現(xiàn)代激光干涉技術(shù)是在人類關(guān)于光學(xué)的知識(shí)的基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的。激光與普通光源相比,具有一些獨(dú)特的性質(zhì):?jiǎn)紊院谩⑾喔尚院?、方向性?qiáng)、亮度高。激光干涉儀是以激光波長(zhǎng)為已知長(zhǎng)度,利用邁克爾遜干涉系統(tǒng)測(cè)量位移的通用長(zhǎng)度測(cè)量,普遍應(yīng)用于各領(lǐng)域,已經(jīng)成為人類認(rèn)知世界的重要工具。由于激光具有極好的時(shí)間相干性,自問世以來(lái),已研制出多種激光干涉儀:?jiǎn)晤l激光干涉儀、激光干涉儀、半導(dǎo)體激光干涉儀、法布里-珀羅(f-p)干涉儀、x射線干涉儀等。激光干涉儀是激光在計(jì)量領(lǐng)域中比較成功的應(yīng)用之一。利用光的干涉實(shí)現(xiàn)測(cè)量,具有非接觸、無(wú)損檢測(cè)的特點(diǎn),已經(jīng)在各個(gè)不同領(lǐng)域得到普遍的應(yīng)用。激光干涉儀選擇哪個(gè)牌子比較好?精密激光干涉儀購(gòu)買
激光干涉儀的使用注意事項(xiàng):1、激光干涉儀必須定人保管,機(jī)加技術(shù)組人員專人用,專人送檢,他人不得隨意動(dòng)用,以防損壞,降低精度。2、激光干涉儀要設(shè)置專庫(kù)存放,環(huán)境要求干燥、通風(fēng)、防震、防霧、防塵、防銹。儀器應(yīng)保持干燥。各種儀器均不可受壓、受凍、受潮或受高溫,儀器箱不要靠近火爐或暖氣管。3、對(duì)激光干涉儀要小心輕放,避免強(qiáng)烈的沖擊震動(dòng),安置儀器前應(yīng)檢查三腳架的牢固性,整個(gè)作業(yè)過程中工作人員不得離開儀器,防止意外發(fā)生。深圳數(shù)控機(jī)床激光干涉儀激光干涉儀可作為精密工具機(jī)或測(cè)量?jī)x器的校正工作。
激光干涉儀初步調(diào)整后,它的固定分光鏡并在分光鏡上安裝光靶,通過“整體”調(diào)整精確瞄準(zhǔn)光靶后,取下分光鏡光靶,將Z軸升高,觀察激光在反光鏡光靶上偏離程度,同時(shí)透過“尾部”調(diào)整使激光對(duì)準(zhǔn)反光鏡光靶,若在此過程中因“尾部”的調(diào)整導(dǎo)致分光鏡遮擋了部分激光,則將Z軸停止上升回到起始處,重新調(diào)整“整體”,再次對(duì)準(zhǔn)反射鏡光靶。緊接著再升Z軸,繼續(xù)調(diào)整“尾部”,觀察激光在反光鏡光靶上偏離程度。重復(fù)整個(gè)過程,往往幾次即可達(dá)到準(zhǔn)直要求。
激光干涉儀;光的干涉:光具有波粒二象性。兩列或幾列光波在空間相遇時(shí)相互迭加,在某些區(qū)域始終加強(qiáng),在另一些區(qū)域則始終削弱,形成穩(wěn)定的強(qiáng)弱分布的現(xiàn)象。產(chǎn)生穩(wěn)定干涉的條件:只有兩列光波的頻率相同,位相差恒定,振動(dòng)方向一致的相干光源,才能產(chǎn)生光的穩(wěn)定干涉。由兩個(gè)普通獨(dú)特光源發(fā)出的光,不可能具有相同的頻率,更不可能存在固定的相差,因此,不能產(chǎn)生穩(wěn)定干涉現(xiàn)象。若光的振幅相等:相位角相同時(shí),復(fù)合光強(qiáng)為原先的2倍,產(chǎn)生明條紋。當(dāng)相位角相差180o(半個(gè)波長(zhǎng))時(shí),復(fù)合光強(qiáng)為0,產(chǎn)生暗條紋。激光干涉儀的應(yīng)用:數(shù)控機(jī)床動(dòng)態(tài)性能檢測(cè)。
激光干涉儀laserinterferometer以激光波長(zhǎng)為已知長(zhǎng)度利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測(cè)量位移的通用長(zhǎng)度測(cè)量.工具激光干涉儀有單頻的和雙頻的兩種。激光具有高的強(qiáng)度、高度方向性、空間同調(diào)性、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點(diǎn)。目前常用來(lái)測(cè)量長(zhǎng)度的干涉儀,主要是以邁克爾遜干涉儀為主,并以穩(wěn)頻氦氖激光為光源,構(gòu)成一個(gè)具有干涉作用的測(cè)量系統(tǒng)。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來(lái)作線性位置、速度、角度、真平。常用于檢定測(cè)長(zhǎng)機(jī)、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)、光刻機(jī)和加工中心等的坐標(biāo)精度,也可用作測(cè)長(zhǎng)機(jī)、高精度三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等的測(cè)量系統(tǒng)。利用相應(yīng)附件,還可進(jìn)行高精度直線度測(cè)量、平面度測(cè)量、回轉(zhuǎn)精度測(cè)量、平行度測(cè)量和小角度測(cè)量。激光干涉儀各個(gè)測(cè)量鏡組也可以在別的測(cè)量工作中使用。濟(jì)南數(shù)控校準(zhǔn)激光干涉儀維修
激光干涉儀配有各種附件,可測(cè)量小角度、平面度、直線度、平 行度、垂直度等形位誤差。精密激光干涉儀購(gòu)買
激光干涉儀集光、機(jī)、電、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體,產(chǎn)品采用進(jìn)口高性能氦氖激光器,其壽命可達(dá)50000小時(shí);采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),可實(shí)現(xiàn)高精度、抗干擾能力強(qiáng)、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出;采用高速干涉信號(hào)采集、調(diào)理及細(xì)分技術(shù),可實(shí)現(xiàn)較高4m/s的測(cè)量速度,以及納米級(jí)的分辨率;采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊,可實(shí)現(xiàn)激光波長(zhǎng)和材料的自動(dòng)補(bǔ)償;采用高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)及軟件技術(shù),支持中文、英文和俄文語(yǔ)言,友好的人機(jī)界面、向?qū)降牟僮髁鞒獭⒑?jiǎn)潔化的記錄管理。精密激光干涉儀購(gòu)買