo)體和微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)的不斷進(jìn)步,真空計(jì)的精度和穩(wěn)定性得到了提升,推動(dòng)了新一代高性能真空計(jì)的研發(fā)和應(yīng)用。智能化:現(xiàn)代真空計(jì)越來越多地集成了智能化功能,能夠?qū)崟r(shí)監(jiān)測(cè)、分析和反饋數(shù)據(jù),提高了用戶的操作便利性和系統(tǒng)的整體效率。真空計(jì)使用過程中常見的問題有哪些?

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電容薄膜真空計(jì):屬彈性元件真空計(jì),其結(jié)構(gòu)和電路原理是一彈性薄膜將規(guī)管真空室分為兩個(gè)小室,即參考?jí)簭?qiáng)室和測(cè)量室。測(cè)量低壓強(qiáng)(P<100帕)時(shí),參考室抽至高真空,其壓強(qiáng)近似為零。當(dāng)測(cè)量室壓強(qiáng)不同時(shí),薄膜變形的程度也不同。在測(cè)量室中有一固定電極,它與薄膜形成一個(gè)電容器。薄膜變形時(shí)電容值相應(yīng)改變,通過電容電橋可測(cè)量電容的變化從而確定相應(yīng)壓強(qiáng)值。電容薄膜真空計(jì)可直接測(cè)量氣體或蒸氣的壓強(qiáng),測(cè)量值與氣體種類無關(guān)、結(jié)構(gòu)牢固、可經(jīng)受烘烤,如對(duì)不同壓強(qiáng)范圍采用不同規(guī)頭,可得到較高精度。它可用于高純氣體監(jiān)測(cè)、低真空精密測(cè)量和壓強(qiáng)控制,也可用作低真空測(cè)量的副標(biāo)準(zhǔn)。部分真空計(jì)對(duì)被測(cè)氣體有要求。江蘇金屬電容薄膜真空計(jì)生產(chǎn)企業(yè)

電容薄膜真空計(jì)的校準(zhǔn)注意事項(xiàng)有?廣東mems真空計(jì)設(shè)備公司

真空計(jì)的工作原理基于氣體分子的運(yùn)動(dòng)特性。當(dāng)氣體分子在封閉空間內(nèi)不斷運(yùn)動(dòng)、相互碰撞并與容器壁發(fā)生碰撞時(shí),這種碰撞運(yùn)動(dòng)將氣體分子的動(dòng)能轉(zhuǎn)換成容器壁上的壓力。真空計(jì)通過測(cè)量這種壓力來間接反映氣體的壓強(qiáng)或真空度。不同類型的真空計(jì)采用不同的物理機(jī)制進(jìn)行測(cè)量,例如:利用力學(xué)性能的真空計(jì):如波爾登真空計(jì)和薄膜電容規(guī),它們通過測(cè)量氣體對(duì)某種力學(xué)元件(如薄膜)的作用力來推算真空度。利用氣體動(dòng)力學(xué)效應(yīng)的真空計(jì):如皮拉尼電阻規(guī)和熱電偶規(guī),它們利用氣體在流動(dòng)過程中產(chǎn)生的熱效應(yīng)或電效應(yīng)來測(cè)量真空度。利用帶電粒子效應(yīng)的真空計(jì):如熱陰極電離規(guī)和冷陰極電離規(guī),它們通過測(cè)量氣體分子在電離過程中產(chǎn)生的電流來推算真空度。這類真空計(jì)在高真空領(lǐng)域具有極高的測(cè)量精度。廣東mems真空計(jì)設(shè)備公司

標(biāo)簽: 真空計(jì)