針對第三代半導(dǎo)體材料(SiC/GaN)的減薄需求,優(yōu)普納砂輪適配6吋、8吋晶圓,滿足襯底片粗磨、精磨全流程。以東京精密HRG200X設(shè)備為例,6吋SiC線割片采用2000#砂輪粗磨,磨耗比只15%,Ra≤30nm;精磨使用30000#砂輪,磨耗比120%,Ra≤3nm,TTV穩(wěn)定在2μm以下。DISCO設(shè)備案例中,8吋晶圓精磨后TTV≤2μm,適配性強,可替代日本、德國進口產(chǎn)品。江蘇優(yōu)普納科技有限公司專業(yè)生產(chǎn)砂輪,品質(zhì)有保證,歡迎您的隨時致電咨詢,為您提供滿意的產(chǎn)品以及方案。在東京精密-HRG200X減薄機上,優(yōu)普納砂輪對6吋SiC線割片進行粗磨,磨耗比15%,Ra≤30nm,TTV≤3μm。深圳磨床砂輪
江蘇優(yōu)普納科技有限公司:強度高微晶增韌陶瓷結(jié)合劑通過優(yōu)化陶瓷相分布,提升砂輪抗沖擊性,減少磨粒脫落;多孔顯微組織調(diào)控技術(shù)增強冷卻液滲透效率,降低磨削熱損傷。兩項技術(shù)結(jié)合使砂輪壽命延長30%,磨削效率提升25%,尤其適用于高硬度SiC晶圓加工。實際案例顯示,在DISCO-DFG8640設(shè)備上,8吋晶圓精磨磨耗比達(dá)200%,遠(yuǎn)優(yōu)于行業(yè)平均水平。江蘇優(yōu)普納科技有限公司專業(yè)生產(chǎn)砂輪,品質(zhì)有保證,歡迎您的隨時致電咨詢,為您提供滿意的產(chǎn)品以及方案。減薄工藝砂輪解決方案優(yōu)普納碳化硅晶圓減薄砂輪,以技術(shù)創(chuàng)新為主,不斷突破性能瓶頸,為國產(chǎn)半導(dǎo)體材料加工提供有力支持。
江蘇優(yōu)普納科技有限公司的碳化硅晶圓減薄砂輪,展現(xiàn)了強大的設(shè)備適配性。其基體優(yōu)化設(shè)計能夠根據(jù)客戶不同設(shè)備需求進行定制,無論是東京精密還是DISCO的減薄機,都能完美適配。這種強適配性不只減少了客戶在設(shè)備調(diào)整上的時間和成本,還確保了加工過程的高效性和穩(wěn)定性。在DISCO-DFG8640減薄機的實際應(yīng)用中,無論是粗磨還是精磨,優(yōu)普納砂輪都能保持穩(wěn)定的性能,滿足不同加工需求。這種綜合優(yōu)勢,使得優(yōu)普納的砂輪在市場上更具競爭力,能夠快速響應(yīng)客戶需求,為客戶提供一站式的解決方案。
江蘇優(yōu)普納科技有限公司的碳化硅晶圓減薄砂輪,以其優(yōu)越的低損耗特性,為客戶節(jié)省了大量的成本。其獨特的多孔顯微組織調(diào)控技術(shù),使得砂輪在高磨削效率的同時,磨耗比極低。在實際應(yīng)用中,6吋SiC線割片的磨耗比只為15%,而8吋SiC線割片的磨耗比也只為35%。這意味著在長時間的加工過程中,砂輪的磨損極小,使用壽命更長。低損耗不只體現(xiàn)在砂輪本身的使用壽命上,還體現(xiàn)在加工后的晶圓表面質(zhì)量上,損傷極小,進一步提升了產(chǎn)品的性價比,助力優(yōu)普納在國產(chǎn)化替代進程中占據(jù)優(yōu)勢。優(yōu)普納砂輪的強度高微晶增韌陶瓷結(jié)合劑,賦予產(chǎn)品優(yōu)異的耐磨性和韌性,確保在高負(fù)荷加工條件下的穩(wěn)定性能。
江蘇優(yōu)普納科技有限公司的碳化硅晶圓減薄砂輪,以其高精度加工能力成為第三代半導(dǎo)體材料加工的理想選擇。其專研的強度高微晶增韌陶瓷結(jié)合劑和多孔顯微組織調(diào)控技術(shù),賦予了砂輪優(yōu)越的穩(wěn)定性,能夠有效減少振動,確保加工后的晶圓表面粗糙度極低。在東京精密-HRG200X減薄機的實際應(yīng)用中,6吋和8吋SiC線割片的加工結(jié)果顯示,表面粗糙度Ra值和總厚度變化TTV均達(dá)到了行業(yè)先進水平。這種高精度的加工能力,不只滿足了半導(dǎo)體制造的需求,也為優(yōu)普納在國產(chǎn)碳化硅減薄砂輪市場奠定了堅實的基礎(chǔ),助力其品牌形象進一步鞏固。優(yōu)普納碳化硅晶圓減薄砂輪在性能和質(zhì)量上不斷突破,為國產(chǎn)半導(dǎo)體加工設(shè)備及耗材的自主可控發(fā)展貢獻力量。SiC晶圓磨削砂輪工藝
碳化硅晶圓減薄砂輪超細(xì)金剛石磨粒與超高自銳性結(jié)合,實現(xiàn)高磨削效率與低損傷 表面粗糙度Ra≤3nm TTV≤2μm。深圳磨床砂輪
在第三代半導(dǎo)體材料加工領(lǐng)域,江蘇優(yōu)普納科技有限公司的碳化硅晶圓減薄砂輪憑借其高精度加工能力脫穎而出。采用專研的強度高微晶增韌陶瓷結(jié)合劑,砂輪在磨削過程中展現(xiàn)出優(yōu)越的穩(wěn)定性,能夠有效減少振動,確保加工后的晶圓表面粗糙度極低。無論是6吋還是8吋的SiC線割片,使用優(yōu)普納砂輪加工后,表面粗糙度Ra值均能達(dá)到納米級別,總厚度變化TTV控制在微米級別以內(nèi)。這種高精度的加工能力,不只滿足了半導(dǎo)體制造的需求,也為優(yōu)普納在國產(chǎn)碳化硅減薄砂輪市場奠定了堅實的基礎(chǔ),助力其品牌形象進一步鞏固。深圳磨床砂輪