低溫真空泵利用低溫表面對氣體分子的吸附作用來實現(xiàn)抽氣。通過將泵內(nèi)的吸附劑冷卻到極低溫度(通常采用液氮或制冷機冷卻),使氣體分子在低溫表面凝結(jié)或被吸附,從而達(dá)到抽氣目的。低溫真空泵具有抽氣速率大、極限真空度高(可達(dá)10^-8Pa甚至更低)、無油污染等優(yōu)點,特別適用于對真空環(huán)境清潔度要求極高、且需要長時間維持超高真空的應(yīng)用場合,如同步輻射加速器、空間模擬試驗設(shè)備等。然而,低溫真空泵的運行成本較高,需要持續(xù)供應(yīng)低溫冷卻介質(zhì),且啟動和恢復(fù)時間較長,在一些需要頻繁啟?;?qū)Τ杀究刂戚^為嚴(yán)格的應(yīng)用中需要綜合考慮其適用性。先進(jìn)的真空泵技術(shù)可以提高產(chǎn)品的附加值和市場競爭力。重慶真空泵
在CVD技術(shù)中,真空泵同樣為化學(xué)反應(yīng)提供了低氣壓環(huán)境,使氣態(tài)的鍍膜先驅(qū)體能夠在工件表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng)并沉積成膜。例如,在半導(dǎo)體芯片制造中,通過CVD技術(shù)在硅片上沉積二氧化硅(SiO?)、氮化硅(Si?N?)等絕緣薄膜,用于芯片的絕緣和保護(hù)。真空熱處理真空熱處理是一種先進(jìn)的金屬熱處理工藝,真空泵在其中不可或缺。在真空熱處理過程中,真空泵將熱處理爐內(nèi)的空氣和其他雜質(zhì)氣體抽出,形成真空或低氣壓環(huán)境。這樣可以避免金屬在加熱過程中與氧氣、氮氣等氣體發(fā)生氧化、脫碳等反應(yīng),提高金屬熱處理后的質(zhì)量和性能。重慶真空泵真空泵品牌具有良好的口碑和市場占有率。
19世紀(jì),出現(xiàn)了旋片式真空泵,其工作原理是利用偏心安裝的轉(zhuǎn)子帶動旋片在泵腔內(nèi)做旋轉(zhuǎn)運動,通過旋片的周期性伸縮將氣體吸入、壓縮并排出泵腔。這種真空泵相比早期的活塞式真空泵,具有結(jié)構(gòu)緊湊、抽氣速度較快、真空度較高等優(yōu)點,在當(dāng)時的工業(yè)生產(chǎn)和科學(xué)研究中得到了廣泛應(yīng)用,例如在燈泡制造過程中,用于抽出燈泡內(nèi)的空氣,防止燈絲氧化,延長燈泡的使用壽命。20世紀(jì)是真空泵技術(shù)飛速發(fā)展的黃金時期。隨著電子技術(shù)、航空航天技術(shù)、半導(dǎo)體技術(shù)等高科技領(lǐng)域的興起,對真空環(huán)境的要求越來越高,促使真空泵技術(shù)不斷創(chuàng)新。一方面,各種新型真空泵相繼問世。
當(dāng)轉(zhuǎn)子在電機的驅(qū)動下開始旋轉(zhuǎn)時,由于轉(zhuǎn)子的偏心安裝,旋片在離心力和彈簧力的共同作用下,始終與泵腔內(nèi)壁保持緊密接觸。隨著轉(zhuǎn)子的轉(zhuǎn)動,泵腔被旋片分隔成兩個區(qū)域:吸氣腔和排氣腔。在吸氣過程中,吸氣腔的容積隨著轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)逐漸增大,腔體內(nèi)的壓力隨之降低。根據(jù)氣體的擴散原理,外部氣體在壓力差的作用下,通過進(jìn)氣口源源不斷地被吸入吸氣腔。當(dāng)轉(zhuǎn)子繼續(xù)轉(zhuǎn)動,吸氣腔逐漸轉(zhuǎn)變?yōu)榕艢馇?,此時排氣腔的容積逐漸減小,氣體被壓縮。隨著氣體被壓縮,其壓力逐漸升高,當(dāng)壓力高于排氣口的外部壓力時,氣體便從排氣口排出泵體。例如,在真空包裝行業(yè)中,旋片式真空泵就是利用這樣的工作原理,將包裝袋內(nèi)的空氣抽出,使袋內(nèi)壓力降低,從而達(dá)到保鮮和防止氧化的目的。其抽氣速率一般在每秒幾升到幾十升不等,極限真空度可達(dá)到 10?2 - 10?3 Pa 左右,能夠滿足大多數(shù)中低真空度要求的應(yīng)用場景。高質(zhì)量的真空泵能夠持續(xù)穩(wěn)定地工作,確保生產(chǎn)過程的順利進(jìn)行。
進(jìn)入21世紀(jì),隨著科技的進(jìn)一步發(fā)展和全球?qū)δ茉?、環(huán)境等問題的日益關(guān)注,真空泵面臨著新的機遇和挑戰(zhàn)。在新能源領(lǐng)域,如太陽能光伏產(chǎn)業(yè)和風(fēng)力發(fā)電產(chǎn)業(yè),真空泵在晶體生長、薄膜制備、真空絕熱等環(huán)節(jié)起著關(guān)鍵作用。例如,在太陽能電池板的生產(chǎn)過程中,多晶硅的提純和晶體生長需要在高真空環(huán)境下進(jìn)行,真空泵能夠有效地去除雜質(zhì)和氣體,提高多晶硅的純度和晶體質(zhì)量,從而提高太陽能電池的轉(zhuǎn)換效率。在環(huán)保領(lǐng)域,真空泵在污水處理、廢氣處理、垃圾處理等方面也有著廣泛的應(yīng)用。真空泵具有低噪音、低能耗的特點。北京渦旋式真空泵
真空泵在科研領(lǐng)域的作用不可替代,為科學(xué)研究提供了重要的實驗條件。重慶真空泵
隨著科技的不斷創(chuàng)新,一些新興領(lǐng)域如新能源、生物醫(yī)藥、納米技術(shù)等對真空技術(shù)提出了新的需求,這也為真空泵的發(fā)展帶來了新的機遇和挑戰(zhàn)。在新能源領(lǐng)域,如太陽能電池制造過程中的薄膜沉積工藝、鋰離子電池生產(chǎn)中的真空干燥和注液工藝等都需要高精度的真空泵來保證工藝質(zhì)量和生產(chǎn)效率。在生物醫(yī)藥領(lǐng)域,真空技術(shù)在藥物研發(fā)、生物制品生產(chǎn)、醫(yī)療器械消毒等方面有著廣泛的應(yīng)用前景,例如在真空冷凍干燥技術(shù)中,真空泵用于創(chuàng)造低溫低壓環(huán)境,使藥物或生物制品在凍結(jié)狀態(tài)下進(jìn)行干燥,保留其活性成分和生物特性。重慶真空泵