激光干涉儀是精度比較高的線性位移測量儀器,其光波可以直接對米進行定義,可溯源至國家標準。但是我們在使用中往往會出現(xiàn)檢測偏離值,偏離我們的預估,以至于在高精度檢測時,對設備產生懷疑。因測量光學鏡組的安裝高度不在被測設備的運動軸上引起的測量誤差稱之為阿貝誤差。產生的原因是設備移動時存在俯仰、扭擺差,因此光學鏡組與運動軸偏置距離越遠,引起的阿貝誤差越大。環(huán)境補償單元能準確采集空氣溫度、壓力、相對濕度信息,基于Edlen公式計算空氣折射率,以此對激光波長進行補償。激光干涉儀有測速下分辨率高、測量范圍大等優(yōu)點。西安激光干涉儀廠商
激光干涉儀的應用:數(shù)控轉臺分度精度的檢測及其自動補償現(xiàn)在,利用激光干涉儀加上RX10轉臺基準還能進行回轉軸的自動測量。它可對任意角度位置,以任意角度間隔進行全自動測量,其精度達±1。新的國際標準已推薦使用該項新技術。它比傳統(tǒng)用自準直儀和多面體的方法不只節(jié)約了大量的測量時間,而且還得到完整的回轉軸精度曲線,知曉其精度的每一細節(jié),并給出按相關標準處理的統(tǒng)計結果。雙軸定位精度的檢測及其自動補償。激光干涉儀系統(tǒng)可同步測量大型龍門移動式數(shù)控機床,由雙伺服驅動某一軸向運動的定位精度,而且還能通過RS232接口,自動對兩軸線性誤差分別進行補償。河南數(shù)控軸平行度激光干涉儀供應商激光干涉儀在相關軟件的配合下,還可以對數(shù)控機床進行動態(tài)性能檢測。
激光干涉儀的注意事項:儀器應放置在干燥、清潔以及無振動的環(huán)境中應用。在移動儀器時,為防止導軌變形,應托住底座再進行移動。儀器的光學零件在不用時,應在清潔干燥的器皿中進行存放,以防止發(fā)霉。盡量不要去擦拭儀器的反光鏡、分光鏡等,如必須擦拭則應當小心擦拭,利用科學的方法進行清潔。導軌、絲桿、螺母與軸孔部分等傳動部件,應當保持良好的潤滑。因此必要時要使用精密儀表油潤滑。在使用時應避免強旋、硬扳等情況,合理恰當?shù)恼{整部件。避免劃傷或腐蝕導軌面絲桿,保持其不失油。
激光干涉儀在實際使用中,需要確認其在各個測量應用中能夠達到的真實精度水平以確保測量數(shù)據(jù)準確可靠。激光干涉儀的測量讀數(shù)Z終均與激光波長有關,因此激光器頻率的準確性和穩(wěn)定性是激光干涉儀測量精度的保障。此外,激光干涉儀的環(huán)境條件補償系統(tǒng)(壓力、溫濕度傳感器)的讀數(shù)準確性對Z終的測量精度有著重要的影響??偨Y起來,影響激光干涉儀測量精度的因素包括:①激光器頻率(波長)及頻率穩(wěn)定性;②測量讀數(shù)軟件系統(tǒng)帶來的誤差;③反射鏡、角錐棱角誤差;④溫濕度、壓力傳感器誤差;當然,在具體測量任務中的測量精度還與測量人員、現(xiàn)場環(huán)境條件等因素有關。激光干涉儀可以進導軌的動態(tài)特性分析等。
利用激光干涉儀的線性測長功能,不但能夠測量出數(shù)控機床的定位精度、重復定位精度和反向間隙等數(shù)據(jù)并對精度進行補償。還能幫助我們利用檢測圖形和數(shù)據(jù),來分析數(shù)控機床出現(xiàn)故障的原因及解決辦法,從而迅速恢復機床,縮短數(shù)控機床維修時間,提高數(shù)控機床維修的效率。激光干涉儀是根據(jù)光學干涉基本原理設計而成的。具體到API激光干涉儀,即激光器射出單一頻率波,當此光束抵達偏振分光鏡時,會被分為兩道光束(一道反射光束和一道投射光束),在這兩道光射向其反光鏡,然后透過分光鏡反射回去,在激光頭內的探測器形成一道干涉光束,若光程差沒有任何變化,探測器會在每一次光程改變時,在相長性和相消性干涉的兩極找到變動的信號。計算處理系統(tǒng)可以通過此變化來測量兩光程間差異變化。可進行滾珠絲桿的動態(tài)特性分析。西安精密儀器激光干涉儀采購
激光干涉儀在實際使用中,需要確認其在各個測量應用中能夠達到的真實精度水平以確保測量數(shù)據(jù)準確可靠。西安激光干涉儀廠商
激光干涉儀的應用:幾何精度檢測??捎糜跈z測直線度、垂直度、俯仰與偏擺、平面度、平行度等。位置精度的檢測及其自動補償可檢測數(shù)控機床定位精度、重復定位精度、微量位移精度等。利用激光干涉儀不只能自動測量機器的誤差,而且還能通過RS232接口自動對其線性誤差進行補償,比通常的補償方法節(jié)省了大量時間,并且避免了手工計算和手動數(shù)控鍵入而引起的操作者誤差,同時可比較大限度地選用被測軸上的補償點數(shù),使機床達到比較佳精度,另外操作者無需具有機床參數(shù)及補償方法的知識。西安激光干涉儀廠商