先進的封裝應用、復雜的互連方案和更高性能的功率器件的快速增長給故障定位和分析帶來了前所未有的挑戰(zhàn)。有缺陷或性能不佳的半導體器件通常表現(xiàn)出局部功率損耗的異常分布,導致局部溫度升高。RTTLIT系統(tǒng)利用鎖相紅外熱成像進行半導體器件故障定位,可以準確有效地定位這些目標區(qū)域。LIT是一種動態(tài)紅外熱成像形式,與穩(wěn)態(tài)熱成像相比,其可提供更好的信噪比、更高的靈敏度和更高的特征分辨率。LIT可在IC半導體失效分析中用于定位線路短路、ESD缺陷、氧化損壞、缺陷晶體管和二極管以及器件閂鎖。LIT可在自然環(huán)境中進行,無需光屏蔽箱。鎖相熱成像系統(tǒng)優(yōu)化電激勵檢測的圖像處理。長波鎖相紅外熱成像系統(tǒng)哪家好
在電子產業(yè)的半導體材料檢測中,電激勵的鎖相熱成像系統(tǒng)用途,為半導體材料的質量提升提供了重要保障。半導體材料的質量直接影響半導體器件的性能,材料中存在的摻雜不均、位錯、微裂紋等缺陷,會導致器件的電學性能和熱學性能下降。通過對半導體材料施加電激勵,使材料內部產生電流,缺陷處由于導電性能和導熱性能的異常,會產生局部的溫度差異。鎖相熱成像系統(tǒng)能夠敏銳地檢測到這些溫度差異,并通過分析溫度場的分布特征,評估材料的質量狀況。例如,在檢測硅晶圓時,系統(tǒng)可以發(fā)現(xiàn)晶圓表面的摻雜不均區(qū)域,這些區(qū)域會影響后續(xù)芯片制造的光刻和刻蝕工藝;在檢測碳化硅材料時,能夠識別出材料內部的微裂紋,這些裂紋會導致器件在高壓工作時發(fā)生擊穿。檢測結果為半導體材料生產企業(yè)提供了詳細的質量反饋,幫助企業(yè)優(yōu)化材料生長工藝,提升電子產業(yè)上游材料的品質。低溫熱鎖相紅外熱成像系統(tǒng)廠家高靈敏度鎖相熱成像技術能夠檢測到極微小的熱信號,可檢測低至uA級漏電流或微短路缺陷。
在電子產業(yè)中,電激勵與鎖相熱成像系統(tǒng)的結合為電子元件檢測帶來了前所未有的高效解決方案。電激勵的原理是向電子元件施加特定頻率的周期性電流,利用電流通過導體時產生的焦耳效應,使元件內部產生均勻且可控的熱量。當元件存在短路、虛焊、內部裂紋等缺陷時,缺陷區(qū)域的熱傳導特性會與正常區(qū)域產生明顯差異,進而導致溫度分布出現(xiàn)異常。鎖相熱成像系統(tǒng)憑借其高靈敏度的紅外探測能力和先進的鎖相處理技術,能夠捕捉這些細微的溫度變化,即使是微米級的缺陷也能被清晰識別。與傳統(tǒng)的探針檢測或破壞性檢測方法相比,這種非接觸式的檢測方式無需拆解元件,從根本上避免了對元件的損傷,同時還能實現(xiàn)大批量元件的快速檢測。例如,在手機芯片的批量質檢中,該系統(tǒng)可在幾分鐘內完成數(shù)百片芯片的檢測,提升了電子產業(yè)質檢環(huán)節(jié)的效率和產品的可靠性。
致晟光電熱紅外顯微鏡采用高性能InSb(銦銻)探測器,用于中波紅外波段(3–5 μm)的熱輻射信號捕捉。InSb材料具有優(yōu)異的光電轉換效率和極低的本征噪聲,在制冷條件下可實現(xiàn)高達nW級的熱靈敏度和優(yōu)于20mK的溫度分辨率,適用于高精度、非接觸式熱成像分析。該探測器在熱紅外顯微系統(tǒng)中的應用,提升了空間分辨率(可達微米量級)與溫度響應線性度,使其能夠對半導體器件、微電子系統(tǒng)中的局部發(fā)熱缺陷、熱點遷移和瞬態(tài)熱行為進行精細刻畫。配合致晟光電自主開發(fā)的高數(shù)值孔徑光學系統(tǒng)與穩(wěn)態(tài)熱控平臺,InSb探測器可在多物理場耦合背景下實現(xiàn)高時空分辨的熱場成像,是先進電子器件失效分析、電熱耦合行為研究及材料熱特性評價中的關鍵。非接觸式檢測在不破壞樣品的情況下實現(xiàn)成像,適用于各種封裝狀態(tài)的樣品,包括未開封的芯片和PCBA。
在電子領域,所有器件都會在不同程度上產生熱量。器件散發(fā)一定熱量屬于正常現(xiàn)象,但某些類型的缺陷會增加功耗,進而導致發(fā)熱量上升。在失效分析中,這種額外的熱量能夠為定位缺陷本身提供有用線索。熱紅外顯微鏡可以借助內置攝像系統(tǒng)來測量可見光或近紅外光的實用技術。該相機對波長在3至10微米范圍內的光子十分敏感,而這些波長與熱量相對應,因此相機獲取的圖像可轉化為被測器件的熱分布圖。通常,會先對斷電狀態(tài)下的樣品器件進行熱成像,以此建立基準線;隨后通電再次成像。得到的圖像直觀呈現(xiàn)了器件的功耗情況,可用于隔離失效問題。許多不同的缺陷在通電時會因消耗額外電流而產生過多熱量。例如短路、性能不良的晶體管、損壞的靜電放電保護二極管等,通過熱紅外顯微鏡觀察時會顯現(xiàn)出來,從而使我們能夠精細定位存在缺陷的損壞部位。鎖相熱成像系統(tǒng)提升電激勵檢測的抗干擾能力。非制冷鎖相紅外熱成像系統(tǒng)售價
鎖相熱成像系統(tǒng)的同步控制模塊需與電激勵源保持高度協(xié)同,極小的同步誤差都可能導致檢測圖像出現(xiàn)相位偏移。長波鎖相紅外熱成像系統(tǒng)哪家好
電激勵的鎖相熱成像系統(tǒng)在電子產業(yè)的電子漿料檢測中有用武之地,為電子漿料的質量控制提供了重要手段,確保印刷線路的性能。電子漿料是用于印刷電子線路、電極等的關鍵材料,其導電性、均勻性和附著力直接影響印刷線路的性能和可靠性。電子漿料若存在顆粒團聚、成分不均、氣泡等缺陷,會導致印刷線路的電阻增大、導電性能下降,甚至出現(xiàn)線路斷路。通過對印刷有電子漿料的基板施加電激勵,電流會沿著漿料線路流動,缺陷處由于電阻異常,會產生局部溫度升高。鎖相熱成像系統(tǒng)能夠檢測到這些溫度差異,并通過分析溫度場的分布,評估電子漿料的質量。例如,在檢測太陽能電池板的銀漿電極時,系統(tǒng)可以發(fā)現(xiàn)因銀漿成分不均導致的電阻異常區(qū)域,這些區(qū)域會影響電池板的發(fā)電效率。檢測結果為電子漿料生產企業(yè)提供了質量反饋,幫助企業(yè)優(yōu)化漿料配方和生產工藝,提升電子產業(yè)相關產品的生產質量。長波鎖相紅外熱成像系統(tǒng)哪家好