熱紅外顯微鏡是半導(dǎo)體失效分析與缺陷定位的三大主流手段之一(EMMI、THERMAL、OBIRCH),通過(guò)捕捉故障點(diǎn)產(chǎn)生的異常熱輻射,實(shí)現(xiàn)精細(xì)定位。存在缺陷或性能退化的器件通常表現(xiàn)為局部功耗異常,導(dǎo)致微區(qū)溫度升高。顯微熱分布測(cè)試系統(tǒng)結(jié)合熱點(diǎn)鎖定技術(shù),能夠高效識(shí)別這些區(qū)域。熱點(diǎn)鎖定是一種動(dòng)態(tài)紅外熱成像方法,通過(guò)調(diào)節(jié)電壓提升分辨率與靈敏度,并借助算法優(yōu)化信噪比。在集成電路(IC)分析中,該技術(shù)廣泛應(yīng)用于定位短路、ESD損傷、缺陷晶體管、二極管失效及閂鎖問(wèn)題等關(guān)鍵故障。鎖相熱成像系統(tǒng)提升電激勵(lì)檢測(cè)的缺陷識(shí)別率。thermal鎖相紅外熱成像系統(tǒng)性價(jià)比
失效背景調(diào)查就像是為芯片失效分析開啟“導(dǎo)航系統(tǒng)”,能幫助分析人員快速了解芯片的基本情況,為后續(xù)工作奠定基礎(chǔ)。收集芯片型號(hào)是首要任務(wù),不同型號(hào)的芯片在結(jié)構(gòu)、功能和特性上存在差異,這是開展分析的基礎(chǔ)信息。同時(shí),了解芯片的應(yīng)用場(chǎng)景也不可或缺,是用于消費(fèi)電子、工業(yè)控制還是航空航天等領(lǐng)域,不同的應(yīng)用場(chǎng)景對(duì)芯片的性能要求不同,失效原因也可能大相徑庭。失效模式的收集同樣關(guān)鍵,短路、漏電、功能異常等不同的失效模式,指向的潛在問(wèn)題各不相同。比如短路可能是由于內(nèi)部線路故障,而漏電則可能與芯片的絕緣性能有關(guān)。失效比例的統(tǒng)計(jì)也有重要意義,如果同一批次芯片失效比例較高,可能暗示著設(shè)計(jì)缺陷或制程問(wèn)題;如果只是個(gè)別芯片失效,那么應(yīng)用不當(dāng)?shù)目赡苄韵鄬?duì)較大。
熱紅外成像鎖相紅外熱成像系統(tǒng)測(cè)試快速定位相比其他檢測(cè)技術(shù),鎖相熱成像技術(shù)能夠在短時(shí)間內(nèi)快速定位熱點(diǎn),縮短失效分析時(shí)間。
電激勵(lì)參數(shù)的實(shí)時(shí)監(jiān)控對(duì)于鎖相熱成像系統(tǒng)在電子產(chǎn)業(yè)檢測(cè)中的準(zhǔn)確性至關(guān)重要,是保障檢測(cè)結(jié)果可靠性的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。在電子元件檢測(cè)過(guò)程中,電激勵(lì)的電流大小、頻率穩(wěn)定性等參數(shù)可能會(huì)受到電網(wǎng)波動(dòng)、環(huán)境溫度變化等因素的影響而發(fā)生微小波動(dòng),這些波動(dòng)看似細(xì)微,卻可能對(duì)檢測(cè)結(jié)果產(chǎn)生干擾,尤其是對(duì)于高精度電子元件的檢測(cè)。通過(guò)實(shí)時(shí)監(jiān)控系統(tǒng)對(duì)電激勵(lì)參數(shù)進(jìn)行持續(xù)監(jiān)測(cè),并將監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)反饋給控制系統(tǒng),可及時(shí)調(diào)整激勵(lì)源的輸出,確保電流、頻率等參數(shù)始終穩(wěn)定在預(yù)設(shè)范圍內(nèi)。例如,在檢測(cè)高精度 ADC(模數(shù)轉(zhuǎn)換)芯片時(shí),其內(nèi)部電路對(duì)電激勵(lì)的變化極為敏感,即使是 0.1% 的電流波動(dòng),也可能導(dǎo)致芯片內(nèi)部溫度分布出現(xiàn)異常,干擾對(duì)真實(shí)缺陷的判斷。而實(shí)時(shí)監(jiān)控系統(tǒng)能將參數(shù)波動(dòng)控制在 0.01% 以內(nèi),有效保障了檢測(cè)的準(zhǔn)確性,為電子元件的質(zhì)量檢測(cè)提供了穩(wěn)定可靠的技術(shù)環(huán)境。
與傳統(tǒng)的熱成像技術(shù)相比,鎖相熱成像系統(tǒng)擁有諸多不可替代的優(yōu)勢(shì)。傳統(tǒng)熱成像技術(shù)往往只能檢測(cè)到物體表面的溫度分布,對(duì)于物體內(nèi)部不同深度的缺陷難以有效區(qū)分,而鎖相熱成像系統(tǒng)通過(guò)對(duì)相位信息的分析,能夠區(qū)分不同深度的缺陷,實(shí)現(xiàn)了分層檢測(cè)的突破,完美解決了傳統(tǒng)技術(shù)在判斷缺陷深度上的難題。不僅如此,它的抗干擾能力也極為出色,在強(qiáng)光照射、強(qiáng)烈電磁干擾等復(fù)雜且惡劣的環(huán)境下,依然能夠保持穩(wěn)定的工作狀態(tài),為工業(yè)質(zhì)檢工作提供了堅(jiān)實(shí)可靠的技術(shù)保障,確保了檢測(cè)結(jié)果的準(zhǔn)確性和一致性,這在對(duì)檢測(cè)精度要求極高的工業(yè)生產(chǎn)中尤為重要。高靈敏度紅外相機(jī)( mK 級(jí)),需滿足高幀率(至少為激勵(lì)頻率的 2 倍,遵循采樣定理)以捕捉周期性溫度變化。
致晟光電的一體化檢測(cè)設(shè)備,不僅是技術(shù)的集成,更是對(duì)半導(dǎo)體失效分析邏輯的重構(gòu)。它讓 “微觀觀測(cè)” 與 “微弱信號(hào)檢測(cè)” 不再是選擇題,而是能同時(shí)實(shí)現(xiàn)的標(biāo)準(zhǔn)配置。在國(guó)產(chǎn)替代加速推進(jìn)的背景下,這類自主研發(fā)的失效分析檢測(cè)設(shè)備,正逐步打破國(guó)外品牌在半導(dǎo)體檢測(cè)領(lǐng)域的技術(shù)壟斷,為我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的高質(zhì)量發(fā)展提供堅(jiān)實(shí)的設(shè)備支撐。未來(lái)隨著第三代半導(dǎo)體、Micro LED 等新興領(lǐng)域的崛起,對(duì)失效分析的要求將進(jìn)一步提升,而致晟光電的技術(shù)探索,無(wú)疑為行業(yè)提供了可借鑒的創(chuàng)新路徑。鎖相熱成像系統(tǒng)讓電激勵(lì)檢測(cè)數(shù)據(jù)更可靠。什么是鎖相紅外熱成像系統(tǒng)廠家
鎖相熱成像系統(tǒng)讓電激勵(lì)檢測(cè)更具實(shí)用價(jià)值。thermal鎖相紅外熱成像系統(tǒng)性價(jià)比
電子產(chǎn)業(yè)的存儲(chǔ)器芯片檢測(cè)中,電激勵(lì)的鎖相熱成像系統(tǒng)發(fā)揮著獨(dú)特作用,為保障數(shù)據(jù)存儲(chǔ)安全提供了有力支持。存儲(chǔ)器芯片如 DRAM、NAND Flash 等,是電子設(shè)備中用于存儲(chǔ)數(shù)據(jù)的關(guān)鍵部件,其存儲(chǔ)單元的質(zhì)量直接決定了數(shù)據(jù)存儲(chǔ)的可靠性。存儲(chǔ)單元若存在缺陷,如氧化層擊穿、接觸不良等,會(huì)導(dǎo)致數(shù)據(jù)丟失、讀寫錯(cuò)誤等問(wèn)題。通過(guò)對(duì)存儲(chǔ)器芯片施加電激勵(lì),進(jìn)行讀寫操作,缺陷存儲(chǔ)單元會(huì)因電荷存儲(chǔ)異常而產(chǎn)生異常溫度。鎖相熱成像系統(tǒng)能夠定位這些缺陷單元的位置,幫助制造商在生產(chǎn)過(guò)程中篩選出合格的存儲(chǔ)器芯片,提高產(chǎn)品的合格率。例如,在檢測(cè)固態(tài)硬盤中的 NAND Flash 芯片時(shí),系統(tǒng)可以發(fā)現(xiàn)存在壞塊的存儲(chǔ)單元區(qū)域,這些區(qū)域在讀寫操作時(shí)溫度明顯升高。通過(guò)標(biāo)記這些壞塊并進(jìn)行屏蔽處理,能夠有效保障數(shù)據(jù)存儲(chǔ)的安全,推動(dòng)電子產(chǎn)業(yè)存儲(chǔ)領(lǐng)域的健康發(fā)展。thermal鎖相紅外熱成像系統(tǒng)性價(jià)比