隨著機械行業(yè)設備向大型化、重載化發(fā)展,臺寶艾研發(fā)多絲桿同步控制技術,滿足寬幅工作臺、重型負載的傳動需求。在大型龍門加工中心中,通過雙絲桿或四絲桿同步驅動工作臺,采用高精度光柵尺實時反饋位置信息,配合伺服驅動器的交叉耦合控制算法,將多絲桿的位置偏差控制在 ±5μm 以內。當工作臺負載達 5 噸時,多絲桿協(xié)同工作可確保運動平穩(wěn)性,速度波動小于 ±3%。在半導體行業(yè)的大型真空鍍膜設備中,四組滾珠絲桿同步驅動鍍膜腔室的升降機構,實現(xiàn)升降速度 200mm/min,且各絲桿受力均勻性偏差≤2%,避免因偏載導致的絲桿損壞,保障設備長時間穩(wěn)定運行,提升半導體鍍膜工藝的一致性與良率 。紡織機械的經軸傳動系統(tǒng)會用到滾珠絲桿來調節(jié)張力。中國臺灣機床滾珠絲桿導程
臺寶艾 TBI 滾珠絲桿按 JIS 標準達到 C5 級精度,螺距累積誤差≤15μm/300mm,適用于機械行業(yè)的精密傳動場景。在數(shù)控機床的 Z 軸進給系統(tǒng)中,絲桿的高剛性設計(長徑比≤40)可承受 2000N 的軸向載荷,配合伺服電機實現(xiàn) 0.001mm / 脈沖的進給分辨率。對于重型機械如注塑機模板移動機構,采用大導程(20-50mm)滾珠絲桿,通過加大滾珠直徑(φ8-φ12mm)提升額定動載荷至 150kN 以上,確保模板移動速度達 500mm/s 時的平穩(wěn)性,降低機械振動對成型精度的影響。中國臺灣自動化設備滾珠絲桿代理滾珠絲桿的防塵防護措施能有效避免雜質進入影響性能。
為進一步提升機床加工精度,全閉環(huán)控制機床滾珠絲桿將位置檢測裝置直接安裝在工作臺上,形成完整的閉環(huán)控制系統(tǒng)。通過高精度光柵尺實時檢測工作臺的實際位置,并將數(shù)據(jù)反饋給數(shù)控系統(tǒng),數(shù)控系統(tǒng)將實際位置與指令位置進行比較,計算出誤差值,然后通過伺服電機對滾珠絲桿進行實時補償調整。這種控制方式能夠有效消除絲桿螺距誤差、反向間隙以及機床熱變形等因素對加工精度的影響。在高精度坐標鏜床中應用全閉環(huán)控制機床滾珠絲桿,其定位精度可達 ±0.0005mm,重復定位精度≤±0.0002mm,實現(xiàn)了微米級甚至亞微米級的加工精度,滿足了航空航天、等制造領域對零件加工精度的嚴苛要求。
傳統(tǒng)單循環(huán)滾珠絲桿在高速運行時,滾珠循環(huán)易出現(xiàn)卡頓,影響傳動效率和精度。新型雙循環(huán)反向器機床滾珠絲桿通過創(chuàng)新設計,在螺母內部設置兩個單獨的滾珠循環(huán)通道。當絲桿旋轉時,滾珠在兩個通道內交替循環(huán),有效分散了滾珠所受壓力,降低了滾珠與滾道之間的摩擦阻力。這種設計使絲桿的傳動效率提升至 92% 以上,相比單循環(huán)絲桿提高了 15%。同時,雙循環(huán)結構減少了滾珠之間的相互碰撞,運行更加平穩(wěn),定位精度可達 ±0.003mm,重復定位精度≤±0.001mm。在精密模具加工機床中應用該滾珠絲桿,可使模具表面粗糙度 Ra 值降低至 0.4μm,明顯提升了加工質量。高速運轉的滾珠絲桿需要配備良好的散熱裝置。
滾珠絲桿的材料技術與半導體環(huán)境兼容性針對半導體行業(yè)的腐蝕性氣體環(huán)境(如 Cl?、NF?),臺寶艾滾珠絲桿可選配 316L 不銹鋼材質,經電解拋光處理后表面粗糙度 Ra≤0.2μm,鹽霧測試(NSS)1000 小時無銹蝕。螺母內部采用氟橡膠密封圈(Viton 材質),耐溫范圍 - 20℃至 + 200℃,在半導體刻蝕設備的高溫(150℃)工況中仍能保持密封性能,防止工藝氣體滲入絲桿副。材料出氣率經測試≤1×10??Pa?m3/s,滿足半導體真空腔室 10??Pa 級的高真空要求,避免材料揮發(fā)污染制程。數(shù)控雕銑機的主軸 Z 向進給依靠滾珠絲桿實現(xiàn)精確控制。深圳自動化滾珠絲桿型號
空心內冷機床滾珠絲桿,通入冷卻液帶走熱量,有效控制溫升,確保高速加工精度穩(wěn)定。中國臺灣機床滾珠絲桿導程
滾珠絲桿的抗腐蝕性能與半導體特殊環(huán)境應用:針對半導體濕制程設備(如清洗機、電鍍槽)的酸堿環(huán)境,臺寶艾滾珠絲桿采用特殊抗腐蝕解決方案。絲桿軸體表面經化學鍍鎳磷處理(鍍層厚度 10-15μm),耐酸堿性達 pH 2-12 范圍,在氫氟酸(HF)濃度 5% 的環(huán)境中腐蝕速率≤0.1mm / 年。螺母組件使用 PEEK 工程塑料(耐化學性優(yōu)異),配合全氟橡膠 O 型圈,防止腐蝕性液體滲入絲桿副。某半導體晶圓清洗設備應用該方案后,絲桿壽命從 6 個月延長至 3 年,降低設備停機更換成本,提升產線稼動率中國臺灣機床滾珠絲桿導程