深圳激光干涉儀加工設(shè)計

來源: 發(fā)布時間:2025-08-03

激光干涉儀在數(shù)控機床檢定中的應用:隨著數(shù)控機床應用的普及,采用激光干涉儀對數(shù)控機床進行定位精度檢測已經(jīng)成為目前公認的高效、高精度的檢測方法。激光干涉儀可用于精密機床、大規(guī)模集成電路加工設(shè)備等在線位置測量、誤差修正和控制,其中激光干涉儀應用比較多。與傳統(tǒng)的檢定方法相比,激光干涉儀具有較高的精度和效率,并能及時處理數(shù)據(jù),為機床誤差修正提供依據(jù),位置精度是機床的重要指標,目前各國機床檢定標準中都推薦使用激光干涉儀。激光干涉儀在機床中的應用是其它傳統(tǒng)測量手段難以實現(xiàn)和替代的。激光干涉儀可按照規(guī)定標準處理測量數(shù)據(jù)并輸出誤差曲線。深圳激光干涉儀加工設(shè)計

深圳激光干涉儀加工設(shè)計,激光干涉儀

激光干涉儀原理:激光器發(fā)射單一頻率光束射入線性干涉鏡,然后分成兩道光束,一道光束(參考光束)射向連接分光鏡的反射鏡,而第二道透射光束(測量光束)則通過分光鏡射入第二個反射鏡,這兩道光束再反射回到分光鏡,重新匯聚之后返回激光器,其中會有一個探測器監(jiān)控兩道光束之間的干涉(見圖)。若光程差沒有變化時,探測器會在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩(wěn)定的信號。若光程差有變化時,探測器會在每一次光程變化時,在相長性和相消性干涉的兩極之間找到變化信號,這些變化會被計算并用來測量兩個光程之間的差異變化。滄州數(shù)控軸平面度激光干涉儀廠家雖然激光干涉儀安裝組件比較齊全,但在實際使用過程中還是需要另外配置一些輔助工具。

深圳激光干涉儀加工設(shè)計,激光干涉儀

激光干涉儀使用環(huán)境:因為光學玻璃受熱變形將產(chǎn)生光學表面光圈的變化,溫度不穩(wěn)定將直接影響測量精度的可靠性,所以激光干涉儀的使用對環(huán)境也有一定的要求:1、溫度要求在20℃左右,濕度不大于60%。2、遠離振動源,以免條紋產(chǎn)生抖動影響測量精度的判斷。目前激光干涉儀已普遍地應用在光學加工企業(yè)、光學檢測機構(gòu)以及其他需要進行光學表面檢測的場合,南京光研推出的一款激光干涉儀還具有體積小、重量輕、移動靈活的特點,用12v電源,其耗電量極低,干涉圖像與對準系統(tǒng)同步、不需要切換,任何人都能簡單操作,非常適合大批量快速檢測。

隨著數(shù)控機床應用的普及,采用激光干涉儀對數(shù)控機床進行定位精度檢測已經(jīng)成為目前公認的高效、高精度的檢測方法。激光干涉儀測量原理:激光器發(fā)射單一頻率光束射入線性干涉鏡,然后分成兩道光束,一道光束(參考光束)射向連接分光鏡的反射鏡,而第二道透射光束(測量光束)則通過分光鏡射入第二個反射鏡,這兩道光束再反射回到分光鏡,重新匯聚之后返回激光器,其中會有一個探測器監(jiān)控兩道光束之間的干涉。若光程差沒有變化時,探測器會在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩(wěn)定的信號。激光干涉儀是檢定數(shù)控機床、坐標測量機位置精度的理想工具。

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激光干涉儀,以激光波長為已知長度,利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測量位移的通用長度測量。激光具有強度較高、高度方向性、空間同調(diào)性、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點。目前常用來測量長度的干涉儀,主要是以邁克爾遜干涉儀為主,激光干涉儀并以穩(wěn)頻氦氖激光為光源,構(gòu)成一個具有干涉作用的測量系統(tǒng)。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測量工作,并可作為精密工具機或測量儀器的校正工作。激光干涉儀為數(shù)控機床的誤差修正提供可靠依據(jù),現(xiàn)場使用尤為方便。滄州數(shù)控軸平面度激光干涉儀廠家

激光干涉儀的光源——激光。深圳激光干涉儀加工設(shè)計

激光干涉儀產(chǎn)品具有測量精度高、測量速度快、比較高測速下分辨率高、測量范圍大等優(yōu)點。通過與不同的光學組件結(jié)合,可以實現(xiàn)對直線度、垂直度、角度、平面度、平行度等多種幾何精度的測量。在相關(guān)軟件的配合下,還可以對數(shù)控機床進行動態(tài)性能檢測,可以進行機床振動測試與分析,滾珠絲桿的動態(tài)特性分析,驅(qū)動系統(tǒng)的響應特性分析,導軌的動態(tài)特性分析等,具有極高的精度和效率,為機床誤差修正提供依據(jù)。激光干涉儀是以光波為載體,以光波波長為單位的一種計量測試方法,是公認的高精度、高靈敏度的檢測手段,在制造領(lǐng)域應用普遍。深圳激光干涉儀加工設(shè)計