隨著數(shù)控機床應(yīng)用的普及,采用激光干涉儀對數(shù)控機床進行定位精度檢測已經(jīng)成為目前公認(rèn)的高效、高精度的檢測方法。激光干涉儀測量原理:激光器發(fā)射單一頻率光束射入線性干涉鏡,然后分成兩道光束,一道光束(參考光束)射向連接分光鏡的反射鏡,而第二道透射光束(測量光束)則通過分光鏡射入第二個反射鏡,這兩道光束再反射回到分光鏡,重新匯聚之后返回激光器,其中會有一個探測器監(jiān)控兩道光束之間的干涉。若光程差沒有變化時,探測器會在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩(wěn)定的信號。激光干涉儀,以激光波長為已知長度,利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測量位移的通用長度測量。安徽精密激光干涉儀哪個牌子好
雖然激光干涉儀安裝組件比較齊全,但在實際使用過程中還是需要另外配置一些輔助工具:研制低高度云臺支架。部分機床工作臺高度與地面是基本相平的,那么測量Z軸時,如果使用激光干涉儀原裝三角架及云臺安放激光器于地面,則肯定會因為三角架本身的高度,損失測量范圍。磁性表座是激光干涉儀常用的輔助工具,選擇時需要注意,表座工作面上需有螺孔以配合安裝鏡組安裝桿,主磁性吸面位于底面和側(cè)面的表座各選擇兩個(實驗室或工廠多采用的是主磁性吸面位于底面的表座),在測量時,往往側(cè)面吸的表座更利于激光干涉儀鏡組的安裝。東莞高精度測量激光干涉儀設(shè)備廠家激光干涉儀哪種質(zhì)量比較好?
數(shù)控機床的傳動機構(gòu)一般是滾珠絲桿副,滾珠絲桿副在生產(chǎn)制造和裝配過程中都存在一定誤差,且長期使用造成的磨損等因素都會使其精度下降,當(dāng)前為有效且普遍應(yīng)用的方法是利用激光干涉儀對數(shù)控機床進行螺距誤差補償。數(shù)控機床機械誤差補償包含記憶式相對位置補償(值)與記憶式螺距誤差補償(增量值)兩種,三菱和法那科系統(tǒng)就是增量值補償?shù)谋硎局?。?dāng)采用激光干涉儀進行增量值補償時,會遇到數(shù)據(jù)怎么對應(yīng)補償點位置的問題。機床系統(tǒng)種類繁多,正逐步向自動補償邁進。
激光干涉儀以其優(yōu)異的亞納米精度和精密度普遍應(yīng)用于光學(xué)表面的評價,在精密儀器的質(zhì)量控制與校準(zhǔn)以及科研開發(fā)、設(shè)備制造等領(lǐng)域用途普遍。到激光干涉儀工作原理和一臺干涉儀所應(yīng)具備的基本組構(gòu)。激光干涉儀是精度較高的線性位移測量儀器,其光波可以直接對米進行定義,可溯源至國家標(biāo)準(zhǔn)。激光束路徑與被測軸之間存在的任何未準(zhǔn)直都會造成測得的距離和實際的運動距離之間有差異,此誤差被稱為余弦誤差。當(dāng)激光測量系統(tǒng)與運動軸未準(zhǔn)直時,余弦誤差會使得測量的距離比實際距離要短。隨著未準(zhǔn)直角度的增加,誤差也跟著明顯增加。激光干涉儀維護保管時需要注意哪些方面?
激光干涉儀是利用激光作為長度基準(zhǔn),對數(shù)控設(shè)備(加工中心、三座標(biāo)測量機等)的位置精度(定位精度、重復(fù)定位精度等)、幾何精度(俯仰扭擺角度、直線度、垂直度等)進行精密測量的精密測量儀器。激光干涉儀以光波為載體,具有測量精度高、測量速度快、測量范圍大、測速下分辨率高等特點,其光波波長可直接對米進行定義并溯源至國家標(biāo)準(zhǔn)。因此,激光干涉儀普遍應(yīng)用于數(shù)控機床、PCB鉆孔機、坐標(biāo)測量機、位移傳感器等精密儀器的質(zhì)量控制與校準(zhǔn)以及科研開發(fā)、設(shè)備制造等領(lǐng)域。激光干涉儀要設(shè)置專庫存放,環(huán)境要求干燥、通風(fēng)、防震、防霧、防塵、防銹。精密儀器激光干涉儀定制
激光干涉儀在相關(guān)軟件的配合下,還可以對數(shù)控機床進行動態(tài)性能檢測。安徽精密激光干涉儀哪個牌子好
激光干涉儀的測量精度高:以激光干涉技術(shù)為關(guān)鍵,分辨率可達納米級;采用高精度環(huán)境補償模塊,解決溫度、空氣壓力、相對濕度、材料溫度等環(huán)境因素對測量結(jié)果的影響;使用激光熱穩(wěn)頻控制系統(tǒng),保證激光長期穩(wěn)頻精度;干涉鏡與主機分離設(shè)計,避免干涉鏡受熱變形,保證干涉光路穩(wěn)定。具有實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度等幾何量的檢測功能??梢詸z測數(shù)控機床、三坐標(biāo)測量機等精密運動設(shè)備運動導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等;同時也能檢測運動導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、垂直度和直線度;并且可滿足回轉(zhuǎn)軸分度精度的測量。安徽精密激光干涉儀哪個牌子好