熱紅外成像鎖相紅外熱成像系統(tǒng)按需定制

來源: 發(fā)布時(shí)間:2025-08-02

在實(shí)際應(yīng)用中,這款設(shè)備已成為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的 “故障診斷利器”。在晶圓制造環(huán)節(jié),它能通過熱分布成像識(shí)別光刻缺陷導(dǎo)致的局部漏電;在芯片封裝階段,可定位引線鍵合不良引發(fā)的接觸電阻過熱;針對(duì) IGBT 等功率器件,能捕捉高頻開關(guān)下的瞬態(tài)熱行為,提前預(yù)警潛在失效風(fēng)險(xiǎn)。某半導(dǎo)體企業(yè)在檢測(cè)一批失效芯片時(shí),傳統(tǒng)熱成像設(shè)備能看到模糊的發(fā)熱區(qū)域,而使用致晟光電的一體化設(shè)備后,通過鎖相技術(shù)發(fā)現(xiàn)發(fā)熱區(qū)域內(nèi)存在一個(gè) 2μm 的微小熱點(diǎn),終定位為芯片內(nèi)部的金屬離子遷移缺陷 —— 這類缺陷若未及時(shí)發(fā)現(xiàn),可能導(dǎo)致產(chǎn)品在長(zhǎng)期使用中突然失效。鎖相熱成像系統(tǒng)放大電激勵(lì)下的微小溫度差異。熱紅外成像鎖相紅外熱成像系統(tǒng)按需定制

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電激勵(lì)的鎖相熱成像系統(tǒng)在電子產(chǎn)業(yè)的電子漿料檢測(cè)中有用武之地,為電子漿料的質(zhì)量控制提供了重要手段,確保印刷線路的性能。電子漿料是用于印刷電子線路、電極等的關(guān)鍵材料,其導(dǎo)電性、均勻性和附著力直接影響印刷線路的性能和可靠性。電子漿料若存在顆粒團(tuán)聚、成分不均、氣泡等缺陷,會(huì)導(dǎo)致印刷線路的電阻增大、導(dǎo)電性能下降,甚至出現(xiàn)線路斷路。通過對(duì)印刷有電子漿料的基板施加電激勵(lì),電流會(huì)沿著漿料線路流動(dòng),缺陷處由于電阻異常,會(huì)產(chǎn)生局部溫度升高。鎖相熱成像系統(tǒng)能夠檢測(cè)到這些溫度差異,并通過分析溫度場(chǎng)的分布,評(píng)估電子漿料的質(zhì)量。例如,在檢測(cè)太陽(yáng)能電池板的銀漿電極時(shí),系統(tǒng)可以發(fā)現(xiàn)因銀漿成分不均導(dǎo)致的電阻異常區(qū)域,這些區(qū)域會(huì)影響電池板的發(fā)電效率。檢測(cè)結(jié)果為電子漿料生產(chǎn)企業(yè)提供了質(zhì)量反饋,幫助企業(yè)優(yōu)化漿料配方和生產(chǎn)工藝,提升電子產(chǎn)業(yè)相關(guān)產(chǎn)品的生產(chǎn)質(zhì)量??蒲杏面i相紅外熱成像系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)紅外熱成像模塊功能是實(shí)時(shí)采集被測(cè)物體表面的紅外輻射信號(hào),轉(zhuǎn)化為隨時(shí)間變化的溫度分布圖像序列。

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在電子產(chǎn)業(yè)中,電激勵(lì)與鎖相熱成像系統(tǒng)的結(jié)合為電子元件檢測(cè)帶來了前所未有的高效解決方案。電激勵(lì)的原理是向電子元件施加特定頻率的周期性電流,利用電流通過導(dǎo)體時(shí)產(chǎn)生的焦耳效應(yīng),使元件內(nèi)部產(chǎn)生均勻且可控的熱量。當(dāng)元件存在短路、虛焊、內(nèi)部裂紋等缺陷時(shí),缺陷區(qū)域的熱傳導(dǎo)特性會(huì)與正常區(qū)域產(chǎn)生明顯差異,進(jìn)而導(dǎo)致溫度分布出現(xiàn)異常。鎖相熱成像系統(tǒng)憑借其高靈敏度的紅外探測(cè)能力和先進(jìn)的鎖相處理技術(shù),能夠捕捉這些細(xì)微的溫度變化,即使是微米級(jí)的缺陷也能被清晰識(shí)別。與傳統(tǒng)的探針檢測(cè)或破壞性檢測(cè)方法相比,這種非接觸式的檢測(cè)方式無需拆解元件,從根本上避免了對(duì)元件的損傷,同時(shí)還能實(shí)現(xiàn)大批量元件的快速檢測(cè)。例如,在手機(jī)芯片的批量質(zhì)檢中,該系統(tǒng)可在幾分鐘內(nèi)完成數(shù)百片芯片的檢測(cè),提升了電子產(chǎn)業(yè)質(zhì)檢環(huán)節(jié)的效率和產(chǎn)品的可靠性。

在電子領(lǐng)域,所有器件都會(huì)在不同程度上產(chǎn)生熱量。器件散發(fā)一定熱量屬于正?,F(xiàn)象,但某些類型的缺陷會(huì)增加功耗,進(jìn)而導(dǎo)致發(fā)熱量上升。在失效分析中,這種額外的熱量能夠?yàn)槎ㄎ蝗毕荼旧硖峁┯杏镁€索。熱紅外顯微鏡可以借助內(nèi)置攝像系統(tǒng)來測(cè)量可見光或近紅外光的實(shí)用技術(shù)。該相機(jī)對(duì)波長(zhǎng)在3至10微米范圍內(nèi)的光子十分敏感,而這些波長(zhǎng)與熱量相對(duì)應(yīng),因此相機(jī)獲取的圖像可轉(zhuǎn)化為被測(cè)器件的熱分布圖。通常,會(huì)先對(duì)斷電狀態(tài)下的樣品器件進(jìn)行熱成像,以此建立基準(zhǔn)線;隨后通電再次成像。得到的圖像直觀呈現(xiàn)了器件的功耗情況,可用于隔離失效問題。許多不同的缺陷在通電時(shí)會(huì)因消耗額外電流而產(chǎn)生過多熱量。例如短路、性能不良的晶體管、損壞的靜電放電保護(hù)二極管等,通過熱紅外顯微鏡觀察時(shí)會(huì)顯現(xiàn)出來,從而使我們能夠精細(xì)定位存在缺陷的損壞部位。鎖相熱成像系統(tǒng)讓電激勵(lì)檢測(cè)效率大幅提升。

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在光伏行業(yè),鎖相熱成像系統(tǒng)成為了太陽(yáng)能電池板質(zhì)量檢測(cè)的得力助手。太陽(yáng)能電池板的質(zhì)量直接影響其發(fā)電效率和使用壽命,而電池片隱裂、焊接不良等問題是影響質(zhì)量的常見隱患。鎖相熱成像系統(tǒng)通過對(duì)電池板施加特定的熱激勵(lì),能夠敏銳地捕捉到因這些缺陷產(chǎn)生的溫度響應(yīng)差異,尤其是通過分析溫度響應(yīng)的相位差異,能夠定位到細(xì)微的缺陷。這一技術(shù)的應(yīng)用,幫助制造商及時(shí)發(fā)現(xiàn)生產(chǎn)過程中的問題,有效提高了產(chǎn)品的合格率,為提升太陽(yáng)能組件的發(fā)電效率提供了堅(jiān)實(shí)保障,推動(dòng)了光伏產(chǎn)業(yè)的健康發(fā)展。鎖相熱成像系統(tǒng)讓電激勵(lì)下的缺陷無所遁形。國(guó)產(chǎn)鎖相紅外熱成像系統(tǒng)P20

電激勵(lì)模塊是通過源表向被測(cè)物體施加周期性方波電信號(hào),通過焦耳效應(yīng)使物體產(chǎn)生周期性的溫度波動(dòng)。熱紅外成像鎖相紅外熱成像系統(tǒng)按需定制

在產(chǎn)品全壽命周期中,失效分析以解決失效問題、確定根本原因?yàn)槟繕?biāo)。通過對(duì)失效模式開展綜合性試驗(yàn)分析,它能定位失效部位,厘清失效機(jī)理——無論是材料劣化、結(jié)構(gòu)缺陷還是工藝瑕疵引發(fā)的問題,都能被系統(tǒng)拆解。在此基礎(chǔ)上,進(jìn)一步提出針對(duì)性糾正措施,從源頭阻斷失效的重復(fù)發(fā)生。作為貫穿產(chǎn)品質(zhì)量控制全流程的關(guān)鍵環(huán)節(jié),失效分析的價(jià)值體現(xiàn)在對(duì)全鏈條潛在風(fēng)險(xiǎn)的追溯與排查:在設(shè)計(jì)(含選型)階段,可通過模擬失效驗(yàn)證方案合理性;制造環(huán)節(jié),能鎖定工藝偏差導(dǎo)致的批量隱患;使用過程中,可解析環(huán)境因素對(duì)性能衰減的影響;質(zhì)量管理層面,則為標(biāo)準(zhǔn)優(yōu)化提供數(shù)據(jù)支撐。熱紅外成像鎖相紅外熱成像系統(tǒng)按需定制